[發明專利]流體控制組件及其使用方法

有效

• 申請號: 201811021011.2
• 申請日: 2018-09-03
• 公開（公告）號: CN110873191B
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發明（設計）人: 謝文杰
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: F16K1/22
• 分類號: F16K1/22;F16K1/42;F16K27/02;H01L21/67
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 李玉鎖;章侃銥

1.一種流體控制元件，包括：

一第一固定座；

一第二固定座；以及

一閥座，設置于該第一固定座與該第二固定座之間；

一閥體，設置于該閥座內并配置用以改變通過該閥座的氣體的流量；

其中，該第一固定座包括一橫向限位件，該橫向限位件與該閥座沿一橫軸方向排列且抵靠該閥座；

其中，該閥座可移動于垂直該橫軸方向的一縱軸方向，且該橫向限位件限制該閥座在該橫軸方向上的位移。

2.如權利要求1所述的流體控制元件，其中該閥座包括一橫向限位平面，該橫向限位平面在該橫軸方向上直接接觸該橫向限位件。

3.如權利要求2所述的流體控制元件，其中該閥座還包括一軸向限位平面，該軸向限位平面位于該橫向限位平面的一側，并直接接觸該橫向限位件的一端面；

其中，該軸向限位平面限制該閥座在一長軸方向上的位移，該長軸方向垂直該橫軸方向與該縱軸方向。

4.如權利要求2所述的流體控制元件，其中該第一固定座包括一軸向限位件，該軸向限位件連結該橫向限位件面向該橫向限位平面的一側；并且

該閥座包括一滑槽，該滑槽形成于該橫向限位平面之上，并沿該縱軸方向延伸；

其中，該軸向限位件設置于該滑槽內，且該滑槽限制該閥座在一長軸方向上的位移，該長軸方向垂直該橫軸方向與該縱軸方向。

5.如權利要求2所述的流體控制元件，其中該橫向限位平面相對該橫向限位件傾斜。

6.如權利要求1所述的流體控制元件，其中該第一固定座與該第二固定座至少其中一者包括一縱向限位件，該縱向限位件與該閥座沿該縱軸方向排列且抵靠該閥座，以限制該閥座在該縱軸方向上的位移。

7.如權利要求1所述的流體控制元件，還包括：

一鎖附螺栓；

一抵靠螺栓；以及

一殼體，連結該閥座并覆蓋該第一固定座或該第二固定座的一外表面，其中該殼體被一外鎖附螺孔與一虛設螺孔所貫穿，并且一內鎖附螺孔對齊該外鎖附螺孔并形成于該外表面；

當該閥座固定在該第一固定座與該第二固定座之間時，該鎖附螺栓設置于該外鎖附螺孔及該內鎖附螺孔內；并且

當該閥座自該第一固定座與該第二固定座分離時，該鎖附螺栓自該內鎖附螺孔分離，且該抵靠螺栓設置于該虛設螺孔中，并抵靠該外表面。

8.一種使用流體控制元件的方法，包括：

固定一第一固定座于一上游氣體管道；

固定一第二固定座于一下游氣體管道；以及

移動一閥座進入位于該第一固定座與該第二固定座之間的一固定位置；

其中，該第一固定座包括一橫向限位件，該橫向限位件與該閥座沿一橫軸方向排列且抵靠該閥座，在該閥座移動進入位于該第一固定座與該第二固定座之間的該固定位置的過程中，該橫向限位件限制該閥座在該橫軸方向上的位移。

9.如權利要求8項所述使用流體控制元件的方法，其中該閥座包括一橫向限位平面，該橫向限位平面在該橫軸方向上直接接觸該橫向限位件且相對于該橫向限位件傾斜；

其中，在該閥座移動進入位于該第一固定座與該第二固定座之間的該固定位置的過程中，逐漸增加該橫向限位件與該橫向限位平面間的阻力。

10.如權利要求8項所述使用流體控制元件的方法，還包括：

在一連結該閥座的一虛設螺孔中設置一抵靠螺栓，該虛設螺孔面向該第一固定座或該第二固定座的一外表面；以及

旋轉該抵靠螺栓，使該抵靠螺栓抵靠該第一固定座或該第二固定座的該外表面，并推動該閥座離開位于該第一固定座與該第二固定座之間的該固定位置。