[發明專利]電漿炬激發裝置的水分子供應裝置

在審

• 申請號: 201811045720.4
• 申請日: 2018-09-07
• 公開（公告）號: CN110836380A
• 公開（公告）日: 2020-02-25
• 發明（設計）人: 馮五裕
• 申請（專利權）人: 東服企業股份有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06;F23L7/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;李林

1.一種電漿炬激發裝置的水分子供應裝置，其特征是包括：

一火焰出口端，形成于電漿炬激發裝置的底端，該電漿炬激發裝置包含一極棒與一極芯，該極芯具有一作為帶電離子的電場使用的圓錐形芯孔，該極棒投射帶電離子在芯孔內生成電漿炬火焰，該電漿炬火焰并由該火焰出口端噴出；

一水腔室，形成于該極芯外圍，該水腔室分別經由一入水管及一出水管導引水流于該水腔室內循環，該極芯的外壁制成鰭片狀而接觸該水腔室內的循環水；及

一罩體，固置于該火焰出口端，該罩體具有一提供電漿炬通過的火焰通道，且該罩體內開設有多個圍繞于火焰通道周圍的導水孔，多個導水孔各自連通于該水腔室與該火焰通道之間，用以供應水分子由該火焰通道噴出，令水分子接觸該火焰通道內的電漿炬火焰。

2.如權利要求1所述電漿炬激發裝置的水分子供應裝置，其特征在于：該火焰通道的四周形成為一圓錐形孔壁，所述多個導水孔由該圓錐形孔壁供應水分子至該火焰通道噴出。

3.如權利要求2所述電漿炬激發裝置的水分子供應裝置，其特征在于：所述多個導水孔分別連通一形成于圓錐形孔壁上的出水孔，所述多個導水孔分別經由各該出水孔而供應水分子至該火焰通道噴出。

4.如權利要求3所述電漿炬激發裝置的水分子供應裝置，其特征在于：各該出水孔分別具有一孔心線，且該火焰通道具有一軸心線，該孔心線與該軸心線之間具有一夾角，且0<該夾角<90°。

5.如權利要求3所述電漿炬激發裝置的水分子供應裝置，其特征在于：各該出水孔的總出水量小于該出水管的出水量，且該入水管的進水量大于該出水管的出水量。

6.如權利要求2所述電漿炬激發裝置的水分子供應裝置，其特征在于：該罩體具有一頂面及一底面，該火焰通道的圓錐形孔壁由該頂面逐漸擴張至該底面而形成。

7.如權利要求1或5所述電漿炬激發裝置的水分子供應裝置，其特征在于：該極芯的外圍罩設有一極芯座，該水腔室形成于該極芯與該極芯座之間，且該入水管及該出水管分別配置于該極芯座上而與該水腔室相連通。

8.如權利要求1所述電漿炬激發裝置的水分子供應裝置，其特征在于：該電漿炬激發裝置還包含一極芯架，該極芯架具有一中空的艙室，該極棒固置于該極芯架的頂部，該極棒之一用以投射帶電離子的電離子投射端植入于該艙室內而形成一圍繞于極棒與艙室壁面之間的集氣槽，該極芯固置于該極芯架的底部，該芯孔連通該集氣槽，且該電離子投射端鄰近于該芯孔。

9.如權利要求1所述電漿炬激發裝置的水分子供應裝置，其特征在于：該電漿炬激發裝置配置于一半導體廢氣處理槽上，該半導體廢氣處理槽內形成有一反應腔室，該電漿炬激發裝置的火焰出口端植入于該反應腔室內。