[發明專利]顯示面板制造系統

有效

• 申請號: 201811055758.X
• 申請日: 2018-09-11
• 公開（公告）號: CN109585697B
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 李炳哲;鄭興鐵;許明洙;金鍾成;崔炳勳
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H10K71/13
• 分類號: H10K71/13;H10K59/12
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

1.顯示面板制造系統，包括：

襯底供應模塊，配置成提供襯底，所述襯底包括有源區域和與所述有源區域相鄰的周邊區域，其中所述有源區域上設置有薄膜晶體管；

測試襯底供應模塊，配置成提供測試襯底；

有機膜形成模塊，配置成在所述襯底和所述測試襯底中的每一個上形成油墨圖案，所述有機膜形成模塊包括多個頭部，所述多個頭部中的每一個均配置成滴落油墨；

偏移檢查模塊，配置成檢查位于所述襯底上的所述油墨圖案；

圖案檢查模塊，配置成檢查位于所述測試襯底上的所述油墨圖案；以及

液滴檢查模塊，配置成檢查從自所述多個頭部選擇的頭部滴落的油墨，

其中，所述有機膜形成模塊、所述偏移檢查模塊和所述液滴檢查模塊配置成一起移動。

2.根據權利要求1所述的顯示面板制造系統，其中，所述有機膜形成模塊配置成在所述測試襯底上形成第一油墨圖案，以及

所述圖案檢查模塊配置成檢查所述第一油墨圖案并且調節所述多個頭部的位置。

3.根據權利要求2所述的顯示面板制造系統，其中，所述有機膜形成模塊配置成在所述襯底上形成第二油墨圖案，以及

所述偏移檢查模塊配置成檢查形成在所述周邊區域上并且是自所述第二油墨圖案選擇的圖案與所述襯底之間的對齊精度并且調節所述多個頭部的位置。

4.根據權利要求3所述的顯示面板制造系統，其中，所述多個頭部配置成：

根據由所述偏移檢查模塊輸出的偏移檢查結果數據在與所述襯底的運動方向垂直的方向上移動；以及

根據由所述圖案檢查模塊輸出的圖案檢查結果數據在與所述測試襯底的運動方向垂直的方向上移動和旋轉。

5.根據權利要求3所述的顯示面板制造系統，其中，所選擇的頭部是在所述第一油墨圖案或所述第二油墨圖案被檢查時自所述多個頭部選擇的。

6.根據權利要求5所述的顯示面板制造系統，其中，所述多個頭部中的每一個均包括多個噴嘴，以及

所選擇的頭部的所述多個噴嘴中的至少一個不噴射所述油墨或形成尺寸與參考油墨圖案的尺寸不同的油墨圖案。

7.根據權利要求1所述的顯示面板制造系統，其中，所述液滴檢查模塊包括激光照射設備和電子平衡設備，以及

所述激光照射設備設置在所述電子平衡設備與所選擇的頭部之間，并且配置成檢查從所選擇的頭部提供至所述電子平衡設備的所述油墨。

8.根據權利要求7所述的顯示面板制造系統，其中，所述液滴檢查模塊還包括過濾器，

所述激光照射設備包括激光照射部分和激光接收部分，所述激光照射部分配置成用激光束照射所述油墨，所述激光接收部分配置成接收由所述油墨散射或透射穿過所述油墨的所述激光束，以及

所述過濾器配置成控制從所述激光照射部分入射的所述激光束的強度，以及控制由所述油墨散射或透射穿過所述油墨的所述激光束的方向性。

9.根據權利要求8所述的顯示面板制造系統，其中，所述過濾器包括衍射縫。

10.根據權利要求7所述的顯示面板制造系統，其中，所述液滴檢查模塊還包括油墨抽吸設備，以及

所述油墨抽吸設備設置在所述電子平衡設備與所選擇的頭部之間，以及所述油墨抽吸設備配置成抽吸要泄漏至所述電子平衡設備的外部的油墨。