[發明專利]廢氣導入裝置

有效

• 申請號: 201811045719.1
• 申請日: 2018-09-07
• 公開（公告）號: CN110836379B
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: 馮五裕
• 申請（專利權）人: 東服企業股份有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;李林

1.一種廢氣導入裝置，其特征是包括：

一反應腔室，具有一中心線；

一加熱器，其一端植入該反應腔室內且坐落于該中心線上，并且沿該中心線提供一熱源進入該反應腔室；

多支廢氣導入管，其一端分別與該反應腔室相連通；及

等數于所述廢氣導入管的彎折管，分別具有相互連通形成的一第一管部及一第二管部，各該第一管部沿著一第一管心線延伸形成，各該第二管部沿著一第二管心線延伸形成，且各該第一管部樞設于所述廢氣導入管內，而使各該第二管部穿探至該反應腔室；

其中，各該第一管心線與第二管心線之間具有一彎折角，且各該第二管部沿著第二管心線延伸形成一排氣口，各該第二管心線排除與該中心線相交，且各該第二管心線與一水平面之間具有一朝向反應腔室內斜傾的傾角，該傾角大于0度且小于90度，使得所述多個排氣口能在該反應腔室內斜傾式地間隔圍繞于該熱源的四周，進而導入廢氣形成一環圈狀的廢氣回旋路徑；

其中，各該第二管部能以各該第一管部的第一管心線為圓心旋轉，而能夠調整各該第二管部與該水平面之間的傾角。

2.如權利要求1所述廢氣導入裝置，其特征在于：該中心線垂直于該水平面，且該第一管心線與該中心線相交。

3.如權利要求1或2所述廢氣導入裝置，其特征在于：該彎折角大于90度且小于180度。

4.如權利要求1所述廢氣導入裝置，其特征在于：該反應腔室形成于一半導體廢氣處理槽內，該半導體廢氣處理槽的頂部罩設有一頭蓋，該頭蓋具有一錐盤形的內壁面，該內壁面上間隔形成有多個管孔，所述多支廢氣導入管分別穿設于該管孔。

5.如權利要求1所述廢氣導入裝置，其特征在于：相互樞接的各該第一管部與各該廢氣導入管之間配置有一O型環。