[發明專利]壓力控制方法

有效

• 申請號: 201811024234.4
• 申請日: 2018-09-04
• 公開（公告）號: CN109183003B
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 宋海;王秉國;蒲浩;沈超
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/455;H01L27/11524;H01L27/11551;H01L27/1157;H01L27/11578
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 董琳;陳麗麗

1.一種壓力控制方法，其特征在于，包括如下步驟：

提供一反應腔室，所述反應腔室與抽氣泵通過排氣管連通；

采用所述抽氣泵對所述反應腔室抽氣，并根據所述抽氣泵的泵送性能信息自所述排氣管向所述反應腔室注入補償氣體，使所述反應腔室內的壓力保持在預設壓力，所述泵送性能信息為采用所述抽氣泵對所述反應腔室抽氣時，傳輸至所述反應腔室的吹掃氣體流速與所述反應腔室內的壓力之間的對應關系信息。

2.根據權利要求1所述的壓力控制方法，其特征在于，對所述反應腔室抽氣之前還包括：

開啟連接于所述反應腔室與所述抽氣泵之間的閥門，連通所述反應腔室與所述抽氣泵。

3.根據權利要求2所述的壓力控制方法，其特征在于，所述閥門為蝴蝶閥。

4.根據權利要求2所述的壓力控制方法，其特征在于，所述反應腔室內持續通入預設流速的吹掃氣體；根據所述抽氣泵的泵送性能信息向所述反應腔室注入補償氣體的具體步驟包括：

獲取所述泵送性能信息；

從所述泵送性能信息中選擇與所述預設壓力匹配的所述反應腔室內的氣體流速，作為理論氣體流速；

以所述理論氣體流速與所述預設流速之差作為所述補償氣體的注入流速。

5.根據權利要求4所述的壓力控制方法，其特征在于，還包括如下步驟：

提供一標準泵；

獲取所述標準泵的標準信息，所述標準信息是采用所述標準泵對所述反應腔室抽氣時，傳輸至所述反應腔室的吹掃氣體流速與所述反應腔室內的壓力之間的對應關系信息；

從所述標準信息中選擇與所述預設流速匹配的所述反應腔室內的壓力，作為第一壓力；

從所述泵送性能信息中選擇與所述預設流速匹配的所述反應腔室內的壓力，作為第二壓力；

判斷所述第一壓力是否低于所述第二壓力，若是，則確認所述抽氣泵與所述反應腔室不匹配，更換所述抽氣泵。

6.根據權利要求5所述的壓力控制方法，其特征在于，所述標準泵為無補償氣體注入時，通過對所述反應腔室抽氣能夠使得所述反應腔室的壓力保持在所述預設壓力的抽氣泵。

7.根據權利要求5所述的壓力控制方法，其特征在于，所述標準信息與所述泵送性能信息均是在所述閥門處于全開狀態時，分別采用所述標準泵與所述抽氣泵對所述反應腔室抽氣獲取的。

8.根據權利要求2所述的壓力控制方法，其特征在于，根據所述抽氣泵的泵送性能信息向所述反應腔室注入補償氣體的具體步驟包括：

沿氣體自所述反應腔室流向所述抽氣泵的方向，于所述閥門的下游向所述反應腔室內注入所述補償氣體。

9.根據權利要求1所述的壓力控制方法，其特征在于，所述補償氣體為氮氣。

10.根據權利要求1所述的壓力控制方法，其特征在于，所述反應腔室為原子層沉積工藝的反應腔室。