[發(fā)明專利]光學(xué)測試方法及光學(xué)測試系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811003344.2
• 申請(qǐng)日: 2018-08-30
• 公開（公告）號(hào): CN109470159B
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李承宗;羅益全;林訓(xùn)鵬;洪志明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/14
• 分類號(hào): G01B11/14
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷

本公開提供一種光學(xué)測試方法以及一種光學(xué)測試系統(tǒng)，該光學(xué)測試方法包括發(fā)射光通過設(shè)置在一固持器上的一被測光學(xué)元件的兩個(gè)基板之間的一間隙，以產(chǎn)生多個(gè)光束。所述光學(xué)測試方法還包括驅(qū)動(dòng)固持器及其上的被測光學(xué)元件移動(dòng)到N個(gè)位置。所述光學(xué)測試方法還包括接收來自在所述N個(gè)位置的被測光學(xué)元件的所述光束中的一者，以產(chǎn)生N個(gè)第一強(qiáng)度信號(hào)。此外，所述光學(xué)測試方法包括根據(jù)所述N個(gè)第一強(qiáng)度信號(hào)和參考數(shù)據(jù)來確定被測光學(xué)元件的間隙的大小。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實(shí)施例關(guān)于一種半導(dǎo)體技術(shù)，特別涉及一種用于確定光學(xué)元件的兩個(gè)基板之間的間隙的大小的光學(xué)測試方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

三維(three-dimensional，3D)光學(xué)成像系統(tǒng)能夠提供距離測量和捕捉區(qū)域內(nèi)的物體的深度影像(depth image)的功能。這種系統(tǒng)目前可以用于游戲和多媒體應(yīng)用中，例如，提供人類辨識(shí)和手勢(shì)識(shí)別，以及各種其他應(yīng)用中，例如，半導(dǎo)體和其他商品的檢查、電腦輔助設(shè)計(jì)驗(yàn)證、機(jī)器人視覺以及地理調(diào)查。3D光學(xué)成像系統(tǒng)通常包括光學(xué)圖案投影系統(tǒng)(optical pattern projection system)，其包括用于照射物體的光源。3D光學(xué)成像系統(tǒng)還包括光接收器，例如3D相機(jī)，其用于接收從物體反射的光并從反射光來形成物體的3D影像。

在某些應(yīng)用中，光學(xué)圖案投影系統(tǒng)中使用了繞射光學(xué)元件(diffractive opticalelement)來產(chǎn)生所需的投影圖案。繞射光學(xué)元件的構(gòu)造(configuration)將與繞射光學(xué)元件和光學(xué)圖案投影系統(tǒng)的光學(xué)特性有關(guān)。雖然現(xiàn)有用于檢查繞射光學(xué)元件的測試系統(tǒng)和測試方法已經(jīng)足以應(yīng)付其需求，然而仍未全面滿足。

發(fā)明內(nèi)容

本公開一些實(shí)施例提供一種光學(xué)測試方法。所述光學(xué)測試方法包括發(fā)射光通過設(shè)置在一固持器上的一被測光學(xué)元件的兩個(gè)基板之間的一間隙，以產(chǎn)生多個(gè)光束。所述光學(xué)測試方法還包括驅(qū)動(dòng)固持器及其上的被測光學(xué)元件移動(dòng)到N個(gè)位置，其中N是大于2的自然數(shù)。所述光學(xué)測試方法還包括接收來自在所述N個(gè)位置的被測光學(xué)元件的所述光束中的一者，以產(chǎn)生N個(gè)第一強(qiáng)度信號(hào)。此外，所述光學(xué)測試方法包括根據(jù)所述N個(gè)第一強(qiáng)度信號(hào)和參考數(shù)據(jù)來確定被測光學(xué)元件的間隙的大小。

本公開一些實(shí)施例提供一種光學(xué)測試方法。所述光學(xué)測試方法包括收集對(duì)應(yīng)于多個(gè)光學(xué)元件模型的多組樣本強(qiáng)度信號(hào)來做為參考數(shù)據(jù)，其中所述光學(xué)元件模型在各光學(xué)元件模型的兩個(gè)基板之間分別具有一間隙，且所述光學(xué)元件模型的間隙的大小不同，以及各組樣本強(qiáng)度信號(hào)包括對(duì)應(yīng)于所述光學(xué)元件模型中的一者在N個(gè)位置的N個(gè)第二強(qiáng)度信號(hào)，其中N是大于2的自然數(shù)。所述光學(xué)測試方法還包括測量對(duì)應(yīng)于一被測光學(xué)元件在所述N個(gè)位置的N個(gè)第一強(qiáng)度信號(hào)。此外，所述光學(xué)測試方法包括根據(jù)所述N個(gè)第一強(qiáng)度信號(hào)和所述參考數(shù)據(jù)來確定被測光學(xué)元件的兩個(gè)基板之間的一間隙的大小。

本公開一些實(shí)施例提供一種光學(xué)測試系統(tǒng)。所述光學(xué)測試系統(tǒng)包括一固持器、一光源、一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、一感測器以及一控制器。固持器配置用以固持一光學(xué)元件。光源配置用以(is configured to)發(fā)射光通過光學(xué)元件，以產(chǎn)生多個(gè)光束。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)配置用以驅(qū)動(dòng)固持器及其上的光學(xué)元件移動(dòng)到N個(gè)位置。感測器配置用以接收來自在所述N個(gè)位置的光學(xué)元件的所述光束中的一者，以產(chǎn)生N個(gè)第一強(qiáng)度信號(hào)。控制器配置用以根據(jù)所述N個(gè)第一強(qiáng)度信號(hào)和參考數(shù)據(jù)確定光學(xué)元件的兩個(gè)基板之間的一間隙的大小。

附圖說明

圖1顯示根據(jù)一些實(shí)施例的一光學(xué)圖案投影系統(tǒng)的示意圖。

圖2顯示根據(jù)一些實(shí)施例的圖1中的繞射光學(xué)元件的剖視示意圖。

圖3顯示根據(jù)一些實(shí)施例的用于確定一光學(xué)元件的兩個(gè)基板之間的間隙的大小的一光學(xué)測試系統(tǒng)的示意圖。

圖4顯示根據(jù)一些實(shí)施例的用于確定一光學(xué)元件的兩個(gè)基板之間的間隙的大小的一光學(xué)測試方法的簡化流程圖。

圖5顯示根據(jù)一些實(shí)施例的在測試期間固持器(及其上的光學(xué)元件模型)被移動(dòng)到多個(gè)位置的示意圖。