[發(fā)明專利]一種基板固定結(jié)構(gòu)及基板運(yùn)送裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810961231.7
• 申請日: 2018-08-22
• 公開（公告）號: CN109192693B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 代青
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

本發(fā)明提供了一種基板固定結(jié)構(gòu)及基板運(yùn)送裝置，所述基板固定結(jié)構(gòu)包括：用于承載基板的承載臺；設(shè)置于所述承載臺的承載面上的微細(xì)纖維陣列，所述微細(xì)纖維陣列中各微細(xì)纖維具有磁性或順磁性或超順磁性，在無外部磁場時(shí)，通過與基板接觸產(chǎn)生的范德華力吸附固定基板，在有外部磁場時(shí)，與外部磁場產(chǎn)生相互作用并發(fā)生彈性變形，以與基板分離；以及，設(shè)置于所述承載臺上，用于控制所述承載臺的承載面一側(cè)產(chǎn)生磁場的磁場產(chǎn)生部。本發(fā)明所提供的基板固定結(jié)構(gòu)及基板運(yùn)送裝置，在基板正常轉(zhuǎn)移或固定過程中，基板不需要磁力的作用即可處于吸附狀態(tài)，僅在需要解吸附的過程中才需要產(chǎn)生磁力，來磁力誘導(dǎo)的微細(xì)纖維的變形，可以節(jié)省能源，大大降低結(jié)構(gòu)體積。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板固定結(jié)構(gòu)及基板運(yùn)送裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的半導(dǎo)體生產(chǎn)線中，玻璃基板或硅晶元等基板的傳輸和轉(zhuǎn)移，通常采用的是真空吸附的方式進(jìn)行，即，在基板有多個(gè)真空吸盤與其接觸，通過真空管道持續(xù)保持吸盤內(nèi)為負(fù)壓，達(dá)到基板與吸盤間的吸附，進(jìn)而轉(zhuǎn)移。但是，這種真空吸附轉(zhuǎn)移過程中，需要真空管路以及配件(如后臺的真空泵，閥門，電源等)開啟，使得基板與吸盤之間一直處于真空吸附狀態(tài)，成本相對較高，系統(tǒng)也較為復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種基板固定結(jié)構(gòu)及基板運(yùn)送裝置，結(jié)構(gòu)簡單，可以大大節(jié)省能源。

本發(fā)明所提供的技術(shù)方案如下：

一種基板固定結(jié)構(gòu)，包括：

用于承載基板的承載臺；

設(shè)置于所述承載臺的承載面上的微細(xì)纖維陣列，所述微細(xì)纖維陣列中各微細(xì)纖維具有磁性或順磁性或超順磁性，在無外部磁場時(shí)，通過與所述基板接觸產(chǎn)生的范德華力吸附固定基板，在有外部磁場時(shí)，與外部磁場產(chǎn)生相互作用并發(fā)生彈性變形，以與所述基板分離；

以及，設(shè)置于所述承載臺上，用于控制所述承載臺的承載面一側(cè)產(chǎn)生磁場的磁場產(chǎn)生部。

進(jìn)一步的，所述微細(xì)纖維陣列中各微細(xì)纖維的尺寸為微米或納米級別。

進(jìn)一步的，所述微細(xì)纖維陣列中各微細(xì)纖維的尺寸為：所述微細(xì)纖維的長度為10-100μm、直徑為1-10μm。

進(jìn)一步的，所述微細(xì)纖維陣列中各微細(xì)纖維包括與所述承載臺固定的第一

端及與所述第一端相對設(shè)置的用于吸附基板的第二端，其中所述第一端不

具有磁性、順磁性和超順磁性，所述第二端具有磁性或順磁性或超順磁性。

進(jìn)一步的，所述微細(xì)纖維陣列中各微細(xì)纖維采用熱塑性聚合物、彈性聚合物中的至少一種與納米顆粒混合而成，所述納米顆粒為具有磁性或順磁性或超順磁性的納米顆粒。

進(jìn)一步的，所述彈性聚合物包括二甲基硅氧烷、聚氨酯和聚氨酯丙烯酸酯中的一種或多種；

所述熱塑性聚合物包括聚乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯和聚酰亞胺中的一種或多種。

進(jìn)一步的，所述彈性聚合物的彈性模量為0.1～100MPa；

所述熱塑性聚合物的楊氏模量范圍為100MPa～1GPa。

進(jìn)一步的，所述磁場產(chǎn)生部包括：通電時(shí)產(chǎn)生磁場的電磁裝置；或者，永磁體裝置，所述永磁體裝置以可移動(dòng)或可拆卸的方式設(shè)置于所述承載臺的背離所述承載面的一側(cè)。

進(jìn)一步的，所述磁場產(chǎn)生部包括相反極性的第一磁極和第二磁極，其中，所述第一磁極和所述第二磁極交錯(cuò)設(shè)置、陣列分布于所述承載臺的背離所述承載面的一側(cè)。

一種基板運(yùn)送裝置，包括如上所述的基板固定結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明所帶來的有益效果如下：