[發(fā)明專利]高度檢測裝置和激光加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811023780.6
• 申請日: 2018-09-04
• 公開（公告）號: CN109465541B
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 能丸圭司;澤邊大樹;木村展之
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

1.一種高度檢測裝置，其是分光干涉型的高度檢測裝置，其中，

該高度檢測裝置具有：

卡盤工作臺，其對被加工物進(jìn)行保持；以及

高度檢測單元，其對該卡盤工作臺所保持的被加工物的上表面高度進(jìn)行檢測，

該高度檢測單元包含：

光源，其向第1光路射出具有規(guī)定的寬度的波段的光；

聚光器，其配設(shè)在該第1光路上，使光會聚于該卡盤工作臺所保持的被加工物；

分束器，其配設(shè)在該光源與該聚光器之間，將該第1光路的光分支到第2光路；

反射鏡，其配設(shè)在該第2光路上，生成基本的光路長度，將光反射到該第2光路并經(jīng)由該分束器使光返回到該第1光路；

光分支部，其配設(shè)在該分束器與該光源之間，將在該卡盤工作臺所保持的被加工物的上表面上發(fā)生反射并經(jīng)由該聚光器而返回到該第1光路的光和通過該反射鏡而返回的光的干涉光從該第1光路分支到第3光路；以及

計算單元，其配設(shè)在該第3光路上，根據(jù)該干涉光來計算被加工物的高度，

該計算單元包含：

波段分支部，其將該光源所射出的波段的光分支成至少兩個波段；以及

選擇部，其對在該波段分支部中分支的任意的光進(jìn)行選擇，

該高度檢測裝置利用圖像傳感器來捕捉該選擇部所選擇的波段的干涉光，從而計算被加工物的高度，

該波段分支部包含：

分色鏡，其使該光源所射出的規(guī)定的波段的光中的第1波段的光透過，對第2波段的光進(jìn)行反射；

第1帶通濾波片，其配設(shè)在該第1波段的光的光路上，將噪聲光去除；

第1衍射光柵，其使來自該第1帶通濾波片的光按照該第1波段分散；

第2帶通濾波片，其配設(shè)在該第2波段的光的光路上，將噪聲光去除；以及

第2衍射光柵，其使來自該第2帶通濾波片的光按照該第2波段分散，

該選擇部包含遮光板，該遮光板遮擋該第1波段的光的光路和該第2波段的光的光路中的任意光路。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高度檢測裝置，其中，

該計算單元包含存儲部，該存儲部根據(jù)被加工物的坐標(biāo)對計算出的高度信息進(jìn)行存儲。

3.一種激光加工裝置，其具有權(quán)利要求2所述的高度檢測裝置，其中，

該激光加工裝置具有：

激光振蕩器，其振蕩出對該卡盤工作臺所保持的被加工物進(jìn)行加工的激光光線；

光學(xué)系統(tǒng)，其將該激光振蕩器所振蕩出的激光光線引導(dǎo)至該聚光器；以及

驅(qū)動部，其配設(shè)在該聚光器上，根據(jù)存儲于該存儲部的高度信息而使該聚光器接近或遠(yuǎn)離該卡盤工作臺所保持的被加工物。