[發(fā)明專利]表面檢查裝置、表面檢查方法以及制造顯示設備的方法

在審

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• 申請日: 2018-09-07
• 公開（公告）號: CN109752381A
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發(fā)明（設計）人: 徐元國;尹貴玹;李學駿
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京市立方律師事務所 11330
• 代理人: 李娜

本申請涉及表面檢查裝置、表面檢查方法以及制造顯示設備的方法，其中該表面檢查裝置包括：第一相機，所述第一相機拍攝待檢查物體的圖像；半透半反鏡，所述半透半反鏡設置在位于第一光軸上的所述第一相機的上方；光源，所述光源與位于第二光軸上的半透半反鏡相鄰設置，所述第二光軸與所述第一光軸相交。所述光源輻射光，并且所述光經所述半透半反鏡被導向所述待檢查物體。所述表面檢查裝置還包括反射器，所述反射器設置在位于所述第一光軸上的所述半透半反鏡的上方。所述反射器包括朝向所述待檢查物體的反射凹面。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2017年11月8日在韓國知識產權局提交的第10-2017-0148253號韓國專利申請的優(yōu)先權，其公開內容通過引用整體并入本文。

技術領域

本發(fā)明構思的示例性實施例涉及一種表面檢查裝置，以及表面檢查方法、制造顯示設備的方法。

背景技術

最近已經越來越多的使用了諸如有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器、液晶顯示器(LCD)、電泳顯示器(EPD)和等離子顯示板(PDP)的平板顯示設備。這些平板顯示設備可以實現為柔性顯示設備。

柔性基板可以用于實現柔性顯示設備。各種類型的異物可能沉積在這些柔性基板上，并且在制造或處理工藝中可能在這些柔性基板的表面中形成缺陷。

發(fā)明內容

本發(fā)明構思的示例性實施例提供了一種有效地檢查物體(例如彎曲的膜/基板)的表面的表面檢查裝置。

根據本發(fā)明構思的示例性實施例，一種表面檢查裝置，包括：第一相機，所述第一相機拍攝待檢查物體的圖像；半透半反鏡，所述半透半反鏡設置在位于第一光軸上的所述第一相機的上方；光源，所述光源與位于第二光軸上的半透半反鏡相鄰設置，所述第二光軸與所述第一光軸相交。所述光源輻射光，并且所述光經所述半透半反鏡被導向所述待檢查物體。所述表面檢查裝置還包括反射器，所述反射器設置在位于所述第一光軸上的所述半透半反鏡的上方。所述反射器包括朝向所述待檢查物體的反射凹面。

根據本發(fā)明構思的示例性實施例，一種表面檢查裝置，包括：具有開口的反射器，以及設置在所述反射器的下方的光源。所述光源在水平方向上輻射光。所述表面檢查裝置還包括設置在所述光源的一側的半透半反鏡。所述半透半反鏡將由所述光源輻射的所述光的一部分反射到垂直方向上，使得所述光的所述一部分通過所述開口入射到設置在所述反射器的上方的待檢查物體的表面。所述表面檢查裝置還包括設置在所述反射器的下方的第一相機。所述第一相機接收從所述待檢查物體的表面反射的光。所述待檢查物體、所述開口和所述半透半反鏡設置在所述第一相機的光軸上。

根據本發(fā)明構思的示例性實施例，一種表面檢查方法，包括：將具有曲面的待檢查物體安裝在表面檢查裝置的反射器的上方。所述反射器包括朝向所述待檢查物體的反射凹面。所述方法還包括向所述待檢查物體的所述曲面上輻射光。所述光由所述表面檢查裝置的光源輻射，并且所述光經所述表面檢查裝置的半透半反鏡被導向所述待檢查物體的所述曲面。所述半透半反鏡和所述反射器設置在所述表面檢查裝置的第一相機的光軸上。所述方法還包括獲得與所述待檢查物體的所述曲面的位置有關的信息，以及使用所述表面檢查裝置的所述第一相機拍攝所述待檢查物體的所述曲面的圖像。

根據本發(fā)明構思的示例性實施例，一種制造顯示設備的方法，包括：形成包括基板的所述顯示設備，以及檢查所述基板。檢查所述基板包括將所述基板安裝在表面檢查裝置的反射器的上方。所述反射器包括朝向所述基板的反射凹面。檢查所述基板還包括向所述基板輻射光。所述光由所述表面檢查裝置的光源輻射，并且所述光經所述表面檢查裝置的半透半反鏡被導向所述基板。所述半透半反鏡和所述反射器設置在所述表面檢查裝置的相機的光軸上。檢查所述基板還包括獲得與所述基板的位置有關的信息，以及使用所述表面檢查裝置的所述相機拍攝所述基板的圖像。

附圖說明

通過參考附圖詳細描述示例性實施例，本發(fā)明構思的上述和其他特征將變得顯而易見，其中：