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[發明專利]快速測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統在審

專利信息
申請號: 201810968221.6 申請日: 2018-08-23
公開(公告)號: CN110501532A 公開(公告)日: 2019-11-26
發明(設計)人: 詹姆斯·陳 申請(專利權)人: 詹姆斯·陳
主分類號: G01R1/04 分類號: G01R1/04;G01R27/02
代理公司: 31272 上海申新律師事務所 代理人: 董科<國際申請>=<國際公布>=<進入國
地址: 美國加利*** 國省代碼: 美國;US
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摘要:
搜索關鍵詞: 探針組 調平 卡盤 安裝模塊 面電阻率 測試腔室 電子切換 機械方式 快速測量 量測位置 探針安裝 固定的 上薄膜 頂抵 量測 移出 描繪 傷害 移動
【權利要求書】:

1.一種測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統,其包含:

一個框架;

一個測試腔室;

一個在水平軌道移動的末端作用器,其用于傳送該平板至一個測試的位置;

多個調平卡盤,在測試的時候,支持該平板;

一個探針安裝模塊;及

多個四點探針組,其中

該測試腔室及一個卡盤支持板安裝于該框架;

該末端作用器沿著軌道移進及移動出該測試腔室,以將該平板移入或移出該測試位置;

該多個調平卡盤及該探針組安裝模塊安裝于該測試腔室;

該多個調平卡盤,沿著該測試腔室,分布于該卡盤支持板;

該多個調平卡盤,位于該測試腔室之中,并且在該探針組安裝模塊之下;

該多個四點探針組可分離地安裝于該探針組安裝模塊,并且僅能做一定的相對垂直的移動;

該多個四點探針組位于該多個調平卡盤及該探針組安裝模塊之間;

該多個四點探針組之中的每一個,指向該多個調平卡盤之中相關的一個;

該些調平卡盤被安排的位置,在上升迎向探針頭時,不會碰撞到該末端作用器。

2.如權利要求1所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統,還包含:

一個艙蓋;及

一個進出口閥門,其中

該艙蓋結合于該腔室,能夠讓該腔室保持充滿調節空氣或氣體;

該進出口閥門結合于該腔室。

3.如權利要求1所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統,還包含:

一個電子控制單元,其中

該電子控制單元是安裝在該框架上;

該多個四點探針組之中的每一個,及該多個調平卡盤之中的每一個,與該電子控制單元電性連接。

4.如權利要求3所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統,其中

該電子控制單元包括:一個中央處理單元、一個控制面板、及一個顯示設備;

該中央處理單元是裝在該框架之中;

該控制面板安裝在該框架上;

該顯示設備連接于該中央處理單元,并且鄰近于該控制面板;

該控制面板及該顯示設備電性連接于該中央處理單元;

該多個四點探針組之中的每一個,及該多個調平卡盤之中的每一個,與該中央處理單元電性連接。

5.如權利要求1所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統,還包含:

一個電子控制單元,其中

該多個調平卡盤之中的每一個,與其他的該些調平卡盤,連同導桿,能夠被一個致動器同步上升或下降;

所有該多個調平卡盤的該致動器,接受該電子控制單元的電氣控制。

6.如權利要求3所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統,還包含:

一個電子控制單元,其中

該機械化的卡盤控制系統,接受該電子控制單元的電氣控制。

7.如權利要求1所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統,還包含:

一個電子控制單元;及

一個平板裝卸系統,其中

該平板裝卸系統安裝于該框架;

該平板裝卸系統鄰近于該腔室的一個艙蓋;

該平板裝卸系統接受該電子控制單元的電氣控制。

8.如權利要求7所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統,其中

該平板裝卸系統包含:至少一支機械手臂,及至少一個末端作用器;

該末端作用器連接于該機械手臂的一個自由端;

該框架連接于該機械手臂的一個固定端,并且相對于該末端作用器。

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