[發明專利]快速測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統

在審

• 申請號: 201810968221.6
• 申請日: 2018-08-23
• 公開（公告）號: CN110501532A
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 詹姆斯·陳
• 申請（專利權）人: 詹姆斯·陳
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R27/02
• 代理公司: 31272 上海申新律師事務所
• 代理人: 董科<國際申請>=<國際公布>=<進入國

一種快速測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統，其包含：一個框架、多個調平卡盤、一個探針組安裝模塊、及多個四點探針組。探針組安裝模塊將多個四點探針組維持在固定的位置。調平卡盤及探針組安裝模塊安裝于框架上，并且位于一個測試腔室之內。平板是位于探針安裝模塊和調平卡盤之間。面電阻率量測，并不是經由機械方式移動一個單一的四點探針組，而是經由電子切換多個四點探針組之中的每一個，并且平板移進及移出量測位置只需要進行一輪而不是兩輪。因此，可以節省許多的時間。此外，調平卡盤將平板頂抵住多個四點探針組的速度可以良好的控制，因此可以避免傷害到平板。

技術領域

本發明系關于一種面電阻率測量與描繪的工具。本發明尤其是關于一種裝置，其使用多個靜態的四點探針組及多個調平卡盤來測量與描繪平板上薄膜的面電阻率。此一設計的目的是在進行多點面電阻率測量的時候，機器人的末端作用器不用水平地移動平板，于是可以減少平板移動的時間，及降低末端作用器移動的次數而且用電子切換而非機械移動四點探針組。

背景技術

當量測及描繪平板上薄膜的面電阻率，傳統面電阻率量測裝置的四點探針組必須要變換位置。這些傳統的裝置使用單獨一個四點探針組，在平板薄膜上的各個不同的位置，量測面電阻率。在這些傳統的方法，平板上薄膜或者四點探針組，必須要移動到精確的位置，以精確地描繪平板薄膜上的面電阻，所以這些傳統的方法有其速度限制。于是，在平板測繪工具上的薄膜的尺寸，變成限制性的因素。此外這些傳統的面電阻率量測方法，需要花大量的時間來精確地制作平板上薄膜的面電阻率地圖。

發明內容

藉由使用多個四點探針組所形成的一個數組，本發明可以減少測量與描繪面電阻率的時間，及降低工具的尺寸，因此本發明可以改善習知技術的缺點。并且，本發明采用多個調平卡盤所形成的一個平面，讓平板上薄膜可以頂抵住四點探針組所壓成的彎曲。因此，本發明可以在多個位置，幾乎同時量測平板電子裝置的面電阻率。于是，本發明可以量測尺寸及形狀不同的平板上薄膜的面電阻率。更者，本發明可以更換四點探針組，以量測不同型態的平板上薄膜面電阻率。

附圖說明

圖1是本發明的立體圖。

圖2是本發明的前視圖。

圖3是本發明的后視圖。

圖4是本發明的左視圖。

圖5是是沿著圖4的線線5-5的剖面圖。

圖6是是沿著圖5的線線6-6的放大圖。

圖7是本發明的組件的電氣連接方示示意圖。

圖8是本發明另外一個實施例的組件的電氣連接方示示意圖。

圖9是本發明所使用的末端作用器及機械手臂的立體圖。

附圖標記名稱：

1 框架

2 腔室

21 內部空間

22 艙蓋

3 底架

4 調平卡盤

41 致動器

44 相關夾頭

5 探針安裝模塊

6 四點探針組

61 探針本體

62 測試探針

621 接觸端

7 進出口閥門

8 電子控制單元

81 微控制器