[發明專利]一種用于卷繞鍍膜系統沉積輥的防護裝置在審

申請號：	201811027434.5	申請日：	2018-09-04
公開（公告）號：	CN109338337A	公開（公告）日：	2019-02-15
發明（設計）人：	王小軍;黨文強;馮煜東;董茂進;何丹;李中華	申請（專利權）人：	無錫泓瑞航天科技有限公司
主分類號：	C23C16/54	分類號：	C23C16/54;C23C16/513
代理公司：	北京理工大學專利中心 11120	代理人：	張潔;仇蕾安
地址：	214000 江蘇省無錫市無***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	防護罩沉積絕緣墊基膜防護罩底座開口鍍膜系統防護裝置不接觸卷繞真空鍍膜技術真空室腔壁鍍膜設備基膜邊緣清潔周期生產效率同軸套裝筒狀結構筒狀罩體抑制沉積輥兩端良品率有效地幅寬穿出穿入卷出膜材狹縫卷入污染
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【權利要求書】：

1.一種用于卷繞鍍膜系統沉積輥的防護裝置，其特征在于：所述裝置包括：防護罩(2)和絕緣墊(3)，所述防護罩(2)材質為奧氏體不銹鋼，所述防護罩(2)同軸套裝在沉積輥(1)的兩端，且與沉積輥(1)和基膜(8)均不接觸；所述防護罩(2)為筒狀結構，筒狀罩體上開有兩個用于基膜(8)的卷入和卷出的穿膜開口(5)，穿膜開口(5)與基膜(8)不接觸；所述防護罩(2)的底部設有防護罩底座(4)，所述防護罩底座(4)固定在絕緣墊(3)上，所述絕緣墊(3)固定在真空室腔壁上。

2.如權利要求1所述的一種用于卷繞鍍膜系統沉積輥的防護裝置，其特征在于：穿膜開口(5)沿平行于基膜(8)走向延伸出兩段空心的延長保護段(6)。

3.如權利要求1或2所述的一種用于卷繞鍍膜系統沉積輥的防護裝置，其特征在于：基膜(8)側邊伸入防護罩(2)內部的長度為30～50mm。

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