[發明專利]表面檢查裝置、表面檢查方法以及制造顯示設備的方法

在審

• 申請號: 201811044729.3
• 申請日: 2018-09-07
• 公開（公告）號: CN109752381A
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發明（設計）人: 徐元國;尹貴玹;李學駿
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京市立方律師事務所 11330
• 代理人: 李娜

1.一種表面檢查裝置，包括：

第一相機，所述第一相機拍攝待檢查物體的圖像；

半透半反鏡，所述半透半反鏡設置在位于第一光軸上的所述第一相機的上方；

光源，所述光源與位于第二光軸上的半透半反鏡相鄰設置，所述第二光軸與所述第一光軸相交，其中，所述光源輻射光，并且所述光經所述半透半反鏡被導向所述待檢查物體；以及

反射器，所述反射器設置在位于所述第一光軸上的所述半透半反鏡的上方，其中，所述反射器包括朝向所述待檢查物體的反射凹面。

2.根據權利要求1所述的表面檢查裝置，其中，從所述反射器的所述反射凹面到所述待檢查物體的表面的距離與所述反射器的曲率半徑大致相同。

3.根據權利要求1所述的表面檢查裝置，其中，所述反射器具有反射柱面。

4.根據權利要求3所述的表面檢查裝置，其中，所述反射器包括設置在所述第一光軸上的開口。

5.根據權利要求4所述的表面檢查裝置，其中，所述反射器被所述開口分為兩個部分，并且所述兩個部分具有彼此大致相同的曲率半徑和彼此大致相同的曲率中心。

6.根據權利要求1所述的表面檢查裝置，其中，所述反射器包括具有反射柱面的第一區域，以及設置在所述第一區域的對端并且具有反射球面的第二區域。

7.根據權利要求6所述的表面檢查裝置，其中，所述反射器包括設置在所述第一光軸上的開口。

8.根據權利要求1所述的表面檢查裝置，其中，所述反射器設置在所述第一相機的上方，所述待檢查物體設置在所述反射器的上方，并且所述待檢查物體的表面具有向下凸的曲面。

9.根據權利要求1所述的表面檢查裝置，其中，所述光源的亮度可根據所述待檢查物體的透射率來調節。

10.根據權利要求1所述的表面檢查裝置，還包括：

第二相機，所述第二相機獲得與所述待檢查物體的表面的位置有關的信息；

支撐架，所述支撐架支撐所述第一相機、所述半透半反鏡、所述光源和所述反射器；

驅動單元，所述驅動單元移動所述支撐架；以及

控制器，所述控制器控制所述驅動單元。

11.根據權利要求10所述的表面檢查裝置，其中，所述驅動單元包括：

垂直驅動部件，所述垂直驅動部件調節所述支撐架的垂直位置以將所述待檢查物體的所述表面基本上定位在所述反射器的曲率中心；以及

水平驅動部件，所述水平驅動部件使所述支撐架在水平方向上移動。

12.根據權利要求1所述的表面檢查裝置，還包括：

第二相機，所述第二相機獲得與所述待檢查物體的表面的位置有關的信息；

支撐架，所述支撐架支撐所述第一相機、所述半透半反鏡、所述光源和所述反射器；

垂直驅動部件，所述垂直驅動部件在垂直方向上移動所述反射器使得所述待檢查物體的所述表面基本上定位在所述反射器的曲率中心；以及

水平驅動部件，所述水平驅動部件使所述支撐架沿所述待檢查物體的所述表面在水平方向上移動；以及

控制器，所述控制器控制所述垂直驅動部件和所述水平驅動部件。

13.一種表面檢查裝置，包括：

具有開口的反射器；

設置在所述反射器的下方的光源，其中所述光源在水平方向上輻射光；

設置在所述光源的一側的半透半反鏡，其中，所述半透半反鏡將由所述光源輻射的所述光的一部分反射到垂直方向上，使得所述光的所述一部分通過所述開口入射到設置在所述反射器的上方的待檢查物體的表面；以及

設置在所述反射器的下方的第一相機，其中，所述第一相機接收從所述待檢查物體的表面反射的光，

其中，所述待檢查物體、所述開口和所述半透半反鏡設置在所述第一相機的光軸上。