[發明專利]紅外光源、紅外傳感器的光學性能測試方法及裝置

在審

• 申請號: 201810973417.4
• 申請日: 2018-08-24
• 公開（公告）號: CN110894914A
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發明（設計）人: 劉浩;李亮
• 申請（專利權）人: 深圳市匯頂科技股份有限公司
• 主分類號: F21K9/20
• 分類號: F21K9/20;F21K9/64;F21K9/66;F21K9/69;F21V1/14;F21V5/04;F21V9/00;F21V23/00;F21V23/04;G01D18/00;F21Y115/10
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 鈄颯颯;黃健

1.一種紅外光源，其特征在于，包括：

紅外LED，用于產生沿一光路徑傳播的紅外光；

濾光片，設置在所述紅外LED的光路徑上，用于濾除所述紅外光以外的光；

光學透鏡，設置在所述紅外LED的光路徑上，所述紅外LED發出的紅外光依次經過所述濾光片、所述光學透鏡之后，轉換為平行的紅外光。

2.根據權利要求1所述的紅外光源，其特征在于，所述紅外LED上還設置有均光片，所述均光片對所述紅外LED發出的紅外光進行均光處理，得到均勻的紅外光。

3.根據權利要求1所述的紅外光源，其特征在于，還包括：遮光罩；所述遮光罩的兩端設置有開口結構，所述遮光罩的一端開口與所述紅外LED連接，以使所述紅外LED產生的紅外光在所述遮光罩內傳播，所述遮光罩的另一端開口位置處安裝有所述光學透鏡，以使得所述遮光罩內傳播的紅外光經過所述光學透鏡之后，轉換為平行的紅外光；所述濾光片位于所述遮光罩內，并位于所述紅外LED與所述光學透鏡之間。

4.根據權利要求3所述的紅外光源，其特征在于，所述通孔位于所述光學透鏡的焦點位置上。

5.根據權利要求3所述的紅外光源，其特征在于，所述遮光罩的形狀包括：圓錐形，或者圓柱形。

6.根據權利要求3所述的紅外光源，其特征在于，所述遮光罩的內壁上設置有吸光涂層。

7.根據權利要求1所述的紅外光源，其特征在于，所述濾光片為窄帶濾光片，所述窄帶濾光片的中心波長與所述紅外LED的紅外波長一致。

8.根據權利要求1所述的紅外光源，其特征在于，還包括：與所述紅外LED電連接的驅動電路，所述驅動電路用于調節所述紅外LED的紅外光輻射強度。

9.根據權利要求1-8中任一項所述的紅外光源，其特征在于，所述紅外LED為單一的LED燈。

10.一種紅外傳感器芯片的測試光源，其特征在于，包括：如權利要求1-9中任一項所述的紅外光源、針卡板，所述針卡板上設置有1個或1個以上的通光口；所述紅外光源安裝在所述針卡板上，構成紅外傳感器芯片的測試光源。

11.一種紅外傳感器的光學性能測試方法，其特征在于，采用如權利要求1-9中任一項所述的紅外光源對紅外傳感器進行光學性能測試，所述方法包括：

測試平臺將所述紅外光源發出的紅外光對準紅外傳感器的感應區；

數據采集器獲取在不同輻射強度的紅外光下，所述紅外傳感器的感應數據；

處理器將所述感應數據的變化量在預設的閾值范圍內的紅外傳感器，判定為合格的紅外傳感器。

12.一種紅外傳感器的光學性能測試裝置，其特征在于，應用如權利要求1-9中任一項所述的紅外光源對紅外傳感器進行光學性能測試，所述裝置包括：

安裝有所述紅外光源的測試平臺，用于將所述紅外光源發出的紅外光對準紅外傳感器的感應區；

數據采集器，用于獲取在不同輻射強度的紅外光下，所述紅外傳感器的感應數據；

處理器，用于將所述感應數據的變化量在預設的閾值范圍內的紅外傳感器，作為合格的紅外傳感器。

13.一種紅外傳感器的光學性能測試方法，其特征在于，應用如權利要求10所述的紅外傳感器芯片的測試光源對紅外傳感器芯片進行光學性能測試，所述方法包括：

控制機臺將紅外傳感器芯片的測試光源固定在晶圓測試的控制機臺上；

控制機臺將晶圓上待測的紅外傳感器芯片對準所述測試光源；

測試機臺開啟所述測試光源，并獲取在不同輻射強度的紅外光下，所述紅外傳感器芯片的感應數據；

處理器將所述感應數據的變化量在預設的閾值范圍內的紅外傳感器芯片，作為合格的紅外傳感器芯片。