[發(fā)明專利]一種加熱旋轉(zhuǎn)襯底臺(tái)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811000306.1
• 申請(qǐng)日: 2018-08-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108866503A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王燕麗;王昕濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞市典雅五金制品有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/54
• 分類號(hào): C23C14/54;C23C14/50
• 代理公司: 東莞眾業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44371
• 代理人: 何恒韜

1.一種加熱旋轉(zhuǎn)襯底臺(tái)，其特征在于：包括基片架和控制基片架加熱、旋轉(zhuǎn)及前后來(lái)回移動(dòng)的控制組件，所述控制組件包括CF法蘭、驅(qū)動(dòng)基片架旋轉(zhuǎn)的第一驅(qū)動(dòng)組件和用于使基片架前后來(lái)回移動(dòng)的移動(dòng)組件，所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括傳動(dòng)軸、齒輪組件和第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述基片架與傳動(dòng)軸的一端固定連接，所述傳動(dòng)軸的另一端穿過(guò)CF法蘭通過(guò)齒輪組件與第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸固定連接，所述移動(dòng)組件包括滑座和導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向桿沿水平橫向裝設(shè)于CF法蘭上，所述導(dǎo)向桿與傳動(dòng)軸平行設(shè)置，所述滑座滑動(dòng)安裝于導(dǎo)向桿上，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定安裝于滑座上，所述基片架上設(shè)有用于對(duì)基片進(jìn)行加熱的加熱器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加熱旋轉(zhuǎn)襯底臺(tái)，其特征在于：所述移動(dòng)組件還包括驅(qū)動(dòng)滑座沿導(dǎo)向桿方向來(lái)回移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)組件，所述第二驅(qū)動(dòng)組件包括渦輪、蝸桿、絲桿和第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述絲桿固定安裝于滑座上，所述蝸桿套設(shè)于絲桿上，所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定安裝于CF法蘭上，所述渦輪與第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸固定連接，所述渦輪和蝸桿相互嚙合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加熱旋轉(zhuǎn)襯底臺(tái)，其特征在于：所述導(dǎo)向桿為三個(gè)，兩個(gè)導(dǎo)向桿分設(shè)于傳動(dòng)軸的兩側(cè)，另外一個(gè)導(dǎo)向桿平行設(shè)置于傳動(dòng)軸的下方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加熱旋轉(zhuǎn)襯底臺(tái)，其特征在于：所述齒輪組件包括傳送齒輪和主動(dòng)齒輪，所述傳動(dòng)齒輪與傳動(dòng)軸固定連接，所述主動(dòng)齒輪與第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸固定連接，所述傳動(dòng)齒輪與主動(dòng)齒輪相互嚙合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加熱旋轉(zhuǎn)襯底臺(tái)，其特征在于：所述基片架的外側(cè)周圍裝設(shè)有熱屏蔽件。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加熱旋轉(zhuǎn)襯底臺(tái)，其特征在于：所述控制組件還包括溫控器，所述溫控器固定安裝于滑座上，所述加熱器與溫控器電連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種加熱旋轉(zhuǎn)襯底臺(tái)，其特征在于：所述基片架內(nèi)裝設(shè)有熱電偶傳感器，所述熱電偶傳感器與溫控器電連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加熱旋轉(zhuǎn)襯底臺(tái)，其特征在于：所述基片架與傳動(dòng)軸之間設(shè)有冷卻塊。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加熱旋轉(zhuǎn)襯底臺(tái)，其特征在于：還包括密封套和密封圈，所述傳動(dòng)軸與CF法蘭之間裝設(shè)有軸承，所述密封套軸向開(kāi)設(shè)有與軸承適配的第一容置槽、與密封圈適配的第二容置槽和與傳動(dòng)軸適配的通槽，所述第一容置槽、第二容置槽和通槽相互連通，所述密封圈裝設(shè)于第二容置槽中。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種加熱旋轉(zhuǎn)襯底臺(tái)，其特征在于：所述控制組件還包括用于向溫控器輸入直流電的輸入端子，所述輸入端子與溫控器電連接。