[發明專利]掩膜裝置及太陽能電池的制備方法

在審

• 申請號: 201811010346.4
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN109119365A
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發明（設計）人: 崔鴿
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 劉誠

1.一種掩膜裝置(100)，其特征在于，包括：

第一掩膜片(10)，具有至少一個第一掩膜圖形(11)；

第二掩膜片(20)，具有至少一個第二掩膜圖形(21)，所述至少一個第一掩膜圖形(11)中的每一個第一掩膜圖形(11)和所述至少一個第二掩膜圖形(21)中的每一個第二掩膜圖形(21)的形狀相同；以及

開合結構(30)，分別與所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)活動連接，用以調節所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)之間的夾角，以使得所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)閉合時，所述至少一個第一掩膜圖形(11)和所述至少一個第二掩膜圖形(21)重合。

2.如權利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，所述開合結構(30)與所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)的可轉動連接，所述開合結構(30)使得所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)實現0°-180°的轉動。

3.如權利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，所述開合結構(30)為合頁，所述合頁包括兩片合頁扇、轉軸和軸套，所述兩片合頁扇分別與所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)可轉動連接，所述轉軸和所述軸套實現所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)的鉸接。

4.如權利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，所述開合結構(30)在連接所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)方向上的長度為1厘米-10厘米。

5.如權利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，

所述第一掩膜片(10)設置有第一定位結構(12)；

所述第二掩膜片(20)設置有第二定位結構(22)；

當所述第一定位結構(12)和所述第二定位結構(22)配合固定時，所述至少一個第一掩膜圖形(11)和所述至少一個第二掩膜圖形(21)重合。

6.如權利要求5所述的掩膜裝置，其特征在于，所述第一定位結構(12)為凸起，所述第二定位結構(22)為凹槽，當所述第一掩膜片(10)與所述第二掩膜片(20)重合時，所述凸起卡合在所述凹槽中。

7.如權利要求5所述的掩膜裝置，其特征在于，所述第一定位結構(12)為開孔，所述第二定位結構(22)為掛鎖孔，當所述第一掩膜片(10)與所述第二掩膜片(20)重合時，所述掛鎖孔穿過所述開孔，在所述掛鎖孔處掛鎖以固定所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)。

8.一種太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供襯底(101)，并將所述襯底(101)夾設于掩膜裝置(100)中；其中，所述掩膜裝置(100)包括：第一掩膜片(10)、第二掩膜片(20)和開合結構(30)，所述第一掩膜片(10)具有至少一個第一掩膜圖形(11)，所述第二掩膜片(20)具有至少一個第二掩膜圖形(21)，所述至少一個第一掩膜圖形(11)中的每一個第一掩膜圖形(11)和所述至少一個第二掩膜圖形(21)中的每一個第二掩膜圖形(21)的形狀相同當所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)夾設所述襯底(101)之后，每一個所述第一掩膜圖形(11)與一個所述第二掩膜圖形(21)重合，所述襯底(101)具有與所述第一掩膜片(10)直接接觸的第一表面和與所述第二掩膜片(20)直接接觸的第二表面；

在所述第一表面和所述第二表面分別沉積第一本征層(201)和第二本征層(202)；

在所述第一本征層(201)和所述第二本征層(202)的表面分別沉積第一摻雜層(203)和第二摻雜層(204)；

在所述第一摻雜層(203)和所述第二摻雜層(204)的表面分別沉積第一透明導電層(301)和第二透明導電層(302)；

在所述第一透明導電層(301)和所述第二透明導電層(302)的表面分別第一導電電極(401)和第二導電電極(402)。