[發(fā)明專利]升降針組件、襯底支撐單元和襯底處理設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811043669.3
• 申請日: 2018-09-07
• 公開（公告）號: CN109494183A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李仔雨;申丞源;李秀浩
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/683
• 代理公司: 北京市立方律師事務(wù)所 11330
• 代理人: 李娜

1.一種升降針組件，包括：

升降針，所述升降針具有實質(zhì)上平行于第一方向的第一縱軸；

針連接塊，所述針連接塊與所述升降針的下端部結(jié)合，所述針連接塊包括在所述針連接塊的下端部中的第一引導(dǎo)凹部，所述第一引導(dǎo)凹部在實質(zhì)上垂直于所述第一方向的第二方向上延伸；以及

升降針保持器，所述升降針保持器具有實質(zhì)上平行于所述第一方向的第二縱軸，所述升降針保持器包括第一滑動部分，當(dāng)所述升降針保持器連接到所述針連接塊的所述下端部時，所述第一滑動部分在所述第二方向上可移動地容納在所述第一引導(dǎo)凹部內(nèi)，所述第一滑動部分在所述第二方向上能夠移動所述第二縱軸與所述第一縱軸的偏心距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降針組件，其中，當(dāng)所述第一縱軸與所述第二縱軸同軸布置時，所述第一滑動部分與所述第一引導(dǎo)凹部的內(nèi)表面間隔開預(yù)定距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降針組件，其中，所述第一滑動部分具有第一尺寸的外徑，并且所述第一引導(dǎo)凹部具有第二尺寸的內(nèi)徑，所述第二尺寸大于所述第一尺寸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降針組件，其中，所述針連接塊具有第三縱軸，并且當(dāng)所述升降針與所述針連接塊結(jié)合時，所述第三縱軸與所述第一縱軸重合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降針組件，其中，所述針連接塊包括緊固孔，所述緊固孔容納所述升降針的所述下端部并與所述升降針的所述下端部螺紋連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的升降針組件，還包括固定環(huán)，所述固定環(huán)用于與穿過所述針連接塊的所述緊固孔并從所述緊固孔突出的所述升降針的所述下端部結(jié)合。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降針組件，其中，所述針連接塊包括第二引導(dǎo)凹部，所述第二引導(dǎo)凹部與所述第一引導(dǎo)凹部連通并在所述第二方向上延伸，并且其中，所述升降針保持器包括第二滑動部分，所述第二滑動部分在所述第二方向上可移動地容納在所述第二引導(dǎo)凹部內(nèi)，同時所述第二滑動部分在所述第一方向上的移動受到限制。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的升降針組件，其中，當(dāng)所述第一縱軸與所述第二縱軸同軸布置時，所述第二滑動部分與所述第二引導(dǎo)凹部的內(nèi)表面間隔開預(yù)定距離。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的升降針組件，其中，所述第二滑動部分具有第三尺寸的寬度，并且其中，所述第二引導(dǎo)凹部具有第四尺寸的寬度，所述第四尺寸大于所述第三尺寸。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的升降針組件，其中，所述第二滑動部分的所述寬度大于所述第一引導(dǎo)凹部的內(nèi)徑。

11.一種升降針組件，包括：

升降針，所述升降針具有實質(zhì)上平行于第一方向的第一縱軸；

針連接塊，所述針連接塊與所述升降針的下端部結(jié)合，所述針連接塊包括在所述針連接塊的下端部中的第一引導(dǎo)凹部和第二引導(dǎo)凹部，其中，所述第一引導(dǎo)凹部和所述第二引導(dǎo)凹部彼此連通并且分別在實質(zhì)上垂直于所述第一方向的第二方向上延伸；以及

升降針保持器，所述升降針保持器具有實質(zhì)上平行于所述第一方向的第二縱軸，所述升降針保持器包括第一滑動部分和第二滑動部分，當(dāng)所述升降針保持器連接到所述針連接塊的所述下端部時，所述第一滑動部分在所述第二方向上可移動地容納在所述第一引導(dǎo)凹部內(nèi)，所述第一滑動部分在所述第二方向上能夠移動所述第二縱軸與所述第一縱軸的偏心距離，并且所述第二滑動部分在所述第二方向上可移動地容納在所述第二引導(dǎo)凹部內(nèi)，同時所述第二滑動部分在所述第一方向上的移動受到限制。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的升降針組件，其中，當(dāng)所述第一縱軸與所述第二縱軸同軸布置時，所述第一滑動部分與所述第一引導(dǎo)凹部的內(nèi)表面間隔開第一距離，并且所述第二滑動部分與所述第二引導(dǎo)凹部的內(nèi)表面間隔開至少所述第一距離。