[發明專利]一種真空濺鍍裝置

有效

• 申請號: 201810989322.1
• 申請日: 2018-08-28
• 公開（公告）號: CN109055903B
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 余澤軍
• 申請（專利權）人: 東陽市家強塑膠有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 北京智行陽光知識產權代理事務所(普通合伙) 11738
• 代理人: 黃錦陽

1.一種真空濺鍍裝置，其特征在于：包括反應腔(1)、靶材(2)、一號電機(3)、連接軸(4)、安裝板(5)、頂板(6)與一號固定件(7)；所述靶材(2)左右對稱安裝在反應腔(1)的內壁上，靶材(2)用于產生鍍膜所需的金屬粒子；所述一號電機(3)安裝在反應腔(1)底部，一號電機(3)位于反應腔(1)外部；所述連接軸(4)安裝位于反應腔(1)內，連接軸(4)下端與一號電機(3)輸出軸相連接，連接軸(4)上端轉動安裝在反應腔(1)頂部；所述安裝板(5)通過連接軸(4)安裝在反應腔(1)內，安裝板(5)位于反應腔(1)底部；所述頂板(6)通過連接軸(4)安裝在反應腔(1)內，頂板(6)位于底部上方；所述一號固定件(7)上端安裝在頂板(6)下表面，一號固定件(7)下端安裝在安裝板(5)上表面，一號固定件(7)數量若干，一號固定件(7)用于固定基材；

所述一號固定件(7)包括轉軸、滑輪(71)、一號推桿(72)、氣缸(73)、連桿(74)、浮動接頭(75)與安裝件(76)；所述頂板(6)的下表面還設有截面為十字形的滑道(61)，滑道(61)軌跡為圓弧形，滑道(61)數量與一號固定件(7)數量相同；所述轉軸安裝在滑道(61)內，轉軸可以在滑道(61)內滑動；所述滑輪(71)通過轉軸安裝在滑道(61)內，滑輪(71)可以在滑道(61)內滾動，滑輪(71)用于帶動轉軸在滑道(61)內滑動；所述一號推桿(72)上端與轉軸相鉸接；所述氣缸(73)安裝在安裝板(5)上，氣缸(73)數量與一號固定件(7)的數量相同；所述連桿(74)底端與氣缸(73)的活塞桿相接觸，連桿(74)上端設有圓形凹槽，一號推桿(72)的下端通過彈簧安裝在連桿(74)上端的圓形凹槽內；所述浮動接頭(75)分別位于連桿(74)的底端與氣缸(73)活塞桿的頂端，浮動接頭(75)用于保證連桿(74)的多角度轉動；所述安裝件(76)數量若干，安裝件(76)對稱布置在連桿(74)上，安裝件(76)用于安裝基材；

所述安裝件(76)包括安裝塊(761)、吸盤(762)與二號推桿(763)，所述安裝塊(761)安裝在連桿(74)上，安裝塊(761)上設有圓形凹槽；所述二號推桿(763)一端通過彈簧安裝在安裝塊(761)的圓形凹槽內，二號推桿(763)另一端位于安裝塊(761)外；所述吸盤(762)安裝在二號推桿(763)上，吸盤(762)用于固定基材；

所述連桿(74)的圓形凹槽中設有內螺紋；所述一號推桿(72)的下端設有外螺紋，外螺紋與連桿(74)的內螺紋相匹配，外螺紋的存在使得連桿(74)上下運動時繞著一號推桿(72)發生轉動；

所述連接軸(4)上還設有凸輪(41)，凸輪(41)位于反應腔(1)外部；所述反應腔(1)底部還固定有氣囊(11)，氣囊(11)位于反應腔(1)外部，氣囊(11)為彈性氣囊；所述反應腔(1)的底板中還設有一號空腔，一號空腔與氣囊(11)、連接軸(4)內部通道相連通，一號空腔用于實現氣囊(11)與連接軸(4)內部的通道之間的氣流流通；所述安裝板(5)內部還設有二號空腔，二號空腔與氣缸(73)、連接軸(4)內部通道相連通，二號空腔用于實現連接軸(4)內部通道與氣缸(73)之間的氣流流通；

所述反應腔(1)內還設有二號固定件(8)，二號固定件(8)包括螺桿(81)、旋鈕(82)、筒夾(83)、頂桿(84)、一號齒輪(85)、二號電機(86)與二號齒輪(87)；所述頂板(6)上還設有若干螺紋孔；所述螺桿(81)通過頂板(6)上的螺紋孔安裝在頂板(6)上；所述旋鈕(82)安裝在螺桿(81)的上端，旋鈕(82)用于控制螺桿(81)的上下運動；所述筒夾(83)轉動安裝在螺桿(81)的下端，筒夾(83)用于夾持基材或其他的夾具；所述頂桿(84)轉動安裝在安裝板(5)上，頂桿(84)上端為圓弧形，頂桿(84)的數量與分布與筒夾(83)相對應，頂桿(84)用于支撐基材并帶動基材轉動；所述一號齒輪(85)安裝在頂桿(84)上，一號齒輪(85)用于帶動頂桿(84)轉動；所述二號電機(86)安裝在安裝板(5)上，二號電機(86)為空心軸電機，二號電機(86)軸心與連接軸(4)軸心相同；所述二號齒輪(87)固定在二號電機(86)的輸出軸上，二號齒輪(87)與一號齒輪(85)相嚙合，二號齒輪(87)用于帶動一號齒輪(85)轉動。

2.根據權利要求1所述的一種真空濺鍍裝置，其特征在于：所述反應腔(1)為矩形框；所述基材與靶材(2)所連接的電極極性可變換。