[發明專利]光刻設備、抗氣流擾動的方法及裝置

有效

• 申請號: 201811014164.4
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN110874021B
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 劉偉;劉劍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種抗氣流擾動裝置，其特征在于，包括抗氣流擾動組件，設置在一光柵尺測量組件上并用于對所述光柵尺測量組件執行抗氣流擾動操作，以及所述光柵尺測量組件和一運動臺相對設置，所述光柵尺測量組件用于測量所述運動臺的運動參數，所述抗氣流擾動組件位于所述光柵尺測量組件遠離所述運動臺的一側，所述抗氣流擾動操作包括增加或減少所述抗氣流擾動組件在面對所述運動臺的方向上的長度；

其中，當所述運動臺相對所述光柵尺測量組件運動時，所述光柵尺測量組件受到的氣流壓力發生變化，所述抗氣流擾動組件執行所述抗氣流擾動操作，以對所述光柵尺測量組件施加作用力，用于抵抗所述光柵尺測量組件由于受到的氣流壓力的變化而產生的位置偏移。

2.如權利要求1所述的抗氣流擾動裝置，其特征在于，所述抗氣流擾動組件包括主動阻尼器，所述主動阻尼器在執行所述抗氣流擾動操作時，所述主動阻尼器在面對所述運動臺的方向上的長度增加或減少，以抵制所述光柵尺測量組件由于受到的氣流壓力的變化而產生位置偏移。

3.如權利要求1所述的抗氣流擾動裝置，其特征在于，還包括：同步控制器，所述同步控制器連接所述運動臺和所述抗氣流擾動組件，用于當所述運動臺運動時，同步指示所述抗氣流擾動組件執行所述抗氣流擾動操作。

4.如權利要求3所述的抗氣流擾動裝置，其特征在于，所述抗氣流擾動裝置還包括抗氣流擾動控制器，所述抗氣流擾動控制器用于指示所述抗氣流擾動組件執行抗氣流擾動操作；以及，所述運動臺與一運動臺控制器連接，以利用所述運動臺控制器指示所述運動臺運動；

其中，所述同步控制器分別與所述抗氣流擾動控制器和所述運動臺控制器連接，所述同步控制器用于向所述抗氣流擾動控制器和所述運動臺控制器發送同步控制時序信息，以便所述運動臺控制器根據所述同步控制時序信息指示所述運動臺運動的同時，所述抗氣流擾動控制器根據所述同步控制時序信息同步指示所述抗氣流擾動組件執行抗氣流擾動操作。

5.如權利要求4所述的抗氣流擾動裝置，其特征在于，所述抗氣流擾動裝置還包括整機控制器，所述整機控制器與所述抗氣流擾動控制器、所述運動臺控制器和所述光柵尺測量組件均連接；

所述整機控制器用于接收所述光柵尺測量組件發送的所述運動參數，并將所述運動參數分別發送至所述抗氣流擾動控制器和所述運動臺控制器，以使所述運動臺控制器基于所述運動參數指示所述運動臺運動，以及所述抗氣流擾動控制器基于所述運動參數指示所述抗氣流擾動組件執行抗氣流擾動操作。

6.如權利要求1所述的抗氣流擾動裝置，其特征在于，所述光柵尺測量組件包括平面光柵和光柵安裝板，并且所述平面光柵面對所述運動臺，所述光柵安裝板位于所述平面光柵背離所述運動臺的一側。

7.如權利要求6所述的抗氣流擾動裝置，其特征在于，所述光柵尺測量組件安裝在一主基板上，所述主基板和所述光柵尺測量組件中的所述光柵安裝板之間通過柔性連接塊連接，所述柔性連接塊用于緩沖主基板和所述光柵尺測量組件之間的相互作用力，所述抗氣流擾動組件設置在所述光柵安裝版和所述主基板之間。

8.一種光刻設備，其特征在于，包括：光柵尺測量組件、運動臺以及如權利要求1～7任一項所述的抗氣流擾動裝置；

其中，所述光柵尺測量組件與所述運動臺相對設置，用于測量所述運動臺的運動參數，所述抗氣流擾動裝置包括抗氣流擾動組件，并且所述抗氣流擾動組件設置在所述光柵尺測量組件遠離所述運動臺的一側。