[發(fā)明專利]X射線衍射測量中的測量結(jié)果的顯示方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810996814.3
• 申請日: 2018-08-29
• 公開（公告）號: CN109425626B
• 公開（公告）日: 2022-11-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 佐佐木明登;姬田章宏;池田由紀子;長尾圭悟
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社理學
• 主分類號: G01N23/207
• 分類號: G01N23/207
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 朱美紅;劉林華

目的是能夠在視覺上明確且準確地識別德拜環(huán)的周向上的X射線信息與2θ角度位置的對應關(guān)系。本發(fā)明提供一種X射線衍射測量中的測量結(jié)果的顯示方法，X射線衍射測量是向試樣照射X射線并用X射線檢測器檢測由該試樣衍射的X射線的測量，基于X射線檢測器的輸出數(shù)據(jù)，在坐標內(nèi)，顯示2θ－I分布圖，從而形成一維衍射分布圖，坐標在正交坐標軸的一個取2θ角度值，在正交坐標軸的另一個取X射線強度值；基于X射線檢測器的輸出數(shù)據(jù)，將由試樣衍射的X射線在各2θ角度形成的多個德拜環(huán)的周向上的X射線強度數(shù)據(jù)在各2θ角度值以直線狀顯示，從而形成二維衍射圖案；二維衍射圖案和一維衍射分布圖以兩者的2θ角度值相互一致的方式排列顯示。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及X射線衍射測量中的測量結(jié)果的顯示方法，所述X射線衍射測量是向試樣照射X射線并用X射線檢測器檢測由該試樣衍射的X射線的測量。

背景技術(shù)

大部分固體物質(zhì)都以結(jié)晶狀態(tài)存在。處于結(jié)晶狀態(tài)或處于結(jié)晶狀態(tài)的物質(zhì)一般被稱作雛晶。大多固體物質(zhì)是許多微細的結(jié)晶粒子聚集而形成的。許多結(jié)晶粒子聚集而形成的物質(zhì)被稱作多結(jié)晶體。

在X射線衍射測量中，存在粉末X射線衍射測量、薄膜測量、微小部測量、小角散射測量等的各種測量方法。例如，粉末X射線衍射測量是以粉末狀的結(jié)晶或多結(jié)晶體為試樣而進行的X射線衍射測量。

在粉末X射線衍射測量中，通過使用X射線衍射裝置的測量，能得到試樣的X射線衍射圖案。該X射線衍射圖案是每個晶相所固有的。通過分析該X射線衍射圖案，能夠鑒別試樣中包含的晶相。這里，所謂晶相是試樣中包含的物質(zhì)為結(jié)晶狀態(tài)的情況下的表示該物質(zhì)的概念。

通常，如果試樣中的結(jié)晶粒子的數(shù)量足夠多并且晶格面的方向是隨機的，則必定存在對于向試樣入射的X射線擁有滿足衍射條件的角度的晶格面。并且，由晶格面以衍射角度2θ衍射的X射線如圖3所示，當2θ＜90°時沿著半頂角是2θ的圓錐的母線行進，在2θ＞90°時沿著半頂角是180°－2θ的圓錐的母線行進。即，由通過粉末狀的結(jié)晶或多結(jié)晶體構(gòu)成的試樣衍射的X射線形成中心角不同的許多圓錐C。如果由X射線檢測器10的X射線檢測面在區(qū)域A0的范圍中接受到這些X射線，則能得到由圖7的二維衍射圖案P2表示那樣的同心圓狀的衍射圖樣。這樣的圓弧狀的衍射圖樣被稱作德拜－謝樂環(huán)（Debye－Scherrer ring）或德拜環(huán)（Debye ring）。

以往，在專利文獻1（美國專利第7885383號說明書）中表示了X射線衍射測量。在專利文獻1的圖1中，表示了沿著與德拜環(huán)的2θ方向正交的周向（γ（伽馬）方向）測量貢獻于德拜環(huán)的形成的X射線的強度。

此外，在專利文獻1的圖4中，表示了將包含多個德拜環(huán)的二維衍射圖案和γ－I分布圖排列顯示。γ－I分布圖是在橫軸取γ方向的角度值在縱軸取X射線強度值的坐標上表示的X射線強度分布。在專利文獻1中表示了顯示德拜環(huán)的周向的X射線強度數(shù)據(jù)，但是有其周向的X射線強度數(shù)據(jù)的顯示沒有被充分地有效利用的問題。

在先技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：美國專利第7885383號說明書。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

本發(fā)明是鑒于上述以往的問題點而做出的，目的是使得能夠在視覺上明確且準確地識別德拜環(huán)的周向上的X射線信息與2θ角度位置的對應關(guān)系。

用于解決課題的手段

（本發(fā)明的前提技術(shù)）

在考慮到粉末X射線衍射測量的情況下，以往以來知道有使用粉末衍射數(shù)據(jù)的晶相鑒別。這里，所謂“粉末衍射數(shù)據(jù)”例如是由圖7的附圖標記P1表示那樣的一維分布圖。根據(jù)該一維分布圖P1中的峰位置和強度（高度、積分強度）分析在試樣中包含怎樣的物質(zhì)（結(jié)晶性物質(zhì)）是使用粉末衍射圖案的晶相鑒別。