[發(fā)明專利]靜電吸附裝置及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810986629.6
• 申請(qǐng)日: 2018-08-28
• 公開（公告）號(hào): CN110861921B
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪海濤;徐紹宸;李富海
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吸力奇跡（北京）科技有限公司
• 主分類號(hào): B65G47/92
• 分類號(hào): B65G47/92
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種靜電吸附裝置及其制備方法，解決了現(xiàn)有靜電吸附裝置的電極加工精度難以控制、電極結(jié)構(gòu)絕緣性差、所產(chǎn)生的吸附力差以及無(wú)法快速有效地釋放被吸附物品的問(wèn)題。該靜電吸附裝置包括：絕緣層；設(shè)置在所述絕緣層表面的電極結(jié)構(gòu)，其中，所述電極結(jié)構(gòu)包括正極區(qū)域、負(fù)極區(qū)域以及位于所述正極區(qū)域和所述負(fù)極區(qū)域之間的絕緣區(qū)域；以及多個(gè)位于所述絕緣區(qū)域且穿透所述絕緣層和所述電極結(jié)構(gòu)的吹氣孔。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及靜電吸附技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種靜電吸附裝置及其制備方法。

背景技術(shù)

靜電吸附是指通過(guò)在電極之間施加電壓產(chǎn)生電場(chǎng)，從而感應(yīng)出電荷引發(fā)靜電吸附力的技術(shù)。靜電吸附技術(shù)已被廣泛應(yīng)用到了鋼材生產(chǎn)、木材生產(chǎn)和模具加工制造等行業(yè)中。然而隨著相關(guān)領(lǐng)域研究的不斷深入，如何將靜電吸附技術(shù)應(yīng)用到包括日常生活場(chǎng)景在內(nèi)的更多場(chǎng)景中逐漸成為了一個(gè)研究熱點(diǎn)。

為了將靜電吸附技術(shù)應(yīng)用到更多場(chǎng)景，就必須提高靜電吸附裝置的集成度和可靠性。然而，現(xiàn)有的靜電吸附裝置存在著電極加工精度難以控制、電極結(jié)構(gòu)絕緣性差以及所產(chǎn)生的吸附力差的問(wèn)題。此外，雖然現(xiàn)有的靜電吸附裝置可將被吸附物品吸附，卻無(wú)法快速有效地釋放被吸附物品，這樣當(dāng)該靜電吸附裝置應(yīng)用到流水線作業(yè)中時(shí)，會(huì)嚴(yán)重影響整個(gè)工藝流程的進(jìn)度。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種靜電吸附裝置及其制備方法，解決了現(xiàn)有靜電吸附裝置的電極加工精度難以控制、電極結(jié)構(gòu)絕緣性差、所產(chǎn)生的吸附力差以及無(wú)法快速有效地釋放被吸附物品的問(wèn)題。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種靜電吸附裝置，包括：絕緣層；設(shè)置在所述絕緣層表面的電極結(jié)構(gòu)，其中，所述電極結(jié)構(gòu)包括正極區(qū)域、負(fù)極區(qū)域以及位于所述正極區(qū)域和所述負(fù)極區(qū)域之間的絕緣區(qū)域；以及多個(gè)位于所述絕緣區(qū)域且穿透所述絕緣層和所述電極結(jié)構(gòu)的吹氣孔。

在本發(fā)明一實(shí)施例中，所述絕緣區(qū)域?yàn)檫B續(xù)的絕緣線條區(qū)域，其中所述絕緣線條區(qū)域貫穿所述絕緣層表面的導(dǎo)電層以將所述導(dǎo)電層分為所述正極區(qū)域和所述負(fù)極區(qū)域。

在本發(fā)明一實(shí)施例中，所述正極區(qū)域包括正極貫通條形部和多個(gè)正極分支部，其中所述多個(gè)正極分支部的與所述正極貫通條形部連接的根部相互并行且都垂直于所述正極貫通條形部；所述負(fù)極區(qū)域包括負(fù)極貫通條形部和多個(gè)負(fù)極分支部，其中所述多個(gè)負(fù)極分支部的與所述負(fù)極貫通條形部連接的根部相互并行且都垂直于所述負(fù)極貫通條形部；其中，所述正極貫通條形部與所述負(fù)極貫通條形部相互平行設(shè)置，多個(gè)所述正極分支部分別延伸至多個(gè)所述負(fù)極分支部的間隙中。

在本發(fā)明一實(shí)施例中，位于所述吹氣孔一側(cè)且距離所述吹氣孔第一預(yù)設(shè)距離的所述正極分支部進(jìn)一步包括與所述正極分支部連接的第一環(huán)形分支部以及與所述第一環(huán)形分支部連接的多個(gè)相互平行的正極子分支部；位于所述吹氣孔另一側(cè)且距離所述吹氣孔第二預(yù)設(shè)距離的所述負(fù)極分支部進(jìn)一步包括與所述負(fù)極分支部連接的第二環(huán)形分支部以及與所述第二環(huán)形分支部連接的多個(gè)相互平行的負(fù)極子分支部；其中，所述第一環(huán)形分支部和所述第二環(huán)形分支部將所述吹氣孔包圍。

在本發(fā)明一實(shí)施例中，所述的靜電吸附裝置進(jìn)一步包括：設(shè)置在所述電極結(jié)構(gòu)表面的用于與被吸附物品接觸的接觸層。

在本發(fā)明一實(shí)施例中，所述接觸層的體積電阻率為10⁷Ω·cm～10¹³Ω·cm，彈性模量為小于10MPa。

在本發(fā)明一實(shí)施例中，所述被吸附物品采用以下材質(zhì)中的一種或多種組合：玻璃板、印刷電路板和金屬板，和/或，所述被吸附物品的表面粗糙度小于5um；其中，所述接觸層采用以下材質(zhì)中的一種或多種組合：環(huán)氧樹脂、聚乙烯和聚酰亞胺；和/或，

所述被吸附物品采用以下材質(zhì)中的一種或多種組合：紡織品材質(zhì)和印刷品材質(zhì)，其中，所述接觸層采用以下材質(zhì)中的一種或多種組合：熱塑性彈性體材料、熱塑性聚氨酯彈性體橡膠和硅膠。