[發明專利]一種平面衍射光柵的復制方法

有效

• 申請號: 201810982790.6
• 申請日: 2018-08-27
• 公開（公告）號: CN108828703B
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 歐仕明;歐旭良;石礦
• 申請（專利權）人: 宜興市晶科光學儀器有限公司
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 李德濺

本發明公開了一種平面衍射光柵的復制方法，該方法步驟如下：a、清潔光柵母版和復制基板；b、清潔后的鎢絲、鉬舟、硅油、鋁絲、三氧化二鋁、氟化鎂放入鍍膜機真空室內；c、將光柵母版裝在鍍膜機真空室的旋轉支架上，真空度抽到1*10^?3pa時鍍硅油膜；d、鍍三氧化二鋁厚膜；e、鍍氟化鎂膜；f、鍍鋁膜；g、鍍三氧化二鋁薄膜；h、將光柵母版放入恒溫電熱干燥箱內；i、膠粘劑放入恒溫電熱干燥箱；j、待復制基板、光柵母版、膠粘劑溫度一致后進行粘接，粘接后恒溫固化；k、分離光柵母板和復制基板，獲得復制的平面衍射光柵。本發明的平面衍射光柵在閃耀波長250nm處一級衍射效率＞70%，且一年內一級衍射效率無明顯下降。

技術領域

本發明涉及光柵復制技術領域，具體地說是一種能夠提高一級衍射效率且衍射效率穩定的平面衍射光柵的復制方法。

背景技術

光柵作為精密測量的一種工具，可用于位移測量、轉角測量、光學三違測量、溫度測量等，由于它本身具有的優點，已在精密儀器、坐標測量、精確定位等多個領域得到了廣泛的應用。

衍射光柵，通常簡稱為“光柵”，一種由密集、等間距平行刻線構成的非常重要的光學器件。光柵是在光學系統中起分光作用的關鍵元件，通常被稱作科學分析儀器的心臟，其精度要求極高，性能穩定、分辨率高、角色散高、而且隨波長的變化極小所以在各種科學分析儀器中得到廣泛的應用。它利用多縫衍射和干涉作用，將射到光柵上的光束按波長的不同進行色散，再經成像鏡聚焦而形成光譜。衍射光柵通過把衍射光的能量集中到某一個設定的級次和波長上，使得在這個級次和波長上的衍射效率最大，它的雜散光和鬼線強度都很低，這對提高科學分析儀器的靈敏度和檢出限起到十分重要的作用。

衍射光柵的精度要求極高，制造周期長，價格高，因此需要在原刻光柵（光柵母板）的基礎上復制光柵。復制屬精密技術，工藝原理是利用真空鍍膜法在原刻光柵（光柵母板）上鍍一薄層硅油和一層鋁膜，用膠粘劑將它牢固地粘接在復制基板的基板玻璃上，再用分離工具將兩片玻璃分開，基板玻璃上便得到了和原刻光柵有相同條紋數的光柵膜層，即為復制光柵。

發明內容

本發明的目的是針對現有技術存在的問題，提供一種能夠提高一級衍射效率且衍射效率穩定的平面衍射光柵的復制方法。

本發明的目的是通過以下技術方案解決的：

一種平面衍射光柵的復制方法，其特征在于：該方法步驟如下：

a、對光柵母版和復制基板進行清潔處理，處理過的復制基板放入恒溫電熱干燥箱內；

b、螺旋狀鎢絲以及用鉬片做成的鉬舟進行清潔烘干后分別固定在鍍膜機真空室內的兩組電極上，在鉬舟內加入硅油，把經過清潔處理的純度為99.99%的鋁絲掛在鎢絲上，把純度為99.99%的三氧化二鋁和氟化鎂分別放入坩鍋；

c、將清潔處理好的光柵母版裝在鍍膜機真空室的旋轉支架上，然后放下鍍膜機鐘罩抽真空，當真空度抽到1*10^-3pa時，即可在光柵母板上鍍硅油膜；

d、當真空度達到1*10^-3pa時，在硅油膜上鍍三氧化二鋁厚膜；

e、當真空度達到1*10^-3pa時，在三氧化二鋁厚膜上鍍氟化鎂膜；

f、當真空度達到1*10^-3pa時，在氟化鎂膜上鍍鋁膜；

g、當真空度達到1*10^-3pa時，在鋁膜上鍍三氧化二鋁薄膜；

h、將已鍍三氧化二鋁薄膜的光柵母版放入恒溫電熱干燥箱內保持20min～25min后用于粘接；

i、將添加甲基咪唑的環氧樹脂膠構成的膠粘劑放入恒溫電熱干燥箱內；