[發明專利]一種掩膜版

有效

• 申請號: 201810994585.1
• 申請日: 2018-08-27
• 公開（公告）號: CN109062001B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 杜建華;強朝輝;王治;關峰;高宇鵬;呂楊;任慶榮;李超;王鑫
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G03F1/66
• 分類號: G03F1/66;G03F1/42
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 莎日娜

1.一種掩膜版，其特征在于，包括掩膜版盒，以及嵌套在所述掩膜版盒中的準直透鏡組合板；

所述掩膜版盒包括對盒設置的掩膜圖案板和第一準直透鏡板；所述第一準直透鏡板上的光線準直區域與所述掩膜圖案板上的透光區域位置對應；

所述準直透鏡組合板上的光線準直區域在所述掩膜圖案板上的正投影，至少覆蓋所述掩膜圖案板上的透光區域；

所述準直透鏡組合板包括層疊設置的至少兩個第二準直透鏡板，每個所述第二準直透鏡板均包括陣列排布的多個第一菲涅爾透鏡區域。

2.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一菲涅爾透鏡區域的入光面為平面，所述第一菲涅爾透鏡區域的出光面形成有多個同心圓環型突起部。

3.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一準直透鏡板包括多個第二菲涅爾透鏡區域，所述多個第二菲涅爾透鏡區域與所述掩膜圖案板上的透光區域位置對應。

4.根據權利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述第二菲涅爾透鏡區域的入光面為平面，所述第二菲涅爾透鏡區域的出光面形成有多個同心圓環型突起部。

5.根據權利要求2或4所述的掩膜版，其特征在于，所述同心圓環型突起部的寬度r滿足下述公式(1)；

r＝H/tanα (1)

在上述公式(1)中，所述H為所述同心圓環型突起部的高度，所述α為所述同心圓環型突起部的出光面與入光面之間的夾角。

6.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一菲涅爾透鏡區域的直徑大于或等于2微米，且小于或等于6微米。

7.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一準直透鏡板的材料包括玻璃、樹脂。

8.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第二準直透鏡板的材料包括玻璃、樹脂。

9.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜圖案板包括石英襯底，以及形成在所述石英襯底上的金屬鉻阻光層。