[發明專利]靜電吸附裝置及其制備方法

有效

• 申請號: 201810986629.6
• 申請日: 2018-08-28
• 公開（公告）號: CN110861921B
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 汪海濤;徐紹宸;李富海
• 申請（專利權）人: 吸力奇跡（北京）科技有限公司
• 主分類號: B65G47/92
• 分類號: B65G47/92
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種靜電吸附裝置，其特征在于，包括

絕緣層；

設置在所述絕緣層表面的電極結構，其中，所述電極結構包括正極區域、負極區域以及位于所述正極區域和所述負極區域之間的絕緣區域；以及

多個位于所述絕緣區域且穿透所述絕緣層和所述電極結構的吹氣孔；

其中，所述絕緣區域為連續的絕緣線條區域，其中所述絕緣線條區域貫穿所述絕緣層表面的導電層以將所述導電層分為所述正極區域和所述負極區域；

其中，所述正極區域包括正極貫通條形部和多個正極分支部，其中所述多個正極分支部的與所述正極貫通條形部連接的根部相互并行且都垂直于所述正極貫通條形部；

所述負極區域包括負極貫通條形部和多個負極分支部，其中所述多個負極分支部的與所述負極貫通條形部連接的根部相互并行且都垂直于所述負極貫通條形部；

其中，所述正極貫通條形部與所述負極貫通條形部相互平行設置，多個所述正極分支部分別延伸至多個所述負極分支部的間隙中；

其中，位于所述吹氣孔一側且距離所述吹氣孔第一預設距離的所述正極分支部進一步包括與所述正極分支部連接的第一環形分支部以及與所述第一環形分支部連接的多個相互平行的正極子分支部；

位于所述吹氣孔另一側且距離所述吹氣孔第二預設距離的所述負極分支部進一步包括與所述負極分支部連接的第二環形分支部以及與所述第二環形分支部連接的多個相互平行的負極子分支部；

其中，所述第一環形分支部和所述第二環形分支部將所述吹氣孔包圍。

2.根據權利要求1所述的靜電吸附裝置，其特征在于，進一步包括：

設置在所述電極結構表面的用于與被吸附物品接觸的接觸層。

3.根據權利要求2所述的靜電吸附裝置，其特征在于，所述接觸層的體積電阻率為10⁷Ω·cm～10¹³Ω·cm，彈性模量為小于10MPa。

4.根據權利要求2所述的靜電吸附裝置，其特征在于，所述被吸附物品采用以下材質中的一種或多種組合：玻璃板、印刷電路板和金屬板，和/或，所述被吸附物品的表面粗糙度小于5um；其中，所述接觸層采用以下材質中的一種或多種組合：環氧樹脂、聚乙烯和聚酰亞胺；和/或，

所述被吸附物品采用以下材質中的一種或多種組合：紡織品材質和印刷品材質，其中，所述接觸層采用以下材質中的一種或多種組合：熱塑性彈性體材料、熱塑性聚氨酯彈性體橡膠和硅膠。

5.根據權利要求1所述的靜電吸附裝置，其特征在于，所述絕緣線條區域包括凹槽，所述凹槽的底部露出所述絕緣層的表面。

6.根據權利要求5所述的靜電吸附裝置，其特征在于，進一步包括：設置在所述凹槽中的絕緣填充材料。

7.一種靜電吸附裝置制備方法，其特征在于，包括：

在絕緣薄膜表面印刷電極結構，其中，所述電極結構包括正極區域、負極區域、位于所述正極區域和所述負極區域之間的絕緣區域以及位于所述絕緣區域中的多個吹氣孔區域；其中，所述絕緣區域為連續的絕緣線條區域，其中所述絕緣線條區域貫穿所述絕緣薄膜表面的導電層以將所述導電層分為所述正極區域和所述負極區域；其中，所述正極區域包括正極貫通條形部和多個正極分支部，其中所述多個正極分支部的與所述正極貫通條形部連接的根部相互并行且都垂直于所述正極貫通條形部；所述負極區域包括負極貫通條形部和多個負極分支部，其中所述多個負極分支部的與所述負極貫通條形部連接的根部相互并行且都垂直于所述負極貫通條形部；其中，所述正極貫通條形部與所述負極貫通條形部相互平行設置，多個所述正極分支部分別延伸至多個所述負極分支部的間隙中；其中，位于所述吹氣孔區域一側且距離所述吹氣孔區域第一預設距離的所述正極分支部進一步包括與所述正極分支部連接的第一環形分支部以及與所述第一環形分支部連接的多個相互平行的正極子分支部；位于所述吹氣孔區域另一側且距離所述吹氣孔區域第二預設距離的所述負極分支部進一步包括與所述負極分支部連接的第二環形分支部以及與所述第二環形分支部連接的多個相互平行的負極子分支部；其中，所述第一環形分支部和所述第二環形分支部將所述吹氣孔區域包圍；

將帶有所述電極結構的所述絕緣薄膜與絕緣層以熱加工的方式壓合；以及

在所述多個吹氣孔區域分別形成多個穿透所述絕緣層和所述電極結構的吹氣孔。