[發明專利]一種離合組件及其MOCVD設備

有效

• 申請號: 201811049002.4
• 申請日: 2018-09-10
• 公開（公告）號: CN109112505B
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 袁素;李天芬;張金
• 申請（專利權）人: 蘇州雨竹機電有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/18
• 代理公司: 北京高航知識產權代理有限公司 11530
• 代理人: 劉艷玲

1.一種離合組件，其特征是：包括，第一電磁鐵、第二電磁鐵、離合筒、第一離合盤、第二離合盤，所述的第一離合盤、第二離合盤通過相互壓緊、摩擦的方式咬緊；

所述的第一離合盤安裝在調速軸一端，調速軸另一端穿過調速頂蓋后與調速齒輪裝配固定；

所述的第二離合盤與離合筒一端裝配固定，離合筒內側與驅動軸底部可軸向上移動裝配；

離合筒頂部穿過離合隔板后與離合驅動板可周向轉動裝配，離合驅動板兩端分別通過離合驅動桿與驅動連接板一端裝配固定，驅動連接板設置在驅動機構上；所述的驅動連接板還與第二伸縮軸一端裝配固定，第二伸縮軸另一端穿過下限位板后與第二電磁鐵裝配；所述的第一電磁鐵安裝在驅動機構的驅動托板上。

2.如權利要求1所述的離合組件，其特征是：離合筒與推力球軸承的軸圈裝配固定，推力球軸承的座圈與連接環裝配固定，所述的連接環與離合隔板底面之間設置有離合彈簧，離合彈簧用于產生使第二離合盤下移的彈力。

3.如權利要求1所述的離合組件，其特征是：驅動機構，包括固定在離合隔板上的驅動立板，所述的驅動立板上分別固定有驅動托板，上限位板、下限位板、復位托板，第一電磁鐵的第一伸縮軸穿過驅動立板后與離合開關板裝配固定，離合開關板貼緊在復位托板上；初始狀態時，驅動連接板貼緊在復位托板上。

4.如權利要求3所述的離合組件，其特征是：所述的上限位板、下限位板上分別設置有上行程開關、下行程開關，所述的上行程開關、下行程開關結構一樣，且均設置有觸發軸，上行程開關、下行程開關的觸發軸分別穿過上限位板、下限位板進入上限位板、下限位板之間；初始狀態時驅動連接板觸發行程開關的觸發軸。

5.一種MOCVD設備，其特征是：應用有權利要求1-4任一所述的離合組件。

6.如權利要求5所述的MOCVD設備，其特征是：還包括，外殼底板，外殼底板通過外殼側板與外殼頂板裝配固定，外殼頂板上安裝有油缸，油缸的油缸伸縮軸穿過外殼頂板與觀察組件裝配固定；

所述的觀察組件底部固定在頂蓋板上，所述的頂蓋板用于封閉外筒頂部，外筒底部通過底蓋板封閉，且外筒內側安裝有內筒，所述的外筒和內桶之間纏繞有線圈，所述的線圈用于通電產生與內筒軸向同向的磁場；

所述的內筒內部由上而下依次設有托盤隔板、離合隔板、動力隔板，所述的托盤隔板上固定有托盤組件，所述的離合隔板上固定有離合組件，所述的動力隔板上固定有動力組件；

所述的托盤組件，包括，托盤，托盤底部通過托盤連接柱穿過讓位孔后與轉子裝配固定；轉子安裝在定子內側的轉子槽內，且轉子可在轉子槽內轉動；

轉子上設置有轉子驅動孔，轉子驅動孔內側面設置有卡齒，所述的卡齒與驅動齒輪嚙合傳動。

7.如權利要求6所述的MOCVD設備，其特征是：所述的動力組件，包括，動力電機，動力電機的動力輸出軸一端穿動力隔板后與第一齒輪裝配固定，第一齒輪與減速齒環外側的外側卡齒嚙合并形成齒輪傳動結構；

減速齒環內側分別設置有內側卡齒和轉動筒部分，所述的內側卡齒與調速齒輪嚙合并形成齒輪傳動結構；

所述的減速齒環裝入齒環內筒內，齒環內筒設置在齒環筒內側且齒環筒固定在動力隔板上，轉動筒部分與轉動軸可轉動裝配，轉動軸固定在動力隔板上，齒環內筒頂部通過調速頂蓋封閉。

8.如權利要求6所述的MOCVD設備，其特征是：還包括氣動組件，氣動組件包括氣馬達、第一氣管，第一氣管一端穿過托盤隔板、另一端與第一換向閥的進氣口接通，第一換向閥的第一排氣口、第二排氣口分別通過第二氣管、第三氣管與第二換向閥的第一進氣口、氣馬達進氣口接通；

第三氣管通過第四氣管與氣閥進口接通、氣閥出口通過第六氣管與排氣管一端接通；

第二換向閥的第二進氣口通過第五管道與氣馬達排氣口連通、排氣口通過第七氣管與排氣管一端接通；氣馬達用于驅動驅動軸轉動。