[發(fā)明專利]高階負(fù)型光阻剝膜槽在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811043114.9 | 申請日： | 2018-09-07 |
| 公開（公告）號： | CN110888305A | 公開（公告）日： | 2020-03-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王彥智 | 申請（專利權(quán)）人： | 王彥智 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 昆山中際國創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32311 | 代理人： | 張文婷 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 高階負(fù)型光阻剝膜槽 | ||
1.一種高階負(fù)型光阻剝膜槽，包括用于盛裝剝膜液的主槽體(1)，其特征在于：所述主槽體內(nèi)設(shè)有用于固定待剝膜的基板(2)的掛架和能夠使所述剝膜液產(chǎn)生渦流的搖擺機(jī)構(gòu)(3)；所述主槽體的上端設(shè)有循環(huán)槽(4)以及底部設(shè)有循環(huán)管道(5)，該循環(huán)管道從所述主槽體的外部連通至所述循環(huán)槽，所述循環(huán)管道上設(shè)有用于使膜渣和溶液分離的系統(tǒng)馬達(dá)(6)和用于過濾分離后的溶液的過濾器(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高階負(fù)型光阻剝膜槽，其特征在于：所述搖擺機(jī)構(gòu)包括搖擺框架(31)、驅(qū)動馬達(dá)和依次平行間隔設(shè)于所述搖擺框架上的葉片(32)，所述驅(qū)動馬達(dá)能夠帶動每個(gè)葉片繞其軸線按設(shè)定的頻率和角度搖擺。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高階負(fù)型光阻剝膜槽，其特征在于：所述驅(qū)動馬達(dá)為線性馬達(dá)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高階負(fù)型光阻剝膜槽，其特征在于：所述葉片的厚度為0.3～50mm，所述葉片的搖擺頻率為0.1～15Hz，所述葉片的搖擺行程為0.3～50mm，所述葉片的搖擺角度為15°～85°。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高階負(fù)型光阻剝膜槽，其特征在于：所述葉片為金屬、塑料或金屬包塑形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高階負(fù)型光阻剝膜槽，其特征在于：所述塑料包括PVC、PP、PE和PEEK至少其中之一。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高階負(fù)型光阻剝膜槽，其特征在于：所述搖擺機(jī)構(gòu)為兩個(gè)，分別沿相互垂直的兩個(gè)豎直方向設(shè)置于所述主槽體內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的高階負(fù)型光阻剝膜槽，其特征在于：所述基板與其中一個(gè)搖擺機(jī)構(gòu)平行設(shè)置。
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G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
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