[發明專利]物理量傳感器、物理量傳感器裝置、電子設備以及移動體

有效

• 申請號: 201810963512.6
• 申請日: 2018-08-22
• 公開（公告）號: CN109425756B
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發明（設計）人: 田中悟
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;G01P15/18;G01P3/44
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

1.一種物理量傳感器，其特征在于，包括：

基板；

固定部，固定于所述基板；

可動部，相對于所述固定部能夠在第一方向上進行位移；

可動電極部，設置于所述可動部；

固定電極部，固定于所述基板，并配置成與所述可動電極部在所述第一方向上相對；以及

限制部，限制所述可動部在所述第一方向上的可動范圍，

所述可動部包括：

第一外緣部，在所述第一方向上的一側與所述可動電極部分開設置，且沿與所述第一方向正交的第二方向而配置；以及

第二外緣部，在所述第一方向上的另一側與所述可動電極部分開設置，且沿所述第二方向而配置，

所述限制部包括第一限制部和第二限制部中至少任一方，

所述第一限制部在所述第一外緣部的與所述固定部一側相反的一側，與所述第一外緣部隔開間隙而配置，

所述第二限制部在所述第二外緣部的與所述固定部一側相反的一側，與所述第二外緣部隔開間隙而配置。

2.根據權利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述第一限制部沿所述第一外緣部的外緣而配置，

所述第二限制部沿所述第二外緣部的外緣而配置。

3.根據權利要求1或2所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述第一限制部和所述第二限制部中至少一方在所述第一方向上具有彈性。

4.根據權利要求3所述的物理量傳感器，其特征在于，

在從所述基板的法線方向的俯視觀察中，所述第一限制部和所述第二限制部中至少任一方具有沿所述第二方向的狹縫。

5.根據權利要求1或2所述的物理量傳感器，其特征在于，

在所述第一限制部和所述第二限制部中至少任一方與所述基板之間形成有間隙。

6.根據權利要求1或2所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述第一限制部和所述第二限制部中至少一方具有沿所述第二方向斷續地配置的多個部分。

7.根據權利要求1或2所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述可動部包括：

第三外緣部，在所述第二方向上的一側沿所述第一方向而配置；以及

第四外緣部，在所述第二方向上的另一側沿所述第一方向而配置，

所述限制部包括：

第三限制部，在所述第三外緣部的與所述固定部一側相反的一側，與所述第三外緣部隔開間隙而配置；以及

第四限制部，在所述第四外緣部的與所述固定部一側相反的一側，與所述第四外緣部隔開間隙而配置。

8.根據權利要求1或2所述的物理量傳感器，其特征在于，

在從所述基板的法線方向的俯視觀察中，所述可動電極部包括長邊方向沿所述第二方向而配置的可動電極指，

所述固定電極部包括長邊方向沿所述第二方向并配置成與所述可動電極指在所述第一方向上相對的固定電極指，

當將彼此相對的所述可動電極指與所述固定電極指的沿所述第一方向的間隔距離設為G1、將所述第一外緣部與所述第一限制部的沿所述第一方向的間隔距離設為G2、將所述第二外緣部與所述第二限制部的沿所述第一方向的間隔距離設為G3時，G1、G2及G3滿足G1＞G2以及G1＞G3。

9.根據權利要求1或2所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述限制部與所述可動部為同電位。

10.根據權利要求1或2所述的物理量傳感器，其特征在于，

所述可動部與所述限制部由相同的材料構成。

11.根據權利要求1或2所述的物理量傳感器，其特征在于，

在所述可動部與所述限制部進行了接觸時，所述可動部與所述限制部為面接觸。