[發明專利]薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板和顯示面板

有效

• 申請號: 201810988346.5
• 申請日: 2018-08-28
• 公開（公告）號: CN109192661B
• 公開（公告）日: 2021-10-12
• 發明（設計）人: 張揚;丁錄科;周斌;王海濤;劉寧;方金鋼;黃勇潮;閆梁臣
• 申請（專利權）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/336
• 分類號: H01L21/336;H01L29/786;H01L27/12;H01L27/32
• 代理公司: 北京博思佳知識產權代理有限公司 11415
• 代理人: 林祥

本發明公開了一種薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板和顯示面板，該薄膜晶體管包括：依次層疊設置的遮光層、第一金屬層、絕緣層和混合層；其中，所述第一金屬層包括相互間隔的柵極、源極和漏極，所述柵極位于所述源極和所述漏極之間；所述遮光層包括位于所述柵極和所述源極之間的部分以及位于所述柵極和漏極之間的部分；所述混合層包括第一導體層、第二導體層和有源層。該薄膜晶體管中，通過設置遮光層可避免光線照射對薄膜晶體管的影響，提高薄膜晶體管工作的穩定性。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板和顯示面板。

背景技術

有機發光二極管OLED(Organic light-emitting diodes，OLED)具有自發光、視角廣和功耗低等優點，顯示面板可采用OLED器件作為發光元件，制作成OLED顯示面板。

OLED顯示面板中的陣列基板上形成有矩陣排列的有機發光單元，有機發光單元包括有機發光二極管和薄膜晶體管。

圖1示出了現有技術的一種陣列基板的截面結構示意圖，如圖1所示，該陣列基板包括襯底基板1和形成在襯底基板1上的薄膜晶體管，薄膜晶體管的結構包括：

依次形成在襯底基板1上的柵極2、柵絕緣層3、有源層4、中間絕緣層5和源極6和漏極7，其中中間絕緣層5上開設有過孔(圖中過孔中填充有源極和漏極材料的導電層)，源極6和漏極7分別通過過孔與有源層4電連接。

上述結構的薄膜晶體管，柵極和有源層之間為柵絕緣層，柵極的寬度和有源層的寬度(二者沿襯底基板橫向方向的長度)基本相同，而顯示基板上的布線較多，柵極絕緣層不能起到遮擋光線的作用，作為布線的金屬層反射的光線容易透光柵極絕緣層照射到有源層的兩側，因此，影響薄膜晶體管工作的穩定性。

發明內容

本發明提供一種薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板和顯示面板，以解決相關技術中的不足。

根據本發明實施例的第一方面，提供一種薄膜晶體管，包括：

依次層疊設置的遮光層、第一金屬層、絕緣層和混合層；

其中，所述第一金屬層包括相互間隔的柵極、源極和漏極，所述柵極位于所述源極和所述漏極之間；

所述遮光層包括位于所述柵極和所述源極之間的部分以及位于所述柵極和漏極之間的部分；

所述混合層包括第一導體層、第二導體層和有源層，所述有源層在其厚度方向的投影位于所述柵極在其厚度方向的投影范圍內，所述第一導體層和所述第二導體層分別位于所述有源層的兩側，所述第一導體層通過貫穿所述絕緣層的第一過孔與所述源極電連接，所述第二導體層通過貫穿所述絕緣層的第二過孔與所述漏極電連接。

可選的，還包括：

與所述遮光層位于同層的第二金屬層，所述第二金屬層包括分別位于所述柵極、所述源極和所述漏極正下方的部分；

所述遮光層與所述第二金屬層相連，且所述遮光層的材料為所述第二金屬層采用的金屬材料的氧化物。

可選的，所述有源層的材料為金屬氧化物半導體材料，所述第一導體層和第二導體層為對所述金屬氧化物半導體材料進行導體化后形成的。

根據本發明實施例的第二方面，提供一種薄膜晶體管的制備方法，包括：

依次形成遮光層、第一金屬層、絕緣層和混合層；

其中，所述第一金屬層包括相互間隔的柵極、源極和漏極，所述柵極位于所述源極和所述漏極之間；

所述遮光層包括位于所述柵極和所述源極之間的部分以及位于所述柵極和漏極之間的部分；