[發明專利]冷卻水路預警方法及系統、半導體加工設備

有效

• 申請號: 201810974254.1
• 申請日: 2018-08-24
• 公開（公告）號: CN110857871B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 程旭文
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02;G05B23/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

本發明提供一種冷卻水路預警方法及系統、半導體加工設備，在冷卻水路上設置有通斷閥；冷卻水路包括用于控制通斷閥的控制單元，冷卻水路預警方法包括：在作業設備開啟時，分別對作業設備的內部溫度、控制單元對通斷閥的控制信號以及冷卻水路的流量進行監測；根據監測結果判斷是否出現冷卻水路流量異常、通斷閥故障和控制單元故障中的至少一種情況；若是，則發出報警。本發明提供的冷卻水路預警方法及系統、半導體加工設備的技術方案，可以提高作業設備的壽命，同時避免因冷卻水路的流量不足而造成的作業設備故障，從而避免工藝中斷。

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，具體地，涉及一種冷卻水路預警方法及系統、半導體加工設備。

背景技術

LED刻蝕機是LED光源生產過程中所需要的非常重要的設備，在生產過程中，利用分子泵對腔室進行抽真空，同時利用擺閥控制排氣流量，可以實現對腔室壓力進行穩定控制，保證刻蝕機正常進行工藝，因此分子泵的性能對刻蝕機的性能起到至關重要的作用。

為了避免分子泵內部的轉子因為溫度過高而損壞，分子泵內部內建冷卻機構，并通過監測分子泵內部的溫度，對冷卻機構的通斷閥的開閉進行控制，以將分子泵的內部溫度穩定在65℃(分子泵正常運行時溫度區間是65-68℃)左右。上述溫度控制方法是基于廠務冷卻水滿足要求和分子泵水閥開啟正常的情況。當分子泵水閥開啟故障時，分子泵水路流量為0；當廠務冷卻水含有雜質，造成分子泵水路堵塞，冷卻水流量不滿足要求時，有可能造成分子泵在工藝過程中由于過溫報警停止工藝。

一般情況下，刻蝕機提供冷卻水給分子泵，具體的冷卻水控制由分子泵自行控制。如圖1所示，圖1是刻蝕機現在應用的控制流程。一體式分子泵通過對內部溫度進行檢測，控制水閥開閉，進而使分子泵內部的溫度穩定在65℃左右。當分子泵由于水流量不足或通斷閥故障，而致使分子泵溫度超過73℃時，分子泵會因為溫度過高而故障停止，同時發出分子泵過溫報警。

但是，上述報警方式在實際應用中不可避免地存在以下問題：

其一，機臺端或分子泵對分子泵冷卻水路的流量并無監測，當分子泵的通斷閥出現異常時，只有在分子泵運行一段時間后，超過分子泵的溫度上限73℃時，才會發出報警，從而影響分子泵的壽命。

其二，由于通入冷卻水路的冷卻水可能會含有雜質，在機臺長期使用的情況下，冷卻水路可能會被堵塞，造成冷卻水路的流量不足。這種情況在未進行工藝時因分子泵散熱需求低，而不會被發現，但是，在進行工藝的過程中，由于分子泵散熱需求增加，會因冷卻水流量不足而溫度過高，導致分子泵故障報警并停止工作，工藝也因此而中斷，造成嚴重損失。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種冷卻水路預警方法及系統、半導體加工設備，其可以提高作業設備的壽命，同時避免因冷卻水路的流量不足而造成的作業設備故障，從而避免工藝中斷。

為實現本發明的目的而提供一種冷卻水路預警方法，在所述冷卻水路上設置有通斷閥；所述冷卻水路包括用于控制所述通斷閥的控制單元，所述冷卻水路預警方法包括：

在作業設備開啟時，分別對所述作業設備的內部溫度、所述控制單元對所述通斷閥的控制信號以及所述冷卻水路的流量進行監測；

根據監測結果判斷是否出現所述冷卻水路流量異常、所述通斷閥故障和所述控制單元故障中的至少一種情況；

若是，則發出報警。

可選的，所述冷卻水路預警方法，具體包括：

S1，在所述作業設備開啟時，檢測所述作業設備的內部溫度；

S2，判斷所述作業設備的內部溫度是否超出第一閾值，若超出，則進行步驟S3；若未超出，則返回所述步驟S1；

S3，判斷所述控制單元是否發出所述通斷閥的開啟信號；若是，則進行步驟S4；若否，則發出所述控制單元故障的報警；