[發(fā)明專(zhuān)利]一種太陽(yáng)能電池及其生產(chǎn)工藝

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811045219.8
• 申請(qǐng)日: 2018-09-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109216479A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王建波;呂俊;朱琛;仲春華;張東威;楊飛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 泰州隆基樂(lè)葉光伏科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/0224
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/0224;H01L31/04
• 代理公司: 西安通大專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 徐文權(quán)

1.一種太陽(yáng)能電池，其特征在于，所述太陽(yáng)能電池的正面設(shè)有電極槽，所述太陽(yáng)能電池正面柵線的下半部分填充于所述電極槽內(nèi)；所述電極槽為上寬下窄的結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，所述電極槽的形狀為倒梯形、半圓形或半橢圓形。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，所述電極槽的形狀為倒梯形，所述電極槽的上底與下底的長(zhǎng)度比為(1.2-1.5):1。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池，其特征在于，所述電極槽的下底長(zhǎng)度設(shè)置為10-20μm，上底長(zhǎng)度設(shè)置為15-25μm，高度設(shè)置為5-10μm。

5.一種太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)工藝，其特征在于，包括如下步驟：

在制備所述太陽(yáng)能電池時(shí)，在所述太陽(yáng)能電池的正面制備出正面柵線圖形的電極槽；在制備所述太陽(yáng)能的正面柵線時(shí)，將所述正面柵線填充于所述電極槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的生產(chǎn)工藝，其特征在于，所述太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝的具體過(guò)程如下：

步驟1，在硅基底表面制備出正面柵線圖形的電極槽和貫穿硅片的電極孔，所述電極槽為上寬下窄的電極槽；

步驟2，對(duì)步驟1所得產(chǎn)品依次進(jìn)行表面損傷層的去除、制絨和擴(kuò)散；

步驟3，對(duì)步驟2所得產(chǎn)品依次進(jìn)行：在所述電極孔設(shè)置掩膜、去除表面的磷硅玻璃和邊緣PN結(jié)以及去除所述電極孔處的掩膜；

步驟4，對(duì)步驟3所得產(chǎn)品表面依次制備氧化硅膜、復(fù)合膜和減反射膜；

步驟5，在步驟4所得產(chǎn)品正面的電極槽制備正面柵線；在背面制備背面電極的正極和負(fù)極，并印刷背電場(chǎng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的生產(chǎn)工藝，其特征在于，所述步驟2中，采用化學(xué)腐蝕的方法對(duì)損傷層進(jìn)行去除，具體過(guò)程為：在反應(yīng)溫度為60-80℃范圍內(nèi)使用pH值為10-12的堿性溶液去除損傷層，其中，反應(yīng)時(shí)間在120-240s范圍內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的生產(chǎn)工藝，其特征在于，所述步驟4中，通過(guò)熱退火制備氧化硅膜，熱退火的溫度為500-700℃，時(shí)間為20-40min，氧氣流量為800-1500sccm。

9.根據(jù)權(quán)利要求5-8任意一項(xiàng)所述的生產(chǎn)工藝，其特征在于，所述電極槽的形狀為倒梯形，電極槽上底與下底的長(zhǎng)度比為(1.2-1.5):1。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的生產(chǎn)工藝，其特征在于，所述電極槽的下底長(zhǎng)度設(shè)置為10-20μm，上底長(zhǎng)度設(shè)置為15-25μm，高度設(shè)置為5-10μm。