[發(fā)明專利]半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810995566.0 | 申請(qǐng)日： | 2018-08-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN109817603A | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-05-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王朝勛;尹煜峰;趙高毅;王美勻;張峰瑜;高承遠(yuǎn) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L23/522 | 分類號(hào)： | H01L23/522;H01L29/49 |
| 代理公司： | 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人： | 黃艷 |
| 地址： | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 柵極電極 導(dǎo)電層 接觸部件 沉積 金屬柵極結(jié)構(gòu) 上表面 高介電常數(shù)柵極 半導(dǎo)體結(jié)構(gòu) 導(dǎo)電層形成 柵極介電層 介電層 鑲?cè)?/a> | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，包括：
一金屬柵極結(jié)構(gòu)，其包括一柵極介電層及一柵極電極；
一導(dǎo)電層，形成于該金屬柵極結(jié)構(gòu)的一上表面上，其中該導(dǎo)電層的一部分鑲?cè)胗谠摻饘贃艠O結(jié)構(gòu)的一上表面的下方；以及
一接觸部件，設(shè)置于該金屬柵極結(jié)構(gòu)的該上表面上，其中該接觸部件與該導(dǎo)電層的一上表面直接接觸。
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