[發明專利]光學測試方法及光學測試系統

有效

• 申請號: 201811003344.2
• 申請日: 2018-08-30
• 公開（公告）號: CN109470159B
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 李承宗;羅益全;林訓鵬;洪志明
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G01B11/14
• 分類號: G01B11/14
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷

本公開提供一種光學測試方法以及一種光學測試系統，該光學測試方法包括發射光通過設置在一固持器上的一被測光學元件的兩個基板之間的一間隙，以產生多個光束。所述光學測試方法還包括驅動固持器及其上的被測光學元件移動到N個位置。所述光學測試方法還包括接收來自在所述N個位置的被測光學元件的所述光束中的一者，以產生N個第一強度信號。此外，所述光學測試方法包括根據所述N個第一強度信號和參考數據來確定被測光學元件的間隙的大小。

技術領域

本發明實施例關于一種半導體技術，特別涉及一種用于確定光學元件的兩個基板之間的間隙的大小的光學測試方法及系統。

背景技術

三維(three-dimensional，3D)光學成像系統能夠提供距離測量和捕捉區域內的物體的深度影像(depth image)的功能。這種系統目前可以用于游戲和多媒體應用中，例如，提供人類辨識和手勢識別，以及各種其他應用中，例如，半導體和其他商品的檢查、電腦輔助設計驗證、機器人視覺以及地理調查。3D光學成像系統通常包括光學圖案投影系統(optical pattern projection system)，其包括用于照射物體的光源。3D光學成像系統還包括光接收器，例如3D相機，其用于接收從物體反射的光并從反射光來形成物體的3D影像。

在某些應用中，光學圖案投影系統中使用了繞射光學元件(diffractive opticalelement)來產生所需的投影圖案。繞射光學元件的構造(configuration)將與繞射光學元件和光學圖案投影系統的光學特性有關。雖然現有用于檢查繞射光學元件的測試系統和測試方法已經足以應付其需求，然而仍未全面滿足。

發明內容

本公開一些實施例提供一種光學測試方法。所述光學測試方法包括發射光通過設置在一固持器上的一被測光學元件的兩個基板之間的一間隙，以產生多個光束。所述光學測試方法還包括驅動固持器及其上的被測光學元件移動到N個位置，其中N是大于2的自然數。所述光學測試方法還包括接收來自在所述N個位置的被測光學元件的所述光束中的一者，以產生N個第一強度信號。此外，所述光學測試方法包括根據所述N個第一強度信號和參考數據來確定被測光學元件的間隙的大小。

本公開一些實施例提供一種光學測試方法。所述光學測試方法包括收集對應于多個光學元件模型的多組樣本強度信號來做為參考數據，其中所述光學元件模型在各光學元件模型的兩個基板之間分別具有一間隙，且所述光學元件模型的間隙的大小不同，以及各組樣本強度信號包括對應于所述光學元件模型中的一者在N個位置的N個第二強度信號，其中N是大于2的自然數。所述光學測試方法還包括測量對應于一被測光學元件在所述N個位置的N個第一強度信號。此外，所述光學測試方法包括根據所述N個第一強度信號和所述參考數據來確定被測光學元件的兩個基板之間的一間隙的大小。

本公開一些實施例提供一種光學測試系統。所述光學測試系統包括一固持器、一光源、一驅動機構、一感測器以及一控制器。固持器配置用以固持一光學元件。光源配置用以(is configured to)發射光通過光學元件，以產生多個光束。驅動機構配置用以驅動固持器及其上的光學元件移動到N個位置。感測器配置用以接收來自在所述N個位置的光學元件的所述光束中的一者，以產生N個第一強度信號。控制器配置用以根據所述N個第一強度信號和參考數據確定光學元件的兩個基板之間的一間隙的大小。

附圖說明

圖1顯示根據一些實施例的一光學圖案投影系統的示意圖。

圖2顯示根據一些實施例的圖1中的繞射光學元件的剖視示意圖。

圖3顯示根據一些實施例的用于確定一光學元件的兩個基板之間的間隙的大小的一光學測試系統的示意圖。

圖4顯示根據一些實施例的用于確定一光學元件的兩個基板之間的間隙的大小的一光學測試方法的簡化流程圖。

圖5顯示根據一些實施例的在測試期間固持器(及其上的光學元件模型)被移動到多個位置的示意圖。