[發明專利]掩膜組件及掩膜組件的制造方法

有效

• 申請號: 201811055629.0
• 申請日: 2018-09-11
• 公開（公告）號: CN109585696B
• 公開（公告）日: 2023-09-19
• 發明（設計）人: 金相勛
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H10K71/16
• 分類號: H10K71/16;H10K50/10
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 孫昌浩;李盛泉

本發明公開一種掩膜組件及掩膜組件的制造方法，掩膜組件包括：掩膜框架，包括開口部；掩膜，布置在掩膜框架上；以及支撐桿，布置在掩膜框架與掩膜之間，并包括沿著長邊而排列的第一夾緊部、中心部及第二夾緊部，并且中心部與所述掩膜重疊，支撐桿的中心線以經過所述支撐桿的短邊的中點而穿過第一夾緊部和第二夾緊部的短邊的中點的方式沿著長邊延伸而被定義，支撐桿的重心定義于所述中心線上，中心部以中心線為基準而分為具有不同形狀的第一部分及第二部分。

技術領域

本發明涉及一種掩膜組件及掩膜組件的制造方法，尤其涉及一種在掩膜框架及掩膜之間布置支撐桿而使沉積物質能夠沉積于目標位置的掩膜組件及掩膜組件的制造方法。

背景技術

顯示裝置為了向用戶提供多種視覺信息而通過顯示區域輸出影像或圖像。顯示裝置中的有機發光顯示裝置具有視野寬、對比度優秀及響應速度快的優點。這種有機發光顯示裝置的顯示區域由多個像素構成，并且多個像素可以通過沉積物質的沉積過程而形成顯示區域。例如，可以利用高精度金屬掩膜(FMM)將有機物沉積于基板上，從而形成所期望的圖案的薄膜。

在有機物沉積過程中，為了在顯示區域形成沉積物質無法穿過的非活性區域，在掩膜組件及掩膜之間布置支撐桿。此時，支撐桿以被施加張力的狀態得到固定，且由于張力產生變形，從而存在無法在所期望的位置沉積有機物的問題。

發明內容

本發明涉及一種用于掩膜組件的支撐桿，其目的在于提供一種用于在施加張力的情況下最小化支撐桿的變形的掩膜組件。

根據本發明的一實施例的掩膜組件包括：掩膜框架，包括開口部；掩膜，布置在所述掩膜框架上；以及支撐桿，布置在所述掩膜框架與所述掩膜之間，并包括沿著長邊而排列的第一夾緊部、中心部及第二夾緊部，并且所述中心部與所述掩膜重疊，所述支撐桿的中心線以經過所述支撐桿的短邊的中點而穿過所述第一夾緊部和所述第二夾緊部的短邊的中點的方式沿著所述長邊延伸而被定義，所述支撐桿的重心定義于所述中心線上，所述中心部以所述中心線為基準而分為具有不同形狀的第一部分及第二部分。

所述掩膜可以包括多個開口，所述多個開口由與所述支撐桿重疊的非活性區域以及作為與所述非活性區域以外的部分的活性區域定義。

所述第一部分及所述第二部分可以具有相同的面積。所述第一部分及所述第二部分各自的暴露的邊中的至少一個可以具有圖案部，所述暴露的邊是所述支撐桿的所述長邊的一部分。所述第一部分及所述第二部分各自的暴露的邊可以包括彼此不同的圖案部，所述暴露的邊是所述支撐桿的所述長邊的一部分。所述第一夾緊部及第二夾緊部的面積可以相同。所述支撐桿的厚度為50μm至150μm。所述支撐桿可以利用非磁性物質構成。

根據本發明的一實施例的掩膜組件包括：支撐桿，包括長邊及短邊，并包括沿著所述第一長邊排列的第一夾緊部、中心部及第二夾緊部；多個掩膜，沿著所述長邊方向排列，并且分別與所述支撐桿重疊；所述支撐桿的中心線，以如下方式定義：沿著所述長邊方向延伸，并經過所述支撐桿的所述短邊的中點而穿過所述第一夾緊部和所述第二夾緊部的短邊的中點，所述中心部以所述中心線為基準而分為具有彼此不同的形狀的第一部分及第二部分。

所述支撐桿可以配備多個，并且沿著所述短邊方向而相隔布置。

所述掩膜可以包括多個開口，所述多個開口由與所述支撐桿重疊的非活性區域以及作為與所述非活性區域以外的部分的活性區域定義。

所述第一部分及所述第二部分可以具有相同面積。所述第一部分及所述第二部分各自的暴露的邊中的至少一個可以具有圖案部。所述第一部分及所述第二部分各自的暴露的邊可以具有彼此不同的圖案部。所述第一夾緊部及第二夾緊部的面積可以相同。