[發明專利]掩膜裝置及太陽能電池的制備方法

在審

• 申請號: 201811010346.4
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN109119365A
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發明（設計）人: 崔鴿
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 劉誠

本申請實施例涉及一種掩膜裝置及太陽能電池的制備方法。所述掩膜裝置包括第一掩膜片、第二掩膜片和開合結構。所述第一掩膜片具有至少一個第一掩膜圖形。所述第二掩膜片具有至少一個第二掩膜圖形。每一個第一掩膜圖形和每一個第二掩膜圖形的形狀相同。所述開合結構分別與所述第一掩膜片和所述第二掩膜片活動連接。當所述第一掩膜片和所述第二掩膜片閉合時，所述至少一個第一掩膜圖形和所述至少一個第二掩膜圖形重合。所述掩膜裝置可以在掩膜過程中避免采用人工檢測及誤差校對，可以對大面積的太陽能電池實現雙面掩膜，簡單、方便的制備出均勻的太陽能電池。

技術領域

本申請涉及光電技術領域，特別是涉及一種掩膜裝置及太陽能電池的制備方法。

背景技術

目前，不同尺寸的太陽能電池被廣泛的應用在路燈等電子設備上。工業上生產太陽能電池的尺寸較大，一般需要采用一定的工藝對襯底或者薄膜進行切割或者刻劃，在切割或者刻劃過程中會用到光刻及掩膜工藝。現有的采用雙面對準曝光技術，在襯底或者太陽能電池板的雙面設置掩膜板和曝光光源，這種曝光方式采用人工檢測，誤差較大，工藝的一致性較差。當掩膜圖形較小的時候，誤差會很大，不能制備出均勻的太陽能電池。

發明內容

基于此，有必要針對采用人工檢測，誤差較大，工藝的一致性較差，不能制備出均勻的太陽能電池的問題，提供一種掩膜裝置及太陽能電池的制備方法。

一種掩膜裝置，包括：

第一掩膜片，具有至少一個第一掩膜圖形；

第二掩膜片，具有至少一個第二掩膜圖形，所述至少一個第一掩膜圖形中的每一個第一掩膜圖形和所述至少一個第二掩膜圖形中的每一個第二掩膜圖形的形狀相同；以及

開合結構，分別與所述第一掩膜片和所述第二掩膜片活動連接，用以調節所述第一掩膜片和所述第二掩膜片之間的夾角，以使得所述第一掩膜片和所述第二掩膜片閉合時，所述至少一個第一掩膜圖形和所述至少一個第二掩膜圖形重合。

在一個實施例中，所述開合結構與所述第一掩膜片和所述第二掩膜片的可轉動連接，所述開合結構使得所述第一掩膜片和所述第二掩膜片實現0°-180°的轉動。

在一個實施例中，所述開合結構為合頁，所述合頁包括兩片合頁扇、轉軸和軸套，所述兩片合頁扇分別與所述第一掩膜片和所述第二掩膜片可轉動連接，所述轉軸和所述軸套實現所述第一掩膜片和所述第二掩膜片的鉸接。

在一個實施例中，所述開合結構在連接所述第一掩膜片和所述第二掩膜片方向上的長度為1厘米-10厘米。

在一個實施例中，所述第一掩膜片設置有第一定位結構；

所述第二掩膜片設置有第二定位結構；

當所述第一定位結構和所述第二定位結構配合固定時，所述至少一個第一掩膜圖形和所述至少一個第二掩膜圖形重合。

在一個實施例中，所述第一定位結構為凸起，所述第二定位結構為凹槽，當所述第一掩膜片與所述第二掩膜片重合時，所述凸起卡合在所述凹槽中。

在一個實施例中，所述第一定位結構為開孔，所述第二定位結構為掛鎖孔，當所述第一掩膜片與所述第二掩膜片重合時，所述掛鎖孔穿過所述開孔，在所述掛鎖孔處掛鎖以固定所述第一掩膜片和所述第二掩膜片。

一種太陽能電池的制備方法，包括以下步驟：