[發(fā)明專(zhuān)利]顯示面板制造系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811055758.X
• 申請(qǐng)日: 2018-09-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109585697B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李炳哲;鄭興鐵;許明洙;金鍾成;崔炳勳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H10K71/13
• 分類(lèi)號(hào): H10K71/13;H10K59/12
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11204
• 代理人: 王達(dá)佐;劉錚

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N顯示面板制造系統(tǒng)，該顯示面板制造系統(tǒng)包括：襯底供應(yīng)模塊，配置成提供包括其上設(shè)置有薄膜晶體管的有源區(qū)域和與有源區(qū)域相鄰的周邊區(qū)域的襯底；測(cè)試襯底供應(yīng)模塊，配置成提供測(cè)試襯底；有機(jī)膜形成模塊，配置成在襯底和測(cè)試襯底中的每一個(gè)上形成油墨圖案；有機(jī)膜形成模塊，包括多個(gè)頭部，所述多個(gè)頭部中的每一個(gè)均配置成滴落油墨；偏移檢查模塊，配置成檢查位于襯底上的油墨圖案；圖案檢查模塊，配置成檢查位于測(cè)試襯底上的油墨圖案；以及液滴檢查模塊，配置成檢查從自所述多個(gè)頭部選擇的頭部滴落的油墨。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

本申請(qǐng)要求于2017年9月29日提交的第10-2017-0128084號(hào)韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，該韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)如在本文中完全闡述的那樣出于所有目的通過(guò)引用并入本文。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的示例性實(shí)施方式/實(shí)現(xiàn)方式大體涉及顯示面板制造系統(tǒng)和使用所述顯示面板制造系統(tǒng)制造顯示面板的方法，并且更具體地，涉及包括噴墨設(shè)備的顯示面板制造系統(tǒng)和使用所述顯示面板制造系統(tǒng)制造顯示面板的方法。

背景技術(shù)

顯示面板用于向用戶(hù)提供圖像信息。顯示面板包括配置成顯示圖像的多個(gè)像素。對(duì)于有機(jī)發(fā)光顯示面板，多個(gè)像素中的每一個(gè)均包括包含發(fā)光材料的有機(jī)薄膜圖案。

有機(jī)薄膜圖案通過(guò)多種方法(諸如，光刻方法和噴墨方法)形成。對(duì)于噴墨方法，將有機(jī)油墨滴落在開(kāi)口中以形成構(gòu)成有機(jī)薄膜圖案的油墨圖案。

在油墨滴落于非期望的位置處或形成為不完全地或過(guò)度地填充開(kāi)口的情況中，有機(jī)薄膜圖案可能形成為具有缺陷。換言之，有機(jī)薄膜圖案的質(zhì)量高度地取決于油墨是否滴落在期望的位置處。

在本背景部分中公開(kāi)的以上信息僅用于對(duì)本發(fā)明構(gòu)思的背景的理解，并且因此，其可能包含不構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)的信息。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明構(gòu)思的一些示例性實(shí)施方式提供了顯示面板制造系統(tǒng)，所述顯示面板制造系統(tǒng)配置成在噴墨過(guò)程期間執(zhí)行檢查過(guò)程。

一些示例性實(shí)施方式提供了顯示面板制造方法，在所述顯示面板制造方法中噴墨過(guò)程和檢查過(guò)程同時(shí)執(zhí)行。

根據(jù)一些示例性實(shí)施方式，顯示面板制造系統(tǒng)可包括襯底供應(yīng)模塊、測(cè)試襯底供應(yīng)模塊、有機(jī)膜形成模塊、偏移檢查模塊、圖案檢查模塊和液滴檢查模塊，其中，襯底供應(yīng)模塊配置成提供包括其上設(shè)置有薄膜晶體管的有源區(qū)域和與有源區(qū)域相鄰的周邊區(qū)域；測(cè)試襯底供應(yīng)模塊配置成提供測(cè)試襯底；有機(jī)膜形成模塊配置成在所述襯底和所述測(cè)試襯底中的每一個(gè)上形成油墨圖案，有機(jī)膜形成模塊包括多個(gè)頭部，所述多個(gè)頭部中的每一個(gè)配置成滴落油墨；偏移檢查模塊配置成檢查位于所述襯底上的油墨圖案；圖案檢查模塊配置成檢查位于所述測(cè)試襯底上的油墨圖案；液滴檢查模塊配置成檢查從自所述多個(gè)頭部選擇的頭部滴落的油墨。

在一些示例性實(shí)施方式中，有機(jī)膜形成模塊、偏移檢查模塊和液滴檢查模塊可配置成一起移動(dòng)。

在一些示例性實(shí)施方式中，有機(jī)膜形成模塊可配置成在測(cè)試襯底上形成第一油墨圖案，以及圖案檢查模塊可配置成檢查第一油墨圖案并且調(diào)節(jié)頭部的位置。

在一些示例性實(shí)施方式中，有機(jī)膜形成模塊可配置成在襯底上形成第二油墨圖案，以及偏移檢查模塊可配置成檢查形成在周邊區(qū)域上并且是自第二油墨圖案選擇的圖案與襯底之間的對(duì)齊精度并且調(diào)節(jié)頭部的位置。

在一些示例性實(shí)施方式中，頭部可配置成根據(jù)由偏移檢查模塊輸出的偏移檢查結(jié)果數(shù)據(jù)在與襯底的運(yùn)動(dòng)方向垂直的方向上移動(dòng)，以及根據(jù)由圖案檢查模塊輸出的圖案檢查結(jié)果數(shù)據(jù)在與測(cè)試襯底的運(yùn)動(dòng)方向垂直的方向上移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)。

在一些示例性實(shí)施方式中，所選擇的頭部可以是在第一油墨圖案或第二油墨圖案被檢查時(shí)自所述頭部選擇的。