[發明專利]一種對位裝置及對位平臺

在審

• 申請號: 201810994901.5
• 申請日: 2018-08-29
• 公開（公告）號: CN108766925A
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 朱未來
• 申請（專利權）人: 深圳市金海來自動化機械有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 逯恒

1.一種對位裝置，其特征在于，所述對位裝置包括：

位移臺、電機座、底板、固定頂板、固定底板、固定立板、第一連接板、第二連接板、第三連接板、第一安裝座、第二安裝座、第三安裝座、第一電機、第二電機、第三電機、第一導軌、第二導軌、第三導軌、第一絲桿、第二絲桿和第三絲桿；

所述第一導軌連接所述位移臺和所述電機座，用于使所述位移臺與電機座在X軸方向相對滑動；所述位移臺在垂直于X軸方向設置有第一連接板，所述第一連接板與所述第一絲桿連接，所述第一絲桿穿過第一安裝座，與第一電機固定連接，所述第一電機與第一安裝座連接，所述第一安裝座固定連接在電機座上；

所述第二導軌連接所述電機座與所述底板，用于使所述電機座與所述底板在Y軸方向相對滑動；所述底板在垂直于Y軸方向設置有第二連接板，所述第二連接板與所述第二絲桿連接，所述第二絲桿穿過所述第二安裝座，與第二電機固定連接，所述第二電機與第二安裝座連接，所述第二安裝座固定連接在電機座上；

所述固定立板的一面設有一矩形槽孔，所述第三絲桿和第三導軌通過所述矩形槽孔與所述第三連接板連接，所述第三連接板與所述底板連接，用于使所述底板在Z軸方向相對滑動，所述固定立板頂部設置有固定頂板，所述固定立板底部設有固定底板，所述第三絲桿與所述固定頂板連接，所述第三絲桿與所述固定立板連接，并穿過所述第三安裝座和固定底板與所述第三電機連接，所述第三安裝座與所述固定立板固定連接，所述第三電機固定連接在固定底板底部。

2.根據權利要求1所述對位裝置，其特征在于，還包括旋轉裝置，所述旋轉裝置包括：

旋轉電機、升降桿和軸承；

所述軸承安裝于所述位移臺中心位置，所述升降桿與所述軸承同心固定連接，所述旋轉電機固定連接在位移臺上，用于帶動軸承和升降桿轉動。

3.根據權利要求2所述對位裝置，其特征在于，所述旋轉裝置還包括真空吸頭，所述真空吸頭設置在所述旋轉裝置的升降桿一端。

4.根據權利要求1所述對位裝置，其特征在于，所述第一電機、第二電機設置在同一層零件上。

5.根據權利要求1所述對位裝置，其特征在于，所述第一電機、所述第二電機和所述第三電機均為伺服電機。

6.根據權利要求1所述對位裝置，其特征在于，所述第一導軌、所述第二導軌和所述第三導軌均為交叉滾子導軌。

7.根據權利要求1所述對位裝置，其特征在于，所述第一絲桿、第二絲桿、第三絲桿為滾珠絲桿。

8.根據權利要求2所述對位裝置，其特征在于，所述軸承為交叉滾子軸承。

9.根據權利要求2所述對位裝置，其特征在于，所述旋轉電機為伺服電機。

10.一種對位平臺，其特征在于，包括權利要求1－9任一項所述的對位裝置。