[發明專利]一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置及砷烷/磷烷廢氣處理方法

在審

• 申請號: 201811036630.9
• 申請日: 2018-09-06
• 公開（公告）號: CN108854487A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 劉艷云;付華良;顏瑞;潘學明;王家璇
• 申請（專利權）人: 常州紡織服裝職業技術學院;常州綠為環保科技有限公司
• 主分類號: B01D53/75
• 分類號: B01D53/75;B01D53/78;B01D53/64;B01D53/72
• 代理公司: 常州智慧騰達專利代理事務所(普通合伙) 32328
• 代理人: 曹軍

1.一種砷烷/磷烷廢氣處理裝置，其特征在于，包括儲液箱、設置于所述儲液箱上并與所述儲液箱連通的進樣裝置、凈化塔、噴淋系統；所述進樣裝置包括兩端開口的連接器，所述連接器的頂端設有進氣口和進液口，所述連接器通過所述儲液箱的上部空間與所述凈化塔連通；所述噴淋系統包括與所述儲液箱連通的循環泵、連通管道、第一噴頭區、第二噴頭區；所述凈化塔的底部結構為帶孔的檔板以實現所述凈化塔與所述儲液箱氣液的流通；所述凈化塔內設有第一隔板和第二隔板將所述凈化塔分割為一級凈化塔和二級凈化塔；所述一級凈化塔和二級凈化塔內均裝有填料；所述一級凈化塔中的填料的上方設有所述第一噴頭區；所述二級凈化塔中填料的上方設有所述第二噴頭區。

2.根據權利要求1所述的砷烷/磷烷廢氣處理裝置，其特征在于，所述儲液箱上安裝有pH傳感器、溫度傳感器和ORP傳感器。

3.根據權利要求1所述的砷烷/磷烷廢氣處理裝置，其特征在于，所述連通管道上設有溫度控制裝置。

4.根據權利要求1所述的砷烷/磷烷廢氣處理裝置，其特征在于，所述第一隔板和所述第二隔板之間的空間形成氣道供氣體流通。

5.根據權利要求1所述的砷烷/磷烷廢氣處理裝置，其特征在于，所述第一隔板與所述凈化塔的頂端之間有空隙；所述第二隔板與所述凈化塔的頂端接觸。

6.根據權利要求1所述的砷烷/磷烷廢氣處理裝置，其特征在于，所述第一隔板的下端由所述凈化塔延伸至所述儲液箱中的液面以下。

7.根據權利要求1所述的砷烷/磷烷廢氣處理裝置，其特征在于，所述第二噴頭區的上方設有除霧器，所述除霧器的上方設有與外界連通的排口。

8.根據權利要求1所述的砷烷/磷烷廢氣處理裝置，其特征在于，所述噴淋系統還包括設置于所述連通管道與所述進液口之間的支液管。

9.一種砷烷/磷烷廢氣處理方法，其特征在于，采用權利要求1-8任一項所述的處理裝置進行處理，包括以下步驟：

1)將儲液箱中的吸收液輸送至進樣裝置及第一噴頭區、第二噴頭區中，經第一噴頭區和第二噴頭區噴灑至凈化塔中的填料表面；所述吸收液為次氯酸鈉溶液；

2)砷烷/磷烷廢氣經進氣口進入連接器中，與連接器中的吸收液反應進行一次凈化；

3)經一次凈化后的廢氣進入一級凈化塔中與填料表面的吸收液反應進行二次凈化；

4)經二次凈化后的廢氣進入二級凈化塔中進行再次凈化，之后排出。

10.根據權利要求9所述的砷烷/磷烷廢氣處理方法，其特征在于，所述吸收液的ORP值為600～1000；所述吸收液的pH為7～9；所述吸收液的溫度為18～25℃。