[發(fā)明專利]一種元素檢測(cè)裝置、標(biāo)樣及元素檢測(cè)裝置校準(zhǔn)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810975879.X
• 申請(qǐng)日: 2018-08-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110857915A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任曉艷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京鉑陽(yáng)頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/67
• 分類號(hào): G01N21/67;G01N21/01;G01N1/28
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

本發(fā)明提供一種元素檢測(cè)裝置、標(biāo)樣及元素檢測(cè)裝置校準(zhǔn)方法，所述元素檢測(cè)裝置的測(cè)試臺(tái)面上設(shè)置有檢測(cè)口，所述測(cè)試臺(tái)面上還設(shè)有距離標(biāo)識(shí)，所述距離標(biāo)識(shí)用于標(biāo)識(shí)所述測(cè)試臺(tái)面上的目標(biāo)點(diǎn)距所述檢測(cè)口的中心的距離；所述標(biāo)樣的非測(cè)試面上設(shè)有角度標(biāo)識(shí)，所述角度標(biāo)識(shí)用于標(biāo)識(shí)所述標(biāo)樣上的目標(biāo)點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)至所述標(biāo)樣上的基準(zhǔn)點(diǎn)的角度。這樣，通過(guò)在元素檢測(cè)裝置上設(shè)置距離標(biāo)識(shí)，并在標(biāo)樣上設(shè)置角度標(biāo)識(shí)，可以實(shí)現(xiàn)將標(biāo)樣上的目標(biāo)校準(zhǔn)點(diǎn)精確對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)口，從而不僅不易出現(xiàn)校準(zhǔn)測(cè)試失敗的現(xiàn)象，還能保證充分利用標(biāo)樣的測(cè)試面，避免造成標(biāo)樣的浪費(fèi)；且由于元素檢測(cè)裝置得以精確校準(zhǔn)，從而能夠有效提高使用該元素檢測(cè)裝置進(jìn)行元素檢測(cè)時(shí)的精確性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種元素檢測(cè)裝置、標(biāo)樣及元素檢測(cè)裝置校準(zhǔn)方法。

背景技術(shù)

輝光放電光譜技術(shù)(Glow Discharge-Optical Emission Spectrometer，簡(jiǎn)稱GD-OES)是一種基于輝光放電原理，對(duì)固體樣品成分(如噴涂、含金鍍層、半導(dǎo)體、有機(jī)涂層等)進(jìn)行檢測(cè)分析的技術(shù)，其基本原理是：輝光放電腔室內(nèi)充滿低壓氬氣，當(dāng)施加在放電兩極的電壓達(dá)到一定值，超過(guò)激發(fā)氬氣所需的能量即可形成輝光放電，放電氣體離解為正電荷離子和自由電子，在電場(chǎng)的作用下，正電荷離子加速轟擊到樣品表面，產(chǎn)生陰極濺射，在放電區(qū)域內(nèi)，濺射的元素原子與電子相互碰撞被激化而發(fā)光，而不同元素所發(fā)射的光的波長(zhǎng)不同，從而可通過(guò)對(duì)光譜的分析，計(jì)算得出各元素的濃度。

由于GD-OES為破壞性的測(cè)試，標(biāo)樣上的每個(gè)位置在校準(zhǔn)測(cè)試一次后便會(huì)被正電荷離子刻蝕，因此，若再對(duì)該位置進(jìn)行測(cè)試，將導(dǎo)致測(cè)試失效，對(duì)于透明的標(biāo)樣，測(cè)試人員較容易通過(guò)肉眼判斷出標(biāo)樣上哪些點(diǎn)屬于已經(jīng)測(cè)試過(guò)的點(diǎn)，因而也較容易避免測(cè)試失效的問(wèn)題。然而，對(duì)于非透明的標(biāo)樣(如金屬標(biāo)樣)，則很難通過(guò)肉眼精準(zhǔn)定位標(biāo)樣上可供測(cè)試的位置，因此，也易出現(xiàn)因測(cè)試位置與之前已測(cè)試位置重疊而導(dǎo)致測(cè)試失效，例如如圖1中所示的無(wú)效測(cè)試點(diǎn)10。

這樣，由于現(xiàn)有校準(zhǔn)測(cè)試方式難以實(shí)現(xiàn)精確對(duì)準(zhǔn)，從而不僅易導(dǎo)致校準(zhǔn)測(cè)試失敗，而且還會(huì)導(dǎo)致標(biāo)樣的測(cè)試面難以得到充分的利用，進(jìn)而造成標(biāo)樣的浪費(fèi)，增加校準(zhǔn)測(cè)試成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例的目的在于提供一種元素檢測(cè)裝置、標(biāo)樣及元素檢測(cè)裝置校準(zhǔn)方法，解決了現(xiàn)有校準(zhǔn)測(cè)試方式難以實(shí)現(xiàn)精確對(duì)準(zhǔn)的問(wèn)題。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明實(shí)施例提供一種元素檢測(cè)裝置，所述元素檢測(cè)裝置的測(cè)試臺(tái)面上設(shè)置有檢測(cè)口，所述測(cè)試臺(tái)面上還設(shè)有距離標(biāo)識(shí)，所述距離標(biāo)識(shí)用于標(biāo)識(shí)所述測(cè)試臺(tái)面上的目標(biāo)點(diǎn)距所述檢測(cè)口的中心的距離。

可選的，所述距離標(biāo)識(shí)為沿所述檢測(cè)口的中心指向所述測(cè)試臺(tái)面的邊緣方向的標(biāo)識(shí)。

可選的，所述距離標(biāo)識(shí)采用刻度尺、弧線、直線、圓點(diǎn)或顏色進(jìn)行標(biāo)識(shí)。

可選的，所述檢測(cè)口的直徑為2.5mm，所述距離標(biāo)識(shí)上標(biāo)識(shí)有距所述檢測(cè)口的中心的距離為3jmm的目標(biāo)點(diǎn)所在位置，其中，j為大于或等于1的整數(shù)。

本發(fā)明實(shí)施例還提供一種標(biāo)樣，用于對(duì)本發(fā)明實(shí)施例提供的元素檢測(cè)裝置進(jìn)行校準(zhǔn)，所述標(biāo)樣的非測(cè)試面上設(shè)有角度標(biāo)識(shí)，所述角度標(biāo)識(shí)用于標(biāo)識(shí)所述標(biāo)樣上的目標(biāo)點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)至所述標(biāo)樣上的基準(zhǔn)點(diǎn)的角度。

可選的，所述角度標(biāo)識(shí)分布在所述標(biāo)樣的非測(cè)試面的邊緣。

可選的，所述角度標(biāo)識(shí)采用刻度尺、直線、圓點(diǎn)或顏色進(jìn)行標(biāo)識(shí)。

可選的，所述標(biāo)樣的直徑為32mm，所述角度標(biāo)識(shí)上標(biāo)識(shí)有轉(zhuǎn)動(dòng)至所述基準(zhǔn)點(diǎn)的角度分別為15k°和18k°的目標(biāo)點(diǎn)所在位置，其中，k為大于或等于1的整數(shù)，15k°<360°，18k°<360°。

可選的，所述標(biāo)樣的非測(cè)試面上還設(shè)有環(huán)線標(biāo)識(shí)，所述環(huán)線標(biāo)識(shí)用于標(biāo)識(shí)所述標(biāo)樣上各校準(zhǔn)環(huán)線所在的位置，其中，相鄰校準(zhǔn)環(huán)線之間的間距大于所述元素檢測(cè)裝置的檢測(cè)口的直徑。