[發(fā)明專利]一種對位裝置及對位平臺

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810994901.5
• 申請日: 2018-08-29
• 公開（公告）號: CN108766925A
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱未來
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市金海來自動化機械有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 逯恒

本發(fā)明提供一種對位裝置及對位平臺，涉及精密對位設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，該對位裝置包括：位移臺、電機座、底板、固定頂板、固定底板、固定立板、第一連接板、第二連接板、第三連接板、第一安裝座、第二安裝座、第三安裝座、第一電機、第二電機、第三電機、第一導(dǎo)軌、第二導(dǎo)軌、第三導(dǎo)軌、第一絲桿、第二絲桿和第三絲桿；使用所述對位裝置可準(zhǔn)確控制各個方向的精確位置，XY軸電機安裝在同一層零件上，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)約空間，并且使用伺服電機驅(qū)動，每個伺服電機獨立控制，簡化了算法和程序，在保證了驅(qū)動力和精度的情況下，使整個裝置的體積減小，效率提高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及精密對位設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種對位平臺及對位平臺。

背景技術(shù)

對位平臺，也叫做UVW平臺，在如今的半導(dǎo)體裝備和LCD制造裝備中應(yīng)用廣泛，對于不同的工藝，對對位平臺的要求不同。

對于可升降的對位平臺來說，目前的裝置是市面上通用的UVW平臺加上升降機構(gòu)，精度不足，體積不夠小，且使用電機為小步進電機，自身扭矩小，容易卡死，且為三軸聯(lián)動，程序算法復(fù)雜，難以控制。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種對位裝置及一種對位平臺，所述對位裝置可準(zhǔn)確控制各個方向的精確位置，XY軸電機安裝在同一層零件上，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)約空間，并且使用伺服電機驅(qū)動，每個伺服電機獨立控制，簡化了算法和程序，在保證了驅(qū)動力和精度的情況下，使整個裝置的體積減小，效率提高。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實施例采用的技術(shù)方案如下：

第一方面，本發(fā)明實施例提供了一種對位裝置，包括：

位移臺、電機座、底板、固定頂板、固定底板、固定立板、第一連接板、第二連接板、第三連接板、第一安裝座、第二安裝座、第三安裝座、第一電機、第二電機、第三電機、第一導(dǎo)軌、第二導(dǎo)軌、第三導(dǎo)軌、第一絲桿、第二絲桿和第三絲桿；

所述第一導(dǎo)軌連接所述位移臺和所述電機座，用于使所述位移臺與電機座在X軸方向相對滑動；所述位移臺在垂直于X軸方向設(shè)置有第一連接板，所述第一連接板與所述第一絲桿連接，所述第一絲桿穿過第一安裝座，與第一電機固定連接，所述第一電機與第一安裝座固定連接，所述第一安裝座固定連接在電機座上；

所述第二導(dǎo)軌連接所述電機座與所述底板，用于使所述電機座與所述底板在Y軸方向相對滑動；所述底板在垂直于Y軸方向設(shè)置有第二連接板，所述第二連接板與所述第二絲桿連接，所述第二絲桿穿過所述第二安裝座，與第二電機固定連接，所述第二電機與第二安裝座固定連接，所述第二安裝座固定連接在電機座上；

所述固定立板的一面設(shè)有一矩形槽孔，所述第三導(dǎo)軌通過所述矩形槽孔將所述第三絲桿與所述第三連接板連接，所述第三連接板與所述底板連接，用于使所述底板在Z軸方向相對滑動，所述固定立板頂部設(shè)置有固定頂板，所述固定立板底部設(shè)有固定底板，所述第三絲桿與所述固定頂板連接，所述第三絲桿與所述固定立板連接，并穿過所述第三安裝座和固定底板與所述第三電機連接，所述第三安裝座與所述固定立板固定連接，所述第三電機固定連接在固定底板底部。

進一步地，還包括旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置包括：

旋轉(zhuǎn)電機、升降桿和軸承；

所述軸承安裝于所述位移臺中心位置，所述升降桿與所述軸承同心固定連接，所述旋轉(zhuǎn)電機固定連接在所述位移臺上，用于帶動軸承和升降桿轉(zhuǎn)動。

進一步地，所述旋轉(zhuǎn)裝置還包括真空吸頭，所述真空吸頭設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)裝置的升降桿一端。

進一步地，所述第一電機和所述第二電機設(shè)置在同一層零件上。

進一步地，所述第一電機、所述第二電機和所述第三電機均為伺服電機。

進一步地，所述第一導(dǎo)軌、所述第二導(dǎo)軌和所述第三導(dǎo)軌均為交叉滾子導(dǎo)軌。