[發(fā)明專(zhuān)利]掩膜版、顯示基板及其制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811010166.6
• 申請(qǐng)日: 2018-08-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109212890B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖宇;李景陽(yáng);張國(guó)華;汪棟;宋勇志
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F1/38
• 分類(lèi)號(hào): G03F1/38;G02F1/13;G02F1/1339
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;胡影

本發(fā)明提供一種掩膜版、顯示基板及其制作方法，該掩膜版包括：透明襯底以及設(shè)置于所述透明襯底上的遮光層，所述遮光層上具有第一開(kāi)口圖形；所述透明襯底包括：第一區(qū)域，所述第一區(qū)域在所述遮光層上的正投影與所述第一開(kāi)口圖形重疊，所述第一區(qū)域的至少部分邊緣區(qū)域具有光線(xiàn)匯聚結(jié)構(gòu)，所述光線(xiàn)匯聚結(jié)構(gòu)用于將入射至所述至少部分邊緣區(qū)域的光線(xiàn)向所述第一開(kāi)口圖形的中心區(qū)域匯聚。本發(fā)明中，通過(guò)在掩膜版的開(kāi)口的邊緣區(qū)域設(shè)置光線(xiàn)匯聚結(jié)構(gòu)，可以將入射至開(kāi)口的邊緣區(qū)域的光線(xiàn)向開(kāi)口的中心區(qū)域匯聚，補(bǔ)償中心區(qū)域欠缺的光強(qiáng)度，避免形成火山口形貌的膜層圖形。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種掩膜版、顯示基板及其制作方法。

背景技術(shù)

薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)以其具有高畫(huà)質(zhì)、高空間利用率、低消耗功率、無(wú)輻射等眾多優(yōu)點(diǎn)成為市場(chǎng)的主流。在液晶顯示面板中，彩膜基板和陣列基板相對(duì)設(shè)置形成液晶盒，為保證液晶盒的盒厚的均一性，隔墊物(Photo Spacer，PS)起到重要的作用。

目前使用半透膜掩膜板(Half-tone Mask)制作隔墊物時(shí)，Half-Tone Mask開(kāi)口處的光透過(guò)率為確定的數(shù)值。當(dāng)曝光間隙(Gap)一定時(shí)(圖1中g(shù)ap＝200μm)，透過(guò)不同Half-Tone Mask開(kāi)口的光強(qiáng)度分布如圖1所示。當(dāng)Half-Tone Mask開(kāi)口大小為30μm或35μm時(shí)，入射光靠近開(kāi)口兩端處的光強(qiáng)度最弱，在開(kāi)口兩端向中間位置過(guò)渡過(guò)程中，光強(qiáng)度逐漸增強(qiáng)，但是，從圖1可以看出，透過(guò)其開(kāi)口中心區(qū)域的光強(qiáng)度反而會(huì)比相鄰區(qū)域弱，此特殊的光強(qiáng)度分布會(huì)使得隔墊物呈現(xiàn)火山口形貌，且Mask CD越大，隔墊物火山口越嚴(yán)重。

圖2-4為實(shí)際不同Half-Tone Mask開(kāi)口下形成的隔墊物形貌。從圖2-4可以看出，Half-Tone Mask開(kāi)口為25μm時(shí)，隔墊物形貌正常；開(kāi)口增大至30μm和35μm時(shí)，隔墊物形貌出現(xiàn)火山口形貌，且開(kāi)口越大，形貌越差。

由于火山口形貌的隔墊物在支撐作用上會(huì)大打折扣，會(huì)造成Touch Mura等力學(xué)不良，影響產(chǎn)品品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明提供一種掩膜版、顯示基板及其制作方法，用于解決利用目前的掩膜版形成的膜層圖形容易出現(xiàn)火山口形貌的問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種掩膜版，包括：

透明襯底，以及，設(shè)置于所述透明襯底上的遮光層，所述遮光層上具有第一開(kāi)口圖形；

所述透明襯底包括：第一區(qū)域，所述第一區(qū)域在所述遮光層上的正投影與所述第一開(kāi)口圖形重疊，所述第一區(qū)域的至少部分邊緣區(qū)域具有光線(xiàn)匯聚結(jié)構(gòu)，所述光線(xiàn)匯聚結(jié)構(gòu)用于將入射至所述至少部分邊緣區(qū)域的光線(xiàn)向所述第一開(kāi)口圖形的中心區(qū)域匯聚。

可選的，所述第一開(kāi)口圖形的橫截面形狀為矩形或圓形，所述第一開(kāi)口圖形的中心區(qū)域的寬度為所述第一開(kāi)口圖形的寬度的2/5～4/5。

可選的，所述光線(xiàn)匯聚結(jié)構(gòu)為開(kāi)設(shè)于所述第一區(qū)域的頂面的凹槽，所述頂面為所述第一區(qū)域的遠(yuǎn)離所述第一開(kāi)口圖形的一側(cè)表面。

可選的，所述第一區(qū)域?yàn)殚L(zhǎng)方體或圓柱體，所述凹槽的縱截面形狀為直角三角形，所述直角三角形的第一直角邊位于所述第一區(qū)域的頂面上，第二直角邊垂直于所述第一區(qū)域的頂面。

可選的，所述第二直角邊位于所述長(zhǎng)方體或圓柱體的側(cè)面上。

可選的，采用如下公式確定所述直角三角形的尺寸：

Tanα＝y(tǒng)/x；

Sinα/Sinβ＝n；

Tan(α-β)＝L1/(h-y)；

Tan(α-β)＝(L1+L2-x)/h；