[發(fā)明專利]掩膜組件及掩膜組件的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811055629.0
• 申請(qǐng)日: 2018-09-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109585696B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金相勛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): H10K71/16
• 分類號(hào): H10K71/16;H10K50/10
• 代理公司: 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 孫昌浩;李盛泉

1.一種掩膜組件，包括：

掩膜框架，包括開(kāi)口部；

掩膜，布置在所述掩膜框架上；以及

支撐桿，布置在所述掩膜框架與所述掩膜之間，定義有沿第一方向延伸的短邊及沿與所述第一方向交叉的第二方向延伸的長(zhǎng)邊，并包括沿著所述長(zhǎng)邊而排列的第一夾緊部、中心部及第二夾緊部，并且所述中心部與所述掩膜重疊，

所述支撐桿的中心線以經(jīng)過(guò)所述支撐桿的短邊的中點(diǎn)而穿過(guò)所述第一夾緊部和所述第二夾緊部的短邊的中點(diǎn)的方式沿著所述長(zhǎng)邊延伸而被定義，

所述支撐桿的重心定義于所述中心線上，

所述中心部以所述中心線為基準(zhǔn)而分為具有不同形狀的第一部分及第二部分，

所述第一部分包括具有比所述第一夾緊部及所述第二夾緊部朝所述第一方向更凸出的凸出部以及朝與所述第一方向相反的方向更凹陷的槽部的第一圖案部。

2.如權(quán)利要求1所述的掩膜組件，其中，

所述掩膜包括多個(gè)開(kāi)口，

所述多個(gè)開(kāi)口由與所述支撐桿重疊的非活性區(qū)域以及作為與所述非活性區(qū)域以外的部分的活性區(qū)域定義。

3.如權(quán)利要求2所述的掩膜組件，其中，

所述第一部分及所述第二部分具有相同的面積。

4.如權(quán)利要求3所述的掩膜組件，其中，

所述第二部分包括具有比所述第一夾緊部及所述第二夾緊部朝與所述第一方向相反的方向更凸出的凹凸形狀的第二圖案部。

5.如權(quán)利要求1所述的掩膜組件，其中，

所述第一夾緊部及所述第二夾緊部的面積相同。

6.如權(quán)利要求1所述的掩膜組件，其中，

所述支撐桿的厚度為50μm至150μm。

7.如權(quán)利要求1所述的掩膜組件，其中，

所述支撐桿利用非磁性物質(zhì)構(gòu)成。

8.一種掩膜組件，包括：

支撐桿，包括沿第一方向延伸的短邊以及沿與所述第一方向交叉的第二方向延伸的長(zhǎng)邊，并包括沿著所述長(zhǎng)邊排列的第一夾緊部、中心部及第二夾緊部；

多個(gè)掩膜，沿著所述第二方向排列，并且分別與所述支撐桿重疊；

所述支撐桿的中心線，以如下方式定義：沿著所述第二方向延伸，并經(jīng)過(guò)所述支撐桿的所述短邊的中點(diǎn)而穿過(guò)所述第一夾緊部和所述第二夾緊部的短邊的中點(diǎn)，并經(jīng)過(guò)所述中心部的重心，

所述中心部以所述中心線為基準(zhǔn)而分為具有彼此不同的形狀的第一部分及第二部分，

所述第一部分包括具有比所述第一夾緊部及所述第二夾緊部朝所述第一方向更凸出的凸出部以及朝與所述第一方向相反的方向更凹陷的槽部的第一圖案部。

9.如權(quán)利要求8所述的掩膜組件，其中，

所述支撐桿配備多個(gè)，并且沿著所述第一方向而相隔布置。

10.如權(quán)利要求9所述的掩膜組件，其中，

所述掩膜包括多個(gè)開(kāi)口，

所述多個(gè)開(kāi)口由與所述支撐桿重疊的非活性區(qū)域以及作為與所述非活性區(qū)域以外的部分的活性區(qū)域定義。

11.如權(quán)利要求10所述的掩膜組件，其中，

所述第一部分及所述第二部分具有相同面積。

12.如權(quán)利要求9所述的掩膜組件，其中，

所述第二部分包括具有比所述第一夾緊部及所述第二夾緊部朝與所述第一方向相反的方向更凸出的凹凸形狀的第二圖案部。

13.如權(quán)利要求8所述的掩膜組件，其中，

所述第一夾緊部及第二夾緊部的面積相同。

14.一種掩膜組件制造方法，包括如下步驟：

提供包括開(kāi)口部的掩膜框架；

提供支撐桿，該支撐桿布置在所述掩膜框架上，包括沿第一方向延伸的短邊以及沿與所述第一方向交叉的第二方向延伸的長(zhǎng)邊，并包括沿著所述長(zhǎng)邊排列的第一夾緊部、中心部及第二夾緊部；

利用夾具固定所述第一夾緊部及所述第二夾緊部的至少一部分；

提供布置在所述支撐桿上并包括多個(gè)開(kāi)口的掩膜；

將所述支撐桿布置在所述掩膜與所述掩膜框架之間，并將所述掩膜與所述掩膜框架接合，

其中，所述支撐桿包括：中心線，以如下方式定義：沿著所述第二方向延伸，并經(jīng)過(guò)所述支撐桿的所述短邊的中點(diǎn)而穿過(guò)所述第一夾緊部和第二夾緊部的短邊的中點(diǎn)，

所述中心部以所述中心線為基準(zhǔn)分為具有彼此不同的形狀的第一部分及第二部分，

所述第一部分包括具有比所述第一夾緊部及所述第二夾緊部朝所述第一方向更凸出的凸出部以及朝與所述第一方向相反的方向更凹陷的槽部的圖案部。