[發明專利]用于蒸鍍的輔助裝置、方法及蒸鍍系統

有效

• 申請號: 201811023856.5
• 申請日: 2018-09-04
• 公開（公告）號: CN109234683B
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發明（設計）人: 金政澤;楊春梅
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;綿陽京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/04
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司 11257
• 代理人: 付生輝

本發明提供一種用于蒸鍍的輔助裝置、方法及蒸鍍系統。該輔助裝置包括：角度限制板，所述角度限制板包括分別位于蒸鍍噴嘴的兩側的第一本體部和第二本體部；檢測單元，檢測所述第一本體部和/或第二本體部一側端面上蒸鍍顆粒的累積高度是否超過預定閾值；以及控制單元，若蒸鍍顆粒的累積高度超過預定閾值，則控制所述角度限度板移動。通過在角度限制板上方設置檢測單元，檢測單元檢測角度限制板上蒸鍍顆粒的累積高度，從而在角度限制板上累積的蒸鍍顆粒達到一定程度時，可通過移動角度限制板使得蒸鍍材料掉落在蒸鍍源的外側，可以有效避免蒸鍍顆粒在角度限制板上的累積，從而避免噴嘴的噴射角度發生變化導致基板上圖案不均勻的問題。

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域。更具體地，涉及一種用于蒸鍍的輔助裝置、方法及蒸鍍系統。

背景技術

OLED面板生產的主要工藝大致可以分為前處理工藝，成膜工藝和封裝工藝。其中蒸鍍工藝屬于成膜工藝，有機薄膜蒸鍍時，為了在基板上形成有機或無機薄膜，需要在基板上排列形成一定圖案的掩膜板，然后對蒸發源進行加熱，蒸發源里的蒸鍍顆粒通過噴嘴蒸鍍在基板上。為了防止蒸鍍顆粒因噴射角度不同導致基板上的圖案不均勻，需要設置角度限制板限制蒸鍍顆粒的噴射角度，但隨著時間的推移，蒸鍍材料會逐漸累積到角度限制板遠離蒸鍍源的一端，使得角度限制板的端部“變長”，導致蒸鍍顆粒的噴射角度發生變化，從而導致基板上的圖案不均勻的問題。

發明內容

為了解決現有技術用于蒸鍍的角度限制板由于逐漸累積蒸鍍顆粒而“變長”，導致蒸鍍顆粒的噴射角度發生變化，從而導致基板上的圖案不均勻的問題，本發明第一方面提供一種蒸鍍輔助裝置，包括：

角度限制板，所述角度限制板包括分別位于蒸鍍噴嘴的兩側的第一本體部和第二本體部，所述第一本體部和所述第二本體部包括沿豎直Y軸方向設置并靠近所述蒸鍍噴嘴的第一端部和與所述第一端部相對設置的遠離所述蒸鍍噴嘴的第二端部；

檢測單元，檢測所述第一本體部和/或第二本體部的第二端部的端面上蒸鍍顆粒的累積高度是否超過預定閾值；以及

控制單元，若蒸鍍顆粒的累積高度超過預定閾值，則控制所述角度限度板移動。

優選地，所述蒸鍍輔助裝置還包括分別與第一本體部和第二本體部對應的兩對轉動輥，每個本體部一端纏繞于其中一對轉動輥中的第一轉動輥，每個本體部另一端纏繞于其中一對轉動輥中的第二轉動輥，響應于檢測到蒸鍍顆粒的累積高度超過預定閾值而從所述第一轉動輥移動到所述第二轉動輥。

優選地，所述第一本體部和第二本體部進一步包括沿角度限制板長度方向相對設置的第三端部和第四端部，所述角度限制板進一步包括：

將所述第一本體部和第二本體部各自的第三端部連接在一起的第一彎折部和將所述第一本體部和第二本體部各自的第四端部連接在一起的第二彎折部，從而使得所述角度限制板構成傳送帶結構；

所述蒸鍍輔助裝置還包括與第一彎折部對應的第一轉動輥和與第二彎折部對應的第二轉動輥，響應于檢測到蒸鍍顆粒的累積高度超過預定閾值而將所述角度限制板上的蒸鍍顆粒從所述第一轉動輥向所述第二轉動輥移動。

優選地，所述第一本體部和第二本體部進一步包括沿角度限制板長度方向相對設置的第三端部和第四端部，

所述角度限制板進一步包括連接第一本體部和第二本體部各自的第三端部的連接部，所述第一本體部和第二本體部各自的第四端部之間形成開口，

所述平移為遠離第四端方向的平移。

優選地，所述檢測單元包括：

光發射單元和光接收單元，其中光發射單元向所述光接收單元發射平行于所述端面光線，所述光線與所述端面的距離為所述預定閾值，

若所述光接收單元不再接收到所述光線，則控制單元控制所述角度限度板移動。