[發(fā)明專利]物理量傳感器、物理量傳感器裝置、電子設(shè)備以及移動體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810963512.6
• 申請日: 2018-08-22
• 公開（公告）號: CN109425756B
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田中悟
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;G01P15/18;G01P3/44
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

本申請?zhí)峁┚哂袃?yōu)異的耐沖擊性的物理量傳感器、物理量傳感器裝置、電子設(shè)備以及移動體。本發(fā)明的物理量傳感器包括基板、固定于基板的固定部、能夠相對于固定部在第一方向上進(jìn)行位移的可動部、設(shè)置于可動部的可動電極部、固定于基板并與可動電極部在所述第一方向上相對配置的固定電極部、以及限制可動部在第一方向上的可動范圍的限制部。可動部包括配置于所述第一方向上的一側(cè)的第一外緣部和配置于另一側(cè)的第二外緣部。限制部包括與第一外緣部隔開間隙而配置的第一限制部以及與第二外緣部隔開間隙而配置的第二限制部中至少任一方。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及物理量傳感器、物理量傳感器裝置、電子設(shè)備以及移動體。

背景技術(shù)

例如，專利文獻(xiàn)1所記載的加速度傳感器具有玻璃基板和與玻璃基板的上表面接合的硅基板。此外，從硅基板形成有主干部、以使主干部能夠相對于玻璃基板在檢測軸方向上位移的方式連接主干部和玻璃基板的彈簧部、從主干部的兩側(cè)沿與檢測軸方向正交的方向延伸的多個(gè)梳齒狀可動電極和固定于玻璃基板并在與檢測軸方向正交的方向上延伸的多個(gè)梳齒狀固定電極。在這樣的加速度傳感器中，重錘部通過所施加的加速度而進(jìn)行位移，從而成對的梳齒狀可動電極與梳齒狀固定電極之間的靜電電容發(fā)生變化，能夠基于該靜電電容的變化，檢測受到的加速度。此外，專利文獻(xiàn)1所記載的加速度傳感器設(shè)置有在施加了過度的沖擊等時(shí)對主干部的可動范圍進(jìn)行限制的限位部，實(shí)現(xiàn)了耐沖擊性的提升。該限位部由從梳齒狀可動電極朝向與其成對的梳齒狀固定電極側(cè)突出的突出部、或與此相反地從梳齒狀固定電極朝向與其成對的梳齒狀可動電極側(cè)突出的突出部構(gòu)成。于是，這樣的突出部通過與梳齒狀可動電極或梳齒狀固定電極碰撞，從而限制主干部的可動范圍。

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2013-24765號公報(bào)

然而，當(dāng)設(shè)置于梳齒狀固定電極的突出部與細(xì)長且機(jī)械性強(qiáng)度低的梳齒狀可動電極碰撞時(shí)，破損的可能性高，因此在專利文獻(xiàn)1所記載的加速度傳感器中，存在無法發(fā)揮優(yōu)異的耐沖擊性的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供具有優(yōu)異的耐沖擊性的物理量傳感器、物理量傳感器裝置、電子設(shè)備以及移動體。

本發(fā)明是為了解決上述問題的至少一部分而完成的，可作為以下的發(fā)明來實(shí)現(xiàn)。

本發(fā)明的物理量傳感器，其特征在于，包括：基板；固定部，固定于所述基板；可動部，相對于所述固定部能夠在第一方向上進(jìn)行位移；可動電極部，設(shè)置于所述可動部；固定電極部，固定于所述基板，并配置成與所述可動電極部在所述第一方向上相對；以及限制部，限制所述可動部在所述第一方向上的可動范圍，所述可動部包括：第一外緣部，在所述第一方向上的一側(cè)沿與所述第一方向正交的第二方向而配置；以及第二外緣部，在所述第一方向上的另一側(cè)沿所述第二方向而配置，所述限制部包括第一限制部和第二限制部中至少任一方，所述第一限制部在所述第一外緣部的與所述固定部一側(cè)相反的一側(cè)，與所述第一外緣部隔開間隙而配置，所述第二限制部在所述第二外緣部的與所述固定部一側(cè)相反的一側(cè)，與所述第二外緣部隔開間隙而配置。

由此，可得到具有優(yōu)異的耐沖擊性的物理量傳感器。

在本發(fā)明的物理量傳感器中，優(yōu)選地，所述第一限制部沿所述第一外緣部的外緣而配置，所述第二限制部沿所述第二外緣部的外緣而配置。

由此，在可動部在第一方向上過度地進(jìn)行了位移時(shí)，能夠更可靠地使可動部與第一限制部或第二限制部接觸。

在本發(fā)明的物理量傳感器中，優(yōu)選地，所述第一限制部和所述第二限制部中至少一方在所述第一方向上具有彈性。

由此，能夠緩和可動部與限制部接觸時(shí)的沖擊，能夠有效地減少可動部的破損。

在本發(fā)明的物理量傳感器中，優(yōu)選地，在從所述基板的法線方向的俯視觀察中，所述第一限制部和所述第二限制部中至少任一方具有沿所述第二方向的狹縫。

由此，能夠以比較簡單的結(jié)構(gòu)使第一、第二限制部在第一方向上具有彈性。