[發(fā)明專利]一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置及砷烷/磷烷廢氣處理方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811036630.9
• 申請(qǐng)日: 2018-09-06
• 公開（公告）號(hào): CN108854487A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉艷云;付華良;顏瑞;潘學(xué)明;王家璇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州紡織服裝職業(yè)技術(shù)學(xué)院;常州綠為環(huán)保科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/75
• 分類號(hào): B01D53/75;B01D53/78;B01D53/64;B01D53/72
• 代理公司: 常州智慧騰達(dá)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32328
• 代理人: 曹軍

本發(fā)明涉及一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置及砷烷/磷烷廢氣處理方法，屬于廢氣處理技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的砷烷/磷烷處理裝置，包括儲(chǔ)液箱、設(shè)置于儲(chǔ)液箱上并與儲(chǔ)液箱連通的進(jìn)樣裝置、凈化塔、噴淋系統(tǒng)；進(jìn)樣裝置包括兩端開口的連接器，連接器的頂端設(shè)有進(jìn)氣口和進(jìn)液口，連接器通過儲(chǔ)液箱的上部空間與凈化塔連通；噴淋系統(tǒng)包括與儲(chǔ)液箱連通的循環(huán)泵、連通管道、第一噴頭區(qū)、第二噴頭區(qū)；凈化塔的底部結(jié)構(gòu)為帶孔的檔板；凈化塔內(nèi)設(shè)有第一隔板和第二隔板將凈化塔分割為一級(jí)凈化塔和二級(jí)凈化塔；一級(jí)凈化塔和二級(jí)凈化塔內(nèi)均裝有填料；一級(jí)凈化塔中的填料的上方設(shè)有第一噴頭區(qū)；二級(jí)凈化塔中填料的上方設(shè)有第二噴頭區(qū)。本發(fā)明的處理裝置對(duì)廢氣的處理效率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置及砷烷/磷烷廢氣處理方法，屬于廢氣處理技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

砷烷、磷烷是對(duì)人體有劇毒的物質(zhì)，醫(yī)學(xué)毒理研究表明成人吸入250ppm的砷烷、磷烷氣體便會(huì)迅速死亡，而暴露在30ppm的砷烷、磷烷中30分鐘亦可致命。長期暴露在10ppm的砷烷、磷烷也可致命。暴露于0.5ppm的砷烷、磷烷后出現(xiàn)中毒癥狀。國家環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境中的砷烷、磷烷最高允許高度為5×10^-8。

砷烷主要產(chǎn)生于半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中廠爐管、離子植入制程、MOCVD制程的尾氣中。而磷烷主要產(chǎn)生于乙炔生產(chǎn)、黃磷生產(chǎn)、飼料發(fā)酵等方面的尾氣中。單獨(dú)處理尾氣中的砷烷或磷烷的方法很多?，F(xiàn)有技術(shù)中常采用高錳酸鉀溶液處理含砷烷/磷烷的廢氣，將高錳酸鉀溶液自上而下噴淋與含砷烷/磷烷的廢氣在噴淋塔內(nèi)接觸吸收，采用高錳酸鉀氧化法處理含砷廢氣，但是高錳酸鉀與含砷廢氣進(jìn)行氧化還原反應(yīng)的時(shí)會(huì)產(chǎn)生錳的結(jié)晶物堵塞噴淋系統(tǒng)填料，造成設(shè)備停產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的第一個(gè)目的在于提供一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置，利用該裝置處理廢氣中的砷烷/磷烷效率高達(dá)99％。

本發(fā)明的第二個(gè)目的在于提供一種砷烷/磷烷廢氣處理方法。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是：

一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置，包括儲(chǔ)液箱、設(shè)置于所述儲(chǔ)液箱上并與所述儲(chǔ)液箱連通的進(jìn)樣裝置、凈化塔、噴淋系統(tǒng)；所述進(jìn)樣裝置包括兩端開口的連接器，所述連接器的頂端設(shè)有進(jìn)氣口和進(jìn)液口，所述連接器通過所述儲(chǔ)液箱的上部空間與所述凈化塔連通；所述噴淋系統(tǒng)包括與所述儲(chǔ)液箱連通的循環(huán)泵、連通管道、第一噴頭區(qū)、第二噴頭區(qū)；所述凈化塔的底部結(jié)構(gòu)為帶孔的檔板以實(shí)現(xiàn)所述凈化塔與所述儲(chǔ)液箱氣液的流通；所述凈化塔內(nèi)設(shè)有第一隔板和第二隔板將所述凈化塔分割為一級(jí)凈化塔和二級(jí)凈化塔；所述一級(jí)凈化塔和二級(jí)凈化塔內(nèi)均裝有填料；所述一級(jí)凈化塔中的填料的上方設(shè)有所述第一噴頭區(qū)；所述二級(jí)凈化塔中填料的上方設(shè)有所述第二噴頭區(qū)。

進(jìn)一步的，上述連接器優(yōu)選為錐形連接器。進(jìn)一步優(yōu)選為錐形連接瓶。

所述儲(chǔ)液箱上安裝有pH傳感器、溫度傳感器和ORP(氧化還原電位)傳感器。

所述檔板上的孔的孔徑小于所述填料的直徑。所述孔既能實(shí)現(xiàn)氣液的流通而不能使填料通過。

填料可以增大氣液接觸面積及分散氣流，加大噴淋設(shè)備對(duì)廢氣的處理效率。

所述一級(jí)凈化塔和二級(jí)凈化塔串聯(lián)連接。

所述連通管道上設(shè)有溫度控制裝置。由于溫度會(huì)影響吸收液的pH，進(jìn)而影響吸收液對(duì)廢氣的處理效果，本發(fā)明在吸收液流通的管道上設(shè)置溫度控制器，用于控制吸收液的溫度，保證吸收液作用于廢氣時(shí)具有好的凈化效果。

所述第一隔板和所述第二隔板之間的空間形成氣道供氣體流通。

所述第一隔板與所述凈化塔的頂端之間有空隙；所述第二隔板與所述凈化塔的頂端接觸。

所述第一隔板的下端由所述凈化塔延伸至所述儲(chǔ)液箱中的液面以下。