[發明專利]TFT液晶面板配線層用高純鋁靶材的板材壓延工藝在審
| 申請號： | 201810973020.5 | 申請日： | 2018-08-24 |
| 公開（公告）號： | CN109174996A | 公開（公告）日： | 2019-01-11 |
| 發明（設計）人： | 常艷超;臧衛祥;尤小磊;丁靜仁;程小明;徐東起;王冬振;董意男;董常亮;高奇峰 | 申請（專利權）人： | 愛發科電子材料（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | B21C37/02 | 分類號： | B21C37/02 |
| 代理公司： | 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 張歡勇 |
| 地址： | 215000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鋁板 壓延 半成品 配線層 高純鋁 靶材 控溫 鋁錠 校直 加熱 成品步驟 冷卻步驟 適用條件 作業步驟 下壓量 壓制 | ||
1.一種TFT液晶面板配線層用高純鋁靶材的板材壓延工藝，包括
步驟一、鋁錠形成半成品鋁板作業步驟，將鋁錠依次經過加熱、控溫、壓延、校直、切斷，形成半成品鋁板；
步驟二、冷卻步驟，將半成品鋁板進行自然冷卻步驟；
步驟三、半成品鋁板形成成品步驟，將半成品鋁板依次經過加熱、控溫、壓延、校直、切斷，形成TFT液晶面板配線層用高純鋁靶材的板材，其中最后一次的壓制展延的下壓量為X，50％＜X＜70％。
2.根據權利要求1所述的TFT液晶面板配線層用高純鋁靶材的板材壓延工藝，其特征在于：所述鋁錠形成半成品鋁板作業步驟中的加熱與半成品鋁板形成成品步驟中的加熱所需的環境溫度相同。
3.根據權利要求1所述的TFT液晶面板配線層用高純鋁靶材的板材壓延工藝，其特征在于：所述鋁錠形成半成品鋁板作業步驟中的加熱與半成品鋁板形成成品步驟中的校直需要保證鋁錠板材、半成品鋁板板材的平整度。
4.根據權利要求1所述的TFT液晶面板配線層用高純鋁靶材的板材壓延工藝，其特征在于：所述鋁錠形成半成品鋁板作業步驟中的壓延包括至少一次調整下壓道次、多次連續下壓道次，所述至少一次調整下壓道次、多次連續下壓道次的壓下率逐漸增大。
5.根據權利要求1所述的TFT液晶面板配線層用高純鋁靶材的板材壓延工藝，其特征在于：所述半成品鋁板形成成品步驟中的壓延包括至少兩次下壓道次，所述至少兩次下壓道次的壓制展延壓下率逐漸增大。
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