[發明專利]一種用于柔性ITO的打印圖案化刻蝕方法

在審

• 申請號: 201811040477.7
• 申請日: 2018-09-07
• 公開（公告）號: CN110890479A
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發明（設計）人: 呂文理;彭應全;丁思晗;周震康
• 申請（專利權）人: 中國計量大學
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種用于柔性ITO基底的打印圖案化刻蝕方法，包括以下步驟：(1)采用打印機在柔性ITO基底上打印出高質量的待刻蝕圖案；(2)將打印好圖案的柔性ITO基底用強酸溶液進行快速腐蝕；(3)脫去基底上打印圖案的油墨層，進行清洗和干燥，得到圖案化刻蝕的柔性ITO基底。本發明用于柔性ITO的打印圖案化刻蝕方法具有操作工藝簡單、成本低等優點，且能夠實現精細復雜的刻蝕圖案。

技術領域

本發明涉及光電子器件的制備領域，具體設計一種用于柔性ITO圖案化刻蝕的方法。

背景技術

柔性顯示屏和柔性有機發光二極管(OLED)都需要制備在柔性襯底上，常用的柔性襯底主要是聚合物材料襯底，例如聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚對苯二甲酸二醇酯（PET）、聚對萘二甲酸乙二醇酯（PEN）和聚酰亞胺等，其中實驗室常用的有PET和PEN兩種。通常在柔性襯底上利用濺射等工藝沉積了一層透明的導電金屬氧化物(例如氧化銦錫，ITO)作為柔性OLED的陽極。在柔性ITO襯底上制備OLED時，需要進一步將ITO刻蝕成所需的電極圖案。傳統用于玻璃ITO等非柔性ITO基底刻蝕的方法有曝光刻蝕(中國發明專利CN105087009)和貼膜(膠帶)刻蝕等，均無法用于柔性ITO圖案化刻蝕。對于曝光刻蝕方法，所用的光刻膠比柔性襯底與ITO薄膜附著性更強，在脫膜過程中ITO會粘附在光刻膠上與柔性襯底脫離，造成刻蝕失敗。而貼膜刻蝕方法除了無法實現復雜精細的刻蝕圖案，粘性的貼膜會對柔性ITO薄膜造成損傷，并且貼膜與ITO之間的往往存在氣泡會導致刻蝕的邊界不整齊。針對柔性ITO的圖案化刻蝕問題，柔性ITO廠商可以提供定制的圖案化刻蝕服務，采用的是激光刻蝕方法。但是這種定制的ITO刻蝕服務大幅增加了柔性ITO的采購成本、延長了采購周期，另外由于ITO激光刻蝕機成本高昂，大多研究單位不會選擇采購。

發明內容

本發明的目的在于提供一種用于柔性ITO薄膜的圖案化刻蝕方法，可以替代廠商所采用激光刻蝕方法，為柔性ITO圖案化刻蝕提供一種簡單易操作的方案。

本發明采用如下技術方案。

一種用于柔性ITO的打印圖案化刻蝕方法，包括如下操作。

利用打印機在柔性ITO基底上打印出高質量的待刻蝕圖案，然后將打印好圖案的柔性ITO基底用強酸溶液進行快速腐蝕，最后脫去打印圖案的油墨層，進行清洗和干燥，從而得到圖案化刻蝕的柔性ITO基底。

這種打印圖案化刻蝕方法采用打印油墨作為ITO的掩蔽材料，容易清洗去除，不會對ITO薄膜造成損傷；其次，這種打印圖案刻蝕方法比一般的曝光圖案或者貼膜圖案更加精細準確，能夠實現精細復雜的ITO刻蝕圖案；最后，這種打印圖案化刻蝕方法比激光刻蝕方法經濟、靈活。

附圖說明

圖1A至1D為本發明柔性ITO打印圖案化刻蝕方法的步驟示意圖。

圖2為柔性ITO打印圖案化刻蝕方法的流程圖.。

具體實施方式

為了使本發明的目的及優點更加清楚明白，以下結合實施例對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明權利要求保護的范圍，實施例中所涉及的各種材料、試劑，均可通過商業途徑購買得到。

實施例。

以PET/ITO 基底刻蝕為例，如圖1A至1D以及圖2所示，柔性ITO的打印圖案化刻蝕方法步驟如下。

用打印機直接在PET/ITO基底(圖1A)上直接打印需刻蝕的圖案，打印圖案后的柔性ITO基底如圖1B所示，11為PET柔性襯底，12為ITO薄膜，13為打印圖案的油墨層。打印機可以是噴墨或者激光打印機，對打印質量要求較高，需要打印的油墨或者粉足夠厚且足夠致密。