[發明專利]電子顯示屏封裝材料的缺陷檢測方法

在審

• 申請號: 201811015140.0
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN109211930A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: 張南;陳妍;寥金枝;潘慧慧;傅超;華佑南;李曉旻
• 申請（專利權）人: 勝科納米(蘇州)有限公司
• 主分類號: G01N21/91
• 分類號: G01N21/91;G01N21/64
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 朱琳

本發明公開了一種電子顯示屏封裝材料的缺陷檢測方法，包括提供樣品，并對樣品進行預處理；根據樣品特征配制納米級別的熒光溶液或熒光氣體，并將配置好的熒光溶液或熒光氣體置于無光處保存；將所述樣品放置于熒光溶液或熒光氣體中，使熒光分子充分滲入樣品的缺陷內；取出樣品、清洗并烘干；采用激光或者紫外光照射樣品，使缺陷中的熒光分子產生熒光；觀測樣品并獲取樣品上納米級以上的缺陷。本發明可以清晰探測到電子顯示屏封裝材料中納米級及以上尺寸的缺陷，為檢測納米級缺陷提供了技術保障。此外，本發明對于電子顯示屏封裝材料的面積沒有限制，且不會破壞電子顯示屏封裝材料下方的金屬層或電路，避免對電子顯示屏封裝材料造成不可逆的破壞。

技術領域

本發明涉及半導體封裝工藝，特別涉及一種電子顯示屏封裝材料的缺陷檢測方法。

背景技術

在電子顯示屏的封裝工藝中，為了提高其電學性能和可靠性，通常采用環氧樹脂、有機硅材料和玻璃等材料對核心部件進行封裝，起著與外界空氣、水汽隔絕的作用。而封裝工藝和材料的選擇往往會導致封裝層產生缺陷，成為潮氣和腐蝕性離子入侵的快速通道，導致顯示異常。因此如何定位電子顯示屏封裝中的缺陷是業界關注的焦點。目前對顯示屏缺陷的定位方法主要以超聲掃描顯微鏡和著色滲透探傷法為主，但是這些方法靈敏度不足，尤其是針對納米級缺陷的定位較為困難。

發明內容

本發明提供一種電子顯示屏封裝材料的缺陷檢測方法，以解決現有技術中存在的對電子顯示屏封裝材料上納米級缺陷定位和檢測困難的問題

為解決上述技術問題，本發明提供一種電子顯示屏封裝材料的缺陷檢測方法，包括：提供樣品，并對樣品進行預處理；根據樣品特征配制納米級別的熒光溶液或熒光氣體，并將配置好的熒光溶液或熒光氣體置于無光處保存；將所述樣品放置于熒光溶液或熒光氣體中，使熒光分子充分滲入樣品的缺陷內；取出樣品、清洗并烘干；采用激光或者紫外光照射樣品，使缺陷中的熒光分子產生熒光；觀測樣品并獲取樣品上納米級以上的缺陷。

作為優選，所述熒光溶液包括熒光素、羅丹明B、羅丹明6G、三(8-羥基喹啉)鋁(Alq3)等。濃度為1～1000ppm；所述熒光氣體包括苯等，濃度為1～1000ppm。

作為優選，所述樣品的滲透時間為0.01～50小時。

作為優選，采用熒光顯微鏡或共聚焦顯微鏡對樣品表面以及截面進行觀察，追蹤進入到樣品缺陷中的熒光分子，得到熒光顯微圖片。

作為優選，通過所述熒光顯微圖片來判斷缺陷的大小、位置及形態。

作為優選，所述樣品預處理步驟包括：使用有機溶劑擦拭樣品，并用光學顯微鏡觀察，確保樣品無污物。

所述有機溶劑為去離子水、酒精、丙酮或甲醇。

與現有技術相比，本發明使用熒光溶液或熒光氣體滲透的方式，探測電子顯示屏封裝材料表面的缺陷。這種探傷方法是使用納米級別的熒光物質作為滲透劑，將樣品浸泡在熒光滲透劑中，使得熒光分子可以充分滲入到缺陷中去。清洗后，保留在缺陷中的熒光分子在紫外光/激光的照射下，產生熒光。通過熒光顯微鏡或者共聚焦顯微鏡對樣品表面以及截面進行觀察，通過顯現的熒光顯微圖片來判斷缺陷的大小、位置及形態。通過本發明可以清晰探測到電子顯示屏封裝材料中納米級及以上尺寸的缺陷，為檢測納米級缺陷提供了技術保障。此外，本發明對于電子顯示屏封裝材料的面積沒有限制，對于大面積電子顯示屏能夠適應，且不會破壞電子顯示屏封裝材料下方的金屬層或電路，避免對電子顯示屏封裝材料造成不可逆的破壞。

附圖說明

圖1為本發明的電子顯示屏封裝材料的缺陷檢測方法流程圖。

具體實施方式