[發明專利]冷卻水路預警方法及系統、半導體加工設備

有效

• 申請號: 201810974254.1
• 申請日: 2018-08-24
• 公開（公告）號: CN110857871B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 程旭文
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02;G05B23/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種半導體加工設備中的冷卻水路預警方法，在冷卻水路上設置有通斷閥；所述冷卻水路包括用于控制所述通斷閥的控制單元，其特征在于，所述冷卻水路預警方法包括：

在作業設備開啟時，分別對所述作業設備的內部溫度、所述控制單元對所述通斷閥的控制信號以及所述冷卻水路的流量進行監測；

根據監測結果判斷是否出現所述冷卻水路流量異常、所述通斷閥故障和所述控制單元故障中的至少一種情況；

若是，則發出報警；

所述冷卻水路預警方法，具體包括：

S1，在所述作業設備開啟時，檢測所述作業設備的內部溫度；

S2，判斷所述作業設備的內部溫度是否超出第一閾值，若超出，則進行步驟S3；若未超出，則返回所述步驟S1；

S3，判斷所述控制單元是否發出所述通斷閥的開啟信號；若是，則進行步驟S4；若否，則發出所述控制單元故障的報警；

S4，判斷所述冷卻水路的流量是否低于正常值，若否，則進行步驟S5；若是，則判斷所述冷卻水路的流量是否為零，若為零，則發出所述通斷閥故障的報警；若不為零，則進行所述步驟S5；

S5，判斷所述作業設備的內部溫度是否下降至所述第一閾值以下，若是，則進行步驟S6；若否，則進行步驟S7；

S6，判斷所述控制單元是否發出所述通斷閥的關閉信號，若否，則發出所述控制單元故障的報警；若是，則判斷所述冷卻水路的流量是否為零，若為零，則返回所述步驟S1；若不為零，則發出所述通斷閥故障的報警；

S7，判斷所述作業設備的內部溫度是否高于第二閾值，若是，則發出所述冷卻水路流量異常的報警；若否，則返回所述步驟S1。

2.根據權利要求1所述的冷卻水路預警方法，其特征在于，在所述步驟S1之前，還包括：

S0，設置所述冷卻水路流量異常的預警頻率；所述冷卻水路流量異常的預警次數在所述冷卻水路維護后第一次開啟時設定為零，在所述冷卻水路重啟時設定為重啟前累加值；

在所述步驟S7中，判斷所述作業設備的內部溫度是否高于第二閾值，若是，則所述冷卻水路流量異常的預警次數加1，并判斷所述預警次數是否大于所述預警頻率，若是，則發出所述冷卻水路流量異常的報警；若否，則返回所述步驟S1。

3.根據權利要求1所述的冷卻水路預警方法，其特征在于，在所述步驟S4中，判斷所述冷卻水路的流量是否低于正常值，且低于正常值的時間是否超出設定時間；

若低于正常值，且低于正常值的時間超出設定時間，則判斷所述冷卻水路的流量是否為零，若為零，則發出所述通斷閥故障的報警；若不為零，則進行所述步驟S5；

若未低于正常值；或者低于正常值，但低于正常值的時間未超出設定時間，則進行所述步驟S5。

4.根據權利要求3所述的冷卻水路預警方法，其特征在于，所述正常值為3L/min；所述設定時間為3min。

5.根據權利要求1所述的冷卻水路預警方法，其特征在于，所述作業設備為分子泵；

所述第一閾值為65℃-68℃。

6.根據權利要求5所述的冷卻水路預警方法，其特征在于，所述第二閾值為70℃-73℃。

7.一種半導體加工設備中的冷卻水路預警系統，在所述冷卻水路上設置有通斷閥；所述冷卻水路包括用于控制所述通斷閥的控制單元，其特征在于，所述冷卻水路預警系統應用于權利要求1-6任意一項所述的冷卻水路預警方法，所述冷卻水路預警系統包括：

流量檢測模塊，設置在所述冷卻水路上，用于檢測所述冷卻水路的流量；

流量接收模塊，用于接收來自所述流量檢測模塊發送的所述冷卻水路的流量；

開關量接收模塊，用于接收來自所述控制單元發送的所述通斷閥的控制信號；

控制模塊，用于接收分別來自作業設備、所述開關量接收模塊和所述流量接收模塊發送的所述作業設備的內部溫度、所述控制單元對所述通斷閥的控制信號以及所述冷卻水路的流量，并判斷是否出現所述冷卻水路流量異常、所述通斷閥故障和所述控制單元故障中的至少一種情況；若是，則發出報警。