[發明專利]一種高精度樹脂超薄切割鋸片

在審

• 申請號: 201810967526.5
• 申請日: 2018-08-23
• 公開（公告）號: CN108972923A
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: 呂升東;劉宏偉;劉星星;岳家興
• 申請（專利權）人: 沈陽中科超硬磨具磨削研究所
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02
• 代理公司: 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

1.一種高精度樹脂超薄切割鋸片，其特征在于：所述切割鋸片厚度為48-50μm，直徑為40-42mm；工作磨料層成分按重量比為：光固化樹脂結合劑50-70，納米級SiO₂10-20,納米級Al₂O₃5-15，納米級TiO₂1-10，納米級錫粉1-5，金剛石10-20。

2.根據權利要求1所述的高精度樹脂超薄切割鋸片，其特征在于：工作磨料層成分最佳按重量比為：樹脂結合劑50，納米級SiO₂12，納米級Al₂O₃8，納米級TiO₂6，納米級錫粉4，金剛石20。

3.根據權利要求1所述的高精度樹脂超薄切割鋸片，其特征在于：主要用于晶圓劃片工藝。

4.根據權利要求1所述的高精度樹脂超薄切割鋸片，其特征在于：制備方法如下：按預定配方準備各種原料；將各種原料混合后形成厚度為48-50μm，直徑為40-42mm的圓形，光固化快速成型，外圓修整、動平衡、外觀處理、最終檢查。