[發明專利]快速測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統

在審

• 申請號: 201810968221.6
• 申請日: 2018-08-23
• 公開（公告）號: CN110501532A
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 詹姆斯·陳
• 申請（專利權）人: 詹姆斯·陳
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R27/02
• 代理公司: 31272 上海申新律師事務所
• 代理人: 董科<國際申請>=<國際公布>=<進入國

1.一種測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統，其包含：

一個框架；

一個測試腔室；

一個在水平軌道移動的末端作用器，其用于傳送該平板至一個測試的位置；

多個調平卡盤，在測試的時候，支持該平板；

一個探針安裝模塊；及

多個四點探針組，其中

該測試腔室及一個卡盤支持板安裝于該框架；

該末端作用器沿著軌道移進及移動出該測試腔室，以將該平板移入或移出該測試位置；

該多個調平卡盤及該探針組安裝模塊安裝于該測試腔室；

該多個調平卡盤，沿著該測試腔室，分布于該卡盤支持板；

該多個調平卡盤，位于該測試腔室之中，并且在該探針組安裝模塊之下；

該多個四點探針組可分離地安裝于該探針組安裝模塊，并且僅能做一定的相對垂直的移動；

該多個四點探針組位于該多個調平卡盤及該探針組安裝模塊之間；

該多個四點探針組之中的每一個，指向該多個調平卡盤之中相關的一個；

該些調平卡盤被安排的位置，在上升迎向探針頭時，不會碰撞到該末端作用器。

2.如權利要求1所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統，還包含：

一個艙蓋；及

一個進出口閥門，其中

該艙蓋結合于該腔室，能夠讓該腔室保持充滿調節空氣或氣體；

該進出口閥門結合于該腔室。

3.如權利要求1所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統，還包含：

一個電子控制單元，其中

該電子控制單元是安裝在該框架上；

該多個四點探針組之中的每一個，及該多個調平卡盤之中的每一個，與該電子控制單元電性連接。

4.如權利要求3所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統，其中

該電子控制單元包括：一個中央處理單元、一個控制面板、及一個顯示設備；

該中央處理單元是裝在該框架之中；

該控制面板安裝在該框架上；

該顯示設備連接于該中央處理單元，并且鄰近于該控制面板；

該控制面板及該顯示設備電性連接于該中央處理單元；

該多個四點探針組之中的每一個，及該多個調平卡盤之中的每一個，與該中央處理單元電性連接。

5.如權利要求1所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統，還包含：

一個電子控制單元，其中

該多個調平卡盤之中的每一個，與其他的該些調平卡盤，連同導桿，能夠被一個致動器同步上升或下降；

所有該多個調平卡盤的該致動器，接受該電子控制單元的電氣控制。

6.如權利要求3所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統，還包含：

一個電子控制單元，其中

該機械化的卡盤控制系統，接受該電子控制單元的電氣控制。

7.如權利要求1所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統，還包含：

一個電子控制單元；及

一個平板裝卸系統，其中

該平板裝卸系統安裝于該框架；

該平板裝卸系統鄰近于該腔室的一個艙蓋；

該平板裝卸系統接受該電子控制單元的電氣控制。

8.如權利要求7所述的測量與描繪平板上薄膜面電阻率的系統，其中

該平板裝卸系統包含：至少一支機械手臂，及至少一個末端作用器；

該末端作用器連接于該機械手臂的一個自由端；

該框架連接于該機械手臂的一個固定端，并且相對于該末端作用器。