[發明專利]液體噴射頭、液體噴射裝置以及壓電設備

有效

• 申請號: 201811041578.6
• 申請日: 2018-09-07
• 公開（公告）號: CN109484028B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 中山雅夫;福田俊也;平井榮樹;矢崎士郎;中尾元
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14;B41J2/01;H01L41/09
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;權太白

本發明涉及一種液體噴射頭、液體噴射裝置及壓電設備。液體噴射頭具有：流道形成基板(10)；保護基板(30)，其被接合于所述流道形成基板(10)的所述一面側并具有流道(31)；流道部件(40)，其被接合于所述保護基板(30)的與所述流道形成基板(10)相反一側；驅動電路(120)，其被安裝于由流道形成基板(10)、保護基板(30)和流道部件(40)包圍而形成的空間(34)內；填充劑(121)，其被填充于所述驅動電路(120)與所述流道形成基板(10)、以及驅動電路(120)與保護基板(30)之間；保護膜(200)，其被形成于從保護基板(30)的所述流道的內壁起、至保護基板(30)的與流道部件(40)接合的接合面中的至少與所述內壁的邊界側為止，所述保護膜(200)具有露出孔(201)，所述露出孔(201)使所述填充劑(121)的表面的至少一部分露出。

技術領域

本發明涉及一種噴射液體的液體噴射頭、具備液體噴射頭的液體噴射裝置以及具有壓電元件的壓電設備。

背景技術

作為被用于液體噴射頭的代表性的示例即噴墨式記錄頭的壓電設備，存在如下的壓電設備，即，具備：設置有與噴嘴連通的獨立流道、以及與獨立流道連通的液體供給室的流道形成基板；隔著振動板而被設置在流道形成基板的一面側的壓電元件。

對于具有這種壓電設備的噴墨式記錄頭，提出了一種在流道形成基板上直接安裝對壓電元件進行驅動的驅動電路的技術(例如，參照專利文獻1)。

但是，如果利用保護膜來覆蓋被設置于驅動電路與流道形成基板之間的底部填充劑等填充劑從而保護流道形成基板免受油墨的影響，則存在如下問題，即，從填充劑產生的氣體并未排出至外部，由此會在驅動電路的端子或與端子相連接的配線的表面上產生污染，從而變得易于發生配線的短路或絕緣破壞的情況。

此外，還存在如下問題，即，由于從填充劑產生的氣體，而使驅動電路與流道形成基板之間的接合面的粘著性惡化，從而易于發生遷移的情況。

另外，這種問題并不限定于以噴墨式記錄頭為代表的液體噴射頭，在液體噴射頭以外的壓電設備中也同樣存在。

專利文獻1：日本特開2017-24334號公報

發明內容

本發明鑒于這種情況，其目的在于，提供一種通過向外部排出從填充劑產生的氣體從而能夠抑制由氣體引起的配線的短路、絕緣破壞、遷移等不良情況的液體噴射頭、液體噴射裝置以及壓電設備。

解決上述課題的本發明的方式涉及一種液體噴射頭，其特征在于，具備：噴嘴板，其上形成有包含噴射液體的第一噴嘴的第一噴嘴列、和包含噴射液體第二噴嘴的第二噴嘴列；流道形成基板，其上形成有與所述第一噴嘴連通的第一壓力產生室、和與所述第二噴嘴連通的第二壓力產生室；振動板，其被形成于所述流道形成基板的一面側；第一壓電元件，其被設置于所述振動板上的與所述第一壓力產生室相對應的位置上；第二壓電元件，其被設置于所述振動板上的與所述第二壓力產生室相對應的位置上；保護基板，其被接合于所述流道形成基板的所述一面側并具有流道；流道部件，其被接合于所述保護基板的與所述流道形成基板相反一側；驅動電路，其被安裝于由所述流道形成基板、所述保護基板和所述流道部件包圍而形成的空間內，且被安裝于所述流道形成基板的所述第一壓電元件與所述第二壓電元件之間，并對所述第一壓電元件和所述第二壓電元件進行驅動；填充劑，其被填充于所述驅動電路與所述流道形成基板、以及所述驅動電路與所述保護基板之間；保護膜，其被形成于從所述保護基板的所述流道的內壁起、至所述保護基板的與所述流道部件接合的接合面中的至少與所述內壁的邊界側為止，所述保護膜具有露出孔，所述露出孔使所述填充劑的表面的至少一部分露出。

在所涉及的方式中，通過在保護膜上設置露出孔，從而能夠將從填充劑產生的氣體從露出孔排出至空間內。因此，能夠對從填充劑產生的氣體向驅動電路的端子部或者驅動電路與流道形成基板的接合界面移動的情況進行抑制，從而能夠抑制由氣體引起的端子部的污染，并且能夠抑制因接合界面的緊貼不良而引起的遷移。