[發明專利]對準裝置和方法、成膜裝置和方法及電子器件的制造方法

有效

• 申請號: 201811006627.2
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN109722626B
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發明（設計）人: 小林康信
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 劉楊

本發明提供對準裝置和方法、成膜裝置和方法及電子器件的制造方法，對準裝置包括：對準測量位置信息存儲部，存儲與基板的對準測量位置相關的信息；以及測量部，根據基于與上述對準測量位置相關的信息獲得的基板和掩模的對準標記的圖像，測量基板與掩模的相對的偏移，與上述對準測量位置相關的信息包括在基板的至少一部分與掩模接觸的狀態下進行的對準工序中的與基板的位置相關的信息。

技術領域

本發明涉及對準方法和裝置，特別涉及通過使進行對準的基板相對于掩模的相對位置根據基板和掩模的種類而不同，能夠迅速且使對基板圖案的損傷最小化的對準方法和裝置。

背景技術

最近，有機EL顯示裝置作為平板顯示裝置嶄露頭角。有機EL顯示裝置作為自發光顯示器，響應速度、視場角、薄型化等特性比液晶面板顯示器優異，在監視器、電視機、以智能手機為代表的各種便攜終端等方面，急速地替代了現有的液晶面板顯示器。此外，其應用領域也廣泛地分布于汽車用顯示器等。

有機EL顯示裝置的元件具有在兩個彼此相向的電極(陰極電極、陽極電極)之間形成有引起發光的有機物層的基本構造。有機EL顯示器元件的有機物層及電極金屬層通過在真空腔內經由形成有像素圖案的掩模使蒸鍍物質蒸鍍到基板上而被制造，但是為了使蒸鍍物質以所希望的圖案蒸鍍到基板上的所希望的位置，在進行向基板的蒸鍍之前，不得不精密地對齊掩模與基板的相對的位置。

因此，在掩模與基板上形成標記(將其稱為對準標記)，利用設置于成膜裝置的照相機拍攝這些對準標記，以使標記的中心彼此一致的方式使掩模與基板相對地移動。

發明內容

發明要解決的課題

若重復進行掩模與基板之間的對準工序，則存在真空蒸鍍工序所花費的時間(Tact)增大的課題。

本發明的主要目的在于，提供一種用于在降低對基板的損傷的同時迅速地進行掩模與基板之間的對準工序的對準方法、對準裝置、成膜方法、成膜裝置及電子器件的制造方法。

用于解決課題的技術方案

本發明的第一技術方案的對準裝置包括：對準測量位置信息存儲部，存儲與基板的對準測量位置相關的信息；以及測量部，根據基于與上述對準測量位置相關的信息獲得的基板和掩模的對準標記的圖像，測量基板與掩模的相對的偏移，與上述對準測量位置相關的信息包括在基板的至少一部分與掩模接觸的狀態下進行的對準工序中的與基板的位置相關的信息。

本發明的第二技術方案的成膜裝置包括：對準測量位置信息存儲部，存儲基板的對準測量位置信息；以及控制部，基于從上述對準測量位置信息存儲部讀取出的上述對準測量位置信息，對成膜裝置進行控制，上述對準測量位置信息包括在基板的至少一部分與掩模接觸的狀態下進行的對準工序中的與基板的位置相關的信息。

本發明的第三技術方案的成膜裝置包括控制部，該控制部從包括存儲基板的對準測量位置信息的對準測量位置信息存儲部在內的服務器接收該基板的上述對準測量位置信息，對成膜裝置進行控制，上述對準測量位置信息包括在基板的至少一部分與掩模接觸的狀態下進行的對準工序中的與基板的位置相關的信息。

本發明的第四技術方案的對準方法包括：第1對準工序，在使基板從掩模的上表面分離的狀態下，對齊基板和掩模的位置；以及第2對準工序，在使基板的至少一部分與掩模的上表面接觸的狀態下，對齊基板和掩模的位置，上述第2對準工序包括：讀取與基板的第2對準測量位置相關的信息的階段；基于與上述第2對準測量位置相關的上述信息，使上述基板相對于上述掩模移動到利用上述信息確定的位置的階段；以及檢測位于上述第2對準測量位置的上述基板和上述掩模的對準標記，測量上述基板與上述掩模之間的相對的偏移的階段。

本發明的第五技術方案的成膜方法包括：將掩模搬入真空腔內的階段；將基板搬入真空腔內的階段；使搬入的基板和掩模位置對齊的對準階段；以及經由掩模向基板成膜蒸鍍物質的階段，上述對準階段利用本發明的第4技術方案的對準方法而進行。